JPS6357731B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6357731B2 JPS6357731B2 JP55063943A JP6394380A JPS6357731B2 JP S6357731 B2 JPS6357731 B2 JP S6357731B2 JP 55063943 A JP55063943 A JP 55063943A JP 6394380 A JP6394380 A JP 6394380A JP S6357731 B2 JPS6357731 B2 JP S6357731B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nuclear fuel
- light
- detection
- station
- defects
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は核燃料ペレツトの表面に発生する欠陥
を検出する核燃料ペレツトの表面欠陥検出方法及
びその装置に関するものである。
を検出する核燃料ペレツトの表面欠陥検出方法及
びその装置に関するものである。
発電用原子炉で発生する熱動力は原子炉中に設
置された燃料棒内の二酸化ウランペレツトから得
られるものである。このペレツトは二酸化ウラン
粉末からプレス、焼結、研削工程を過て成形され
るものであるが、この成形加工の過程でペレツト
１の表面には第１図に示す様に、欠け２、未研削
面５、メタルインクルージヨン６、ひび割れ３、
ピツト４などの欠陥が出現する。欠け２、未研削
面５、ひび割れ３、ピツト４などの表面欠損の結
果として熱出力、熱伝導に不均一さをもたらした
り、欠け２、ひび割れ３、メタルインクルージヨ
ン６などにより、燃料棒被覆管との機械的、化学
的相互作用を起し原子炉性能に悪影響を及ぼす恐
れがある。これらを防止するため公知の手順とし
て人間によるペレツトの全数目視検査が行われて
いるが、この検査の能率と精度を向上させ、ま
た、作業員の放射線被爆量を低減させるため自動
的なペレツト欠陥の検出方法の確立が試みられて
いた。この従来技術の一例として第２図に示す如
く、非接触変位計を用いた欠陥検出方式がある。
即ち、ローラ８によつて回転されるペレツト１の
表面に近接して非接触変位計９を設置し、欠けな
ど表面欠損部は正常表面に比べ変位計と表面間の
距離が遠いことを利用して欠損部を信号検出部１
０で検出すると共に、ペレツト表面の移動あるい
は変位計の移動により欠損面積部１１で欠損面積
を集計し、欠損部の割合を大小評価し検査する方
法である。
置された燃料棒内の二酸化ウランペレツトから得
られるものである。このペレツトは二酸化ウラン
粉末からプレス、焼結、研削工程を過て成形され
るものであるが、この成形加工の過程でペレツト
１の表面には第１図に示す様に、欠け２、未研削
面５、メタルインクルージヨン６、ひび割れ３、
ピツト４などの欠陥が出現する。欠け２、未研削
面５、ひび割れ３、ピツト４などの表面欠損の結
果として熱出力、熱伝導に不均一さをもたらした
り、欠け２、ひび割れ３、メタルインクルージヨ
ン６などにより、燃料棒被覆管との機械的、化学
的相互作用を起し原子炉性能に悪影響を及ぼす恐
れがある。これらを防止するため公知の手順とし
て人間によるペレツトの全数目視検査が行われて
いるが、この検査の能率と精度を向上させ、ま
た、作業員の放射線被爆量を低減させるため自動
的なペレツト欠陥の検出方法の確立が試みられて
いた。この従来技術の一例として第２図に示す如
く、非接触変位計を用いた欠陥検出方式がある。
即ち、ローラ８によつて回転されるペレツト１の
表面に近接して非接触変位計９を設置し、欠けな
ど表面欠損部は正常表面に比べ変位計と表面間の
距離が遠いことを利用して欠損部を信号検出部１
０で検出すると共に、ペレツト表面の移動あるい
