JPS6355534U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6355534U JPS6355534U JP14866086U JP14866086U JPS6355534U JP S6355534 U JPS6355534 U JP S6355534U JP 14866086 U JP14866086 U JP 14866086U JP 14866086 U JP14866086 U JP 14866086U JP S6355534 U JPS6355534 U JP S6355534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- support rod
- substrate
- support
- holder locking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係るスプレー装置の支持具を
示す一部分解斜視図、第２図は第１支持棒の断面
図、第３図は第２支持棒の断面図、第４図は第１
図―線拡大断面図、第５図はホルダを支持棒
に取付ける時の状態を示す拡大断面図、第６図は
従来のスプレー装置を示す概略構成図、第７図は
支持具の従来例を示す斜視図である。 １……チヤンバー、２……回転軸、５……基板
、６……噴射孔、７……噴出液、２０……支持具
、２１……第１支持棒、２２……第２支持棒、２
３……ホルダ、３１〜３８……ホルダ係止部、５
０……貫通孔、５１……嵌合部、５４……固定手
段、５５……押圧子、５６……圧縮コイルばね、
６３……基板保持部。
示す一部分解斜視図、第２図は第１支持棒の断面
図、第３図は第２支持棒の断面図、第４図は第１
図―線拡大断面図、第５図はホルダを支持棒
に取付ける時の状態を示す拡大断面図、第６図は
従来のスプレー装置を示す概略構成図、第７図は
支持具の従来例を示す斜視図である。 １……チヤンバー、２……回転軸、５……基板
、６……噴射孔、７……噴出液、２０……支持具
、２１……第１支持棒、２２……第２支持棒、２
３……ホルダ、３１〜３８……ホルダ係止部、５
０……貫通孔、５１……嵌合部、５４……固定手
段、５５……押圧子、５６……圧縮コイルばね、
６３……基板保持部。
Claims (1)
- チヤンバー内に配設され駆動装置によつて回転
される支持具上に基板を設置し、この基板上に噴
射孔から噴出液を噴射し、前記支持具の回転によ
り前記噴出液を基板の表面全体にゆきわたらせる
ようにしたスプレー装置において、前記支持具は
前記基板の各種サイズに応じて形成された複数個
のホルダ係止部を有して長手方向中央部を回転中
心とする少なくとも１本の支持棒と、前記支持棒
が貫通する貫通孔、基板保持部および前記ホルダ
係止部に嵌合する嵌合部をそれぞれ有して前記支
持棒に移動自在に取付けられる一対のホルダと、
各ホルダを前記支持棒に固定する固定手段とを備
え、固定手段は前記ホルダ内に出没自在に組込ま
れて弾性部材により突出方向に付勢されることに
より前記ホルダを支持棒に圧接し、前記ホルダ係
止部と嵌合部とを嵌合させる押圧子で構成されて
いることを特徴とするスプレー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14866086U JPS6355534U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14866086U JPS6355534U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6355534U true JPS6355534U (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=31063143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14866086U Pending JPS6355534U (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6355534U (ja) |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP14866086U patent/JPS6355534U/ja active Pending