JPS6012158U - ヘリウム冷凍装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のヘリウム冷凍装置の系統図、第２図は本
考案の一実施例を示すヘリウム冷凍装置の系統図、第３
図は本考案の他の実施例を示す部分系統図である。 １・・・・・・圧縮機、２・・・・・・中圧ライン、３
・・曲コールドボックス人口弁、４・・・・・・回収弁
、５・・・・・・バイパス奔、６・・・・・・バイパス
ライン、７．７ａ、７ｂ・・・・・・吸着器、８・・・
・・・タービン人口弁、９・・間第１膨張タービン、１
０・・・・・・第２膨張タービン、１１・・・・・・Ｊ
Ｔ弁、１２．　１４−−−−−−トランスファーチュー
ブ、１３・・・・・・被冷媒体、１５・・・・・・熱交
換器、１６・・・・・・コールドボックス、１７・・・
・・・低圧戻りライン、１８・・・・・・液体窒素供給
管、１９・・・・・・真空引ライン、２０・・・・・・
真空引弁、２１・・・・・・真空ポンプ、２２・・・・
・・中圧タンク、２５ａ、２５ｂ・・・・・・切換弁、
２６ａ、２６ｂ・・・・・・予冷弁、２７ａ、２７ｂ・
・・・・・加温弁、２８ａ、２８ｂ・・・・・・真空排
気弁、２９・・・・・・吸着器加温ライン、３０・・・
・・・加温戻りライン、３１・・・・・・ブ冶−弁、３
２・・・・・・均圧弁、４１．４２・・・・・・回収ラ
イン、５１・・・・・・ガスバッグ、５２・・曲回収圧
縮機、５３・・・・・・不純ガスカードル、５４・・・
・・・精製器、５５・・・・・・純ガスカードル、５６
・・・・・・減圧弁。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　ヘリウムガスを圧縮する圧縮機と、該圧縮機により
   昇圧されたヘリウムガスをコールドボックス内に導入し
   、冷却液化して液体ヘリウムを生成するヘリウム冷凍機
   と、該ヘリウム冷凍機で生成した液体ヘリウムを利用す
   る被冷却体よりなるヘリウム冷凍装置において、コール
   ドボックス内のヘリウムガスラインの途中に吸着器を設
   け、前記圧縮機の吐出側に回収弁を介して系内ガスの全
   量を収容する容積を備えた中圧タンクを接続したことを
   特徴とするヘリウム冷凍装置。 ２　前記吸着器を切換弁を介して複数個設けた実用新案
   登録請求の範囲第１項記載のヘリウム冷凍装置。