は変位計の移動により欠損面積部１１で欠損面積
を集計し、欠損部の割合を大小評価し検査する方
法である。
この様な従来技術における欠点は比較的深い表
面欠損部の面積を測定するだけで、その大小の把
握はできても欠陥の種類に分離して検出すること
は不可能である。特に核燃料ペレツト表面におい
ては、上記した様に多種の欠陥を検出する必要が
あり、判定基準は例えば欠けについては面積、割
れについては巾と長さ、ピツトについては直径な
どという様に欠陥の種類毎に設定されている。
面欠損部の面積を測定するだけで、その大小の把
握はできても欠陥の種類に分離して検出すること
は不可能である。特に核燃料ペレツト表面におい
ては、上記した様に多種の欠陥を検出する必要が
あり、判定基準は例えば欠けについては面積、割
れについては巾と長さ、ピツトについては直径な
どという様に欠陥の種類毎に設定されている。
さらに、欠けの内に割れが存在する等欠陥が重
つて発生することも多く、また、ピツト、割れな
どが第１図に示すように文字など刻印された識別
記号７付近に発生する場合もある。しかるに、上
記した従来技術ではこの様に多様な表面欠陥を分
類し検査することは検出後いかなるパターンの認
識処理部を付加しても極めて困難である。
つて発生することも多く、また、ピツト、割れな
どが第１図に示すように文字など刻印された識別
記号７付近に発生する場合もある。しかるに、上
記した従来技術ではこの様に多様な表面欠陥を分
類し検査することは検出後いかなるパターンの認
識処理部を付加しても極めて困難である。
本発明の目的は上記した従来技術の問題点を解
決し、核燃料ペレツトから欠損欠陥を確実に検出
し、この欠損欠陥から確実に重大欠陥である割れ
及びピツトと軽微欠陥である欠けと分離検出でき
るようにした核燃料ペレツトの表面欠陥検出方法
及びその装置を提供するにある。
決し、核燃料ペレツトから欠損欠陥を確実に検出
し、この欠損欠陥から確実に重大欠陥である割れ
及びピツトと軽微欠陥である欠けと分離検出でき
るようにした核燃料ペレツトの表面欠陥検出方法
及びその装置を提供するにある。
即ち本発明は、上記目的を達成するために、第
１のステーシヨンに設置された第１の検出ヘツド
の光照射手段により核燃料ペレツトの表面に対
し、斜め方向からスリツト状に絞つた光を照射
し、核燃料ペレツトの表面から正反射光を第１の
検出ヘツドの検出光学系で集光して光電変換装置
より受光して検出し、この検出された映像信号を
第１の２値化手段により２値化手段により平均レ
ベルより低い閾値で２値化し、この２値化された
信号によつて核燃料ペレツトの表面上の欠損欠陥
を検出する第１の検出工程と、上記核燃料ペレツ
トを上記第１のステーシヨンから第２のステーシ
ヨンへ移送手段で移送する移送工程と、上記第２
のステーシヨンに設置された第２の検出ヘツドの
光照射手段により核燃料ペレツトの表面に対し、
斜め方向から拡散光を照射すると共に核燃料ペレ
ツトの表面に垂直な方向から平行光を照射し、核
燃料ペレツトの表面に垂直なる方向から上記核燃
料ペレツトの表面から反射する反射光を第２の検
出ヘツドの検出光学系で集光して光電変換装置で
受光して検出し、この検出された映像信号を第２
の２値化手段により平均レベルより低い閾値で２
値化し、この２値化された信号によつて割れ及び
ピツトを検出する第２の検出工程と、判定手段に
より上記第１及び第２の検出工程から得られる２
値化信号に基いて核燃料ペレツトの表面上の欠損
欠陥を割れ及びピツトと欠けとに分離判定する判
定工程とを有することを特徴とする核燃料ペレツ
トの表面欠陥検出方法及びその装置である。また
本発明は、上記核燃料ペレツトの表面欠陥検出方
法における第１の検出工程において、上記映像信
号を平均レベルより高い閾値より２値化し、上記
判定工程においてこの２値化信号により未研削面
及びメタルインクルージヨンを欠損欠陥から分離
