JPS635624U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS635624U JPS635624U JP9862586U JP9862586U JPS635624U JP S635624 U JPS635624 U JP S635624U JP 9862586 U JP9862586 U JP 9862586U JP 9862586 U JP9862586 U JP 9862586U JP S635624 U JPS635624 U JP S635624U
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- JP
- Japan
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- heat insulating
- insulating plates
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- wafer
- plates
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- Granted
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
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- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る断熱装置の実施例を示す
斜視図、第２図は上記断熱装置を備えた半導体製
造用減圧ＣＶＤ装置の断面図、第３図は本考案の
断熱装置の断熱効果についての実験例を示す線図
である。 １…断熱体、２…真空チヤンバ、３…ウエハ駆
動機構、４…面発熱体、５…ウエハ、１１…断熱
板、１２…支持柱。
斜視図、第２図は上記断熱装置を備えた半導体製
造用減圧ＣＶＤ装置の断面図、第３図は本考案の
断熱装置の断熱効果についての実験例を示す線図
である。 １…断熱体、２…真空チヤンバ、３…ウエハ駆
動機構、４…面発熱体、５…ウエハ、１１…断熱
板、１２…支持柱。
Claims (1)
- 真空チヤンバ内においてウエハ駆動機構とウエ
ハを加熱するための面発熱体との間に介在させる
断熱体を、間隔を置いて重積した快削性セラミツ
クからなる多数の断熱板の間に、それらの間隔を
保持させるための断熱材からなる支持柱を、交互
に上記断熱板の面内において離れた位置に配置し
て、それらの断熱板及び支持柱を固定することに
より構成したことを特徴とする半導体製造用ＣＶ
Ｄ装置における断熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986098625U JPH0525228Y2 (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986098625U JPH0525228Y2 (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635624U true JPS635624U (ja) | 1988-01-14 |
| JPH0525228Y2 JPH0525228Y2 (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=30966735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986098625U Expired - Lifetime JPH0525228Y2 (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0525228Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49107676A (ja) * | 1973-02-16 | 1974-10-12 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP1986098625U patent/JPH0525228Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49107676A (ja) * | 1973-02-16 | 1974-10-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0525228Y2 (ja) | 1993-06-25 |