JPS6356603A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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Publication number
JPS6356603A
JPS6356603A JP20010286A JP20010286A JPS6356603A JP S6356603 A JPS6356603 A JP S6356603A JP 20010286 A JP20010286 A JP 20010286A JP 20010286 A JP20010286 A JP 20010286A JP S6356603 A JPS6356603 A JP S6356603A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
lens
film
exposure
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP20010286A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiro Suzuki
敏弘 鈴木
Yasuyuki Todokoro
泰之 外處
Kazunari Yoneno
米納　和成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to CA000542888A priority patent/CA1294470C/en
Priority to US07/077,337 priority patent/US4877717A/en
Priority to DE8787306609T priority patent/DE3782783T2/de
Priority to EP87306609A priority patent/EP0258994B1/en
Publication of JPS6356603A publication Critical patent/JPS6356603A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 光学装置であって、光反応性物質を含む膜に局部露光し
て作製される微小光学レンズの露光マスクをシャドウマ
スクに転用し、さらに基板上にレンズのみを単体で製造
する場合に基板背面から露光を行なうことにより工程の
簡略化及びレンズの高性能化を可能にする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は光通信等に用いられる光学装置に関するもので
、さらに詳しく言えばプラスチックの微小光学レンズア
レイに関するものである。
微小光学レンズは、光フアイバ通信における光の分岐、
結合、分岐等への応用、光エレクトロルミネッセンス素
子の集光や発光ダイオード集光センサアレイへの集光、
光集積回路における導波路レンズなどへ応用され、アレ
イ化及び微小化が容易で安価なレンズの要求が高まって
いる。
プラスチックの微小光学レンズアレイには、平板マイク
ロレンズ、懸濁重合で得られる分布屈折率球レンズ、電
子描画フレネルレンズ、キャスト法によるレンズ等が知
られているが本発明は光反応性物質を含む膜に局部的に
光照射して得られるレンズに関するものである。
〔従来の技術〕
第２図は光反応性物質を含む膜に局部的に光照射するマ
イクロレンズアレイの製造方法を説明するための図であ
る。この方法は基板１の上に光反応性物質を含む膜２を
形成し、この膜２に対しマスク３を用いて露光し、光の
当った部分の光反応性物質と光の当らない部分の未反応
の光反応性物質との間に生ずる融点、膜中の拡散、流動
性などの差による光照射部分への未反応物質の移動によ
りレンズ４を形成するのである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来の製造方法で作製されたレンズは、シャドウマ
スクを別に形成する必要があるため、■密着露光時及び
シャドウマスク作製時にレンズを傷める可能性がある。
■レンズとシャドウマスクの位置合わせが必要。■さら
に透明基板上に単体レンズアレイを作製する場合には、
基板１の裏面からの反射によりレンズの輪郭がぼける。
等の問題があった。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、精度
が良く且つ安価に製造できるプラスチックレンズアレイ
を提供することを目的としている。
ｃ問題点を解決するための手段〕 このため本発明においては、少なくとも光反応性物質を
含む膜１２に露光用マスクを用いて局部的ニ露光してレ
ンズ１３，１５を形成した光学装置において、露光時に
用いた露光用マスクの一部または全部を用いたシャドウ
マスク１１を備えたことを特徴としている。
〔作　用〕
光反応性物質を含む膜１２に密着して設けたマスクを、
レンズ形成時のマスクとして使用した後、その一部又は
全部をシャドウマスク１１として残すことにより、製造
工程が簡略化され安価に製造することが可能となる。
〔実施例〕
第１図は本発明の詳細な説明するための図である。
第１図ａに示すものは、基板１０の上に露光マスクとシ
ャドウマスクを兼用したクロムと酸化クロムよりなるマ
スク１１を形成し、その上に感光性物質を含む膜１２を
形成し、基板１０の裏面から光を照射して凸レンズ１３
を形成したものである。
このように形成される本実施例は、シャドウマスク形成
と露光マスクの位置合わせを、同時かつレンズ形成用有
機薄膜である感光性物質を含む膜１２の塗布前にできる
ため、レンズ１３とシャドウマスク１１の位置合わせが
必要なく、またレンズを傷めることもなく、レンズアレ
イを作製することができる。さらに透明基板上にレンズ
アレイを作製する場合、背面露光となるので基板裏面側
からの反射がなく、従ってぼけを生ぜず精度の良いレン
ズが得られる。
なお第１図すに示したものはマスク１１と感光性物質を
含む膜１２との間にスペーサ１４を設けたものであり、
その効果は第１図ａに示したものと全く同様である。
〔発明の効果〕
以上述べてきたように本発明によれば、露光時に使用す
るマスクをレンズ形成用の膜と基板との間に設け、露光
後にシャドウマスクとして用いることにより製造工程を
簡略化し、精度の良いレンズを安価に製造でき、実用的
には極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す図、 第２図は従来の光反応性物質を含む膜に局部的に光照射
するマイクロレンズアレイの製造方法を説明するための
図である。 第１図において、 １０は基板、 １１はシャドウマスク、 １２は光感光性物質を含む膜、 １３は凸レンズ、 １４はスペーサ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、少なくとも光反応性物質を含む膜（１２）に露光用
    マスクを用いて局部的に露光してレンズ（１３、１５）
    を形成した光学装置において、露光時に用いた露光用マ
    スクの一部または全部を用いたシャドウマスク（１１）
    を備えたことを特徴とする光学装置。 ２、基板（１０）上にレンズ形成時に露光用マスクとし
    て用いたシャドウマスク（１１）と、露光により形成さ
    れたレンズ（１３、１５）を、この順番に積層したこと
    を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学装置。
JP20010286A 1986-07-26 1986-08-28 光学装置 Pending JPS6356603A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20010286A JPS6356603A (ja) 1986-08-28 1986-08-28 光学装置
CA000542888A CA1294470C (en) 1986-07-26 1987-07-23 Process for the production of optical elements
US07/077,337 US4877717A (en) 1986-07-26 1987-07-24 Process for the production of optical elements
DE8787306609T DE3782783T2 (de) 1986-07-26 1987-07-27 Verfahren zur herstellung optischer bauteile.
EP87306609A EP0258994B1 (en) 1986-07-26 1987-07-27 Process for the production of optical elements

Applications Claiming Priority (1)

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JP20010286A JPS6356603A (ja) 1986-08-28 1986-08-28 光学装置

Publications (1)

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JPS6356603A true JPS6356603A (ja) 1988-03-11

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ID=16418874

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JP20010286A Pending JPS6356603A (ja) 1986-07-26 1986-08-28 光学装置

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