判定することを特徴とする核燃料ペレツトの表面
欠陥検出方法及びその装置である。
１のステーシヨンに設置された第１の検出ヘツド
の光照射手段により核燃料ペレツトの表面に対
し、斜め方向からスリツト状に絞つた光を照射
し、核燃料ペレツトの表面から正反射光を第１の
検出ヘツドの検出光学系で集光して光電変換装置
より受光して検出し、この検出された映像信号を
第１の２値化手段により２値化手段により平均レ
ベルより低い閾値で２値化し、この２値化された
信号によつて核燃料ペレツトの表面上の欠損欠陥
を検出する第１の検出工程と、上記核燃料ペレツ
トを上記第１のステーシヨンから第２のステーシ
ヨンへ移送手段で移送する移送工程と、上記第２
のステーシヨンに設置された第２の検出ヘツドの
光照射手段により核燃料ペレツトの表面に対し、
斜め方向から拡散光を照射すると共に核燃料ペレ
ツトの表面に垂直な方向から平行光を照射し、核
燃料ペレツトの表面に垂直なる方向から上記核燃
料ペレツトの表面から反射する反射光を第２の検
出ヘツドの検出光学系で集光して光電変換装置で
受光して検出し、この検出された映像信号を第２
の２値化手段により平均レベルより低い閾値で２
値化し、この２値化された信号によつて割れ及び
ピツトを検出する第２の検出工程と、判定手段に
より上記第１及び第２の検出工程から得られる２
値化信号に基いて核燃料ペレツトの表面上の欠損
欠陥を割れ及びピツトと欠けとに分離判定する判
定工程とを有することを特徴とする核燃料ペレツ
トの表面欠陥検出方法及びその装置である。また
本発明は、上記核燃料ペレツトの表面欠陥検出方
法における第１の検出工程において、上記映像信
号を平均レベルより高い閾値より２値化し、上記
判定工程においてこの２値化信号により未研削面
及びメタルインクルージヨンを欠損欠陥から分離
判定することを特徴とする核燃料ペレツトの表面
欠陥検出方法及びその装置である。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体
的に説明する。
的に説明する。
第３図は本発明の物体の表面欠陥検出方法を実
施する装置の一実施例を示す概略構成図、第４図
は第３図に示す位置Ｐに設けられた装置を拡大し
て示した斜視図、第５図は第３図に示す位置Ｑに
設けられた装置を拡大して示した斜視図である。
施する装置の一実施例を示す概略構成図、第４図
は第３図に示す位置Ｐに設けられた装置を拡大し
て示した斜視図、第５図は第３図に示す位置Ｑに
設けられた装置を拡大して示した斜視図である。
１は例えば円筒状をした核燃料ペレツト（以下
ペレツトと称す。）であり位置Ｐにあるローラー
８の上を回転している。１２は光源、１３は照射
レンズである。１４はスリツト、１５はシリンド
リカルレンズであり、ペレツト円筒面上に軸方向
に長い線状のスリツト光を照射する機能を有して
いる。１６は結像レンズであり、ペレツト表面か
らのスリツト光による正反射光をとらえ表面の実
像を検出器１７上に結ぶ。この検出器としては自
己走査形撮像素子（リニアイメージセンサー）な
どを用い、ペレツト１回転で円筒面全面を走査す
ることができる。２４は増幅器であり映像信号の
レベルを決定する。２６，２７，２８は２値化回
路であり、それぞれ、正常表面の平均レベルより
低い閾値、高い閾値、最も高い閾値で映像信号を
２値化する。３２，３３，３４は２値信号から、
ペレツト表面上の各欠陥に対応する２値化２次元
パターンの巾、長さなどの特徴を示すパターン情
報を抽出するパターン情報抽出回路である。１′，
８′は各々コンベア４４によつて位置Ｑへ移動し
たペレツト及びローラーである。１８，１８′は
光源３５，３５′は射出口を長方形にしたプラス
フアイバー製ライトガイドであり、３６，３６′
が面光源となり拡散光をペレツト１′の円筒面に
少くとも相対する２方向から傾斜させて照射する
機能を有する。また１９は正反射方向から平行光
を照明する光源であり、２０は照射レンズ、２１
はハーフミラーであり平行光を正反射方向に照射
する機能を有する。２２は結像レンズであり、ペ
レツト１の表面の実像を検出器２３上に結ぶ。こ
の検出器も位置Ｐの検出器と同じく自己走査形撮
像素子（リニヤイメージセンサー）等を用いるこ
とができる。２５の増幅器で映像信号のレベルを
決定した後、２値化回路２９により正常表面より
低い閾値で２値化する。３３はパターン情報収集
回路であり、２値化２次元パターンの面積、巾、
長さなどの特徴を示すパターン情報を抽出する。
３４は抽出されたパターン情報から欠陥の種類を
識別し、種類毎に設けられた判定基準に比較して
等級分けを行う総合判定論理回路である。
ペレツトと称す。）であり位置Ｐにあるローラー
８の上を回転している。１２は光源、１３は照射
レンズである。１４はスリツト、１５はシリンド
リカルレンズであり、ペレツト円筒面上に軸方向
に長い線状のスリツト光を照射する機能を有して
いる。１６は結像レンズであり、ペレツト表面か
らのスリツト光による正反射光をとらえ表面の実
像を検出器１７上に結ぶ。この検出器としては自
己走査形撮像素子（リニアイメージセンサー）な
どを用い、ペレツト１回転で円筒面全面を走査す
ることができる。２４は増幅器であり映像信号の
レベルを決定する。２６，２７，２８は２値化回
路であり、それぞれ、正常表面の平均レベルより
低い閾値、高い閾値、最も高い閾値で映像信号を
２値化する。３２，３３，３４は２値信号から、
ペレツト表面上の各欠陥に対応する２値化２次元
パターンの巾、長さなどの特徴を示すパターン情
報を抽出するパターン情報抽出回路である。１′，
８′は各々コンベア４４によつて位置Ｑへ移動し
たペレツト及びローラーである。１８，１８′は
光源３５，３５′は射出口を長方形にしたプラス
フアイバー製ライトガイドであり、３６，３６′
が面光源となり拡散光をペレツト１′の円筒面に
少くとも相対する２方向から傾斜させて照射する
機能を有する。また１９は正反射方向から平行光
を照明する光源であり、２０は照射レンズ、２１
はハーフミラーであり平行光を正反射方向に照射
する機能を有する。２２は結像レンズであり、ペ
レツト１の表面の実像を検出器２３上に結ぶ。こ
の検出器も位置Ｐの検出器と同じく自己走査形撮
像素子（リニヤイメージセンサー）等を用いるこ
とができる。２５の増幅器で映像信号のレベルを
決定した後、２値化回路２９により正常表面より
低い閾値で２値化する。３３はパターン情報収集
回路であり、２値化２次元パターンの面積、巾、
長さなどの特徴を示すパターン情報を抽出する。
３４は抽出されたパターン情報から欠陥の種類を
識別し、種類毎に設けられた判定基準に比較して
等級分けを行う総合判定論理回路である。
光源１２、照射レンズ１３、スリツト１４、シ
リンドリカルレンズ１５より成る第３図位置Ｐに
おける照明装置で照射したスリツト光はペレツト
１の表面で散乱する。その内、正反射光を結像レ
ンズ１６で取り出し、検出器１７で電気信号に変
換する。第６図は表面状態と映像信号の関係を例
示したものである。ペレツト表面には焼結前後な
どにおける取扱いのために損傷を受けて生じる欠
け２、極くわずかの凹みのため研削のおよんでい
ない部分である未研削面５、焼結時の収縮率の相
異のため部分的に欠落して生じたピツト４、成形
時の歪などのため発生する割れ３、混入した金属
が表面に研削され出現するメタルインクルージヨ
ン６等の欠陥が発生することがある。第６図ａは
欠け２、未研削面５、ピツト４、割れ３、メタル
インクルージヨン６が表面１９に発生したことを
示した円筒面の軸方向断面図である。第６図ｂは
第１の位置Ｐにおける照明装置と検出器により検
出された映像信号である。第６図ａに示す様に欠
け２、ピツト４、割れ３が存在するとそれらの欠
陥部では第７図に示すようにスリツトの実像の位
置４５が位置へと変動し、リニアイメージセンサ
ーにその反射光が実線で示すように入射しなくな
り、３８，３９，４０で示すように暗いレベルと
なる。また、未研削面５は焼結されたままの表面
であり、研削された正常表面と異なり光沢を有す
るため正反射成分が多く明るく検出される。さら
に、メタルインクルージヨン６は金属面であり、
最も明るく検出される。従つて、正常表面より低
い閾値Va、高い閾値Vb、最も高い閾値Vcを作
用させ２値化させることにより、Vaでは欠け２
もしくはピツト４もしくは割れ３、Vbでは未研
削面５もしくはメタルインクルージヨン６、Vc
ではメタルインクルージヨン６が検出される。第
３図位置ｐにおける検出系では欠け２、ピツト
４、割れ３を表面欠損部として一かつしてとら
え、それらと、未研削面５およびメタルインクル
ージヨン６の間の分離検出が可能である。
リンドリカルレンズ１５より成る第３図位置Ｐに
おける照明装置で照射したスリツト光はペレツト
１の表面で散乱する。その内、正反射光を結像レ
ンズ１６で取り出し、検出器１７で電気信号に変
換する。第６図は表面状態と映像信号の関係を例
示したものである。ペレツト表面には焼結前後な
どにおける取扱いのために損傷を受けて生じる欠
け２、極くわずかの凹みのため研削のおよんでい
ない部分である未研削面５、焼結時の収縮率の相
異のため部分的に欠落して生じたピツト４、成形
時の歪などのため発生する割れ３、混入した金属
が表面に研削され出現するメタルインクルージヨ
ン６等の欠陥が発生することがある。第６図ａは
欠け２、未研削面５、ピツト４、割れ３、メタル
インクルージヨン６が表面１９に発生したことを
示した円筒面の軸方向断面図である。第６図ｂは
第１の位置Ｐにおける照明装置と検出器により検
出された映像信号である。第６図ａに示す様に欠
け２、ピツト４、割れ３が存在するとそれらの欠
陥部では第７図に示すようにスリツトの実像の位
置４５が位置へと変動し、リニアイメージセンサ
ーにその反射光が実線で示すように入射しなくな
り、３８，３９，４０で示すように暗いレベルと
なる。また、未研削面５は焼結されたままの表面
であり、研削された正常表面と異なり光沢を有す
るため正反射成分が多く明るく検出される。さら
に、メタルインクルージヨン６は金属面であり、
最も明るく検出される。従つて、正常表面より低
い閾値Va、高い閾値Vb、最も高い閾値Vcを作
用させ２値化させることにより、Vaでは欠け２
もしくはピツト４もしくは割れ３、Vbでは未研
削面５もしくはメタルインクルージヨン６、Vc
ではメタルインクルージヨン６が検出される。第
３図位置ｐにおける検出系では欠け２、ピツト
４、割れ３を表面欠損部として一かつしてとら
え、それらと、未研削面５およびメタルインクル
ージヨン６の間の分離検出が可能である。
光源１８とライトガイド３５、光源１８′とラ
イトガイド３５′、光源１９と照射レンズ２０と
ハーフミラー２１より成る第３図位置Ｑにおける
照明装置で照射した光はペレツト１の表面で散乱
する。その散乱光を結像レンズ２２で取り出し、
検出器２３で電気信号に変換する。第８図はこの
場合の表面状態と映像信号の関係を図示したもの
である。ペレツト表面に発生する欠け２には焼結
前に発生した破面が貝殻状になつたなめらかな欠
けの２種類が存在する。ところで、拡散光を第３
図及び第５図に示す様に斜め方向から照射してい
るため、破面の粗さが粗い場合、凹凸による影が
消えると共に凸からの散乱光が多くなり破面全体
として明るくなる。従つて欠けをピツトとしてみ
なすことを防止することができる。また、破面が
貝殻状でなめらかなものの場合、拡散光照射部３
６が面光源となつているため、拡散光の一部が破
面で正反射を起し、斜め方向から照明されている
正常面より明るくなる。さらに未研削面５、およ
びメタルインクルージヨン６においては、光源１
９と照射レンズ２０とハーフミラー２１より成る
照明光の正反射光が検出器に入射するため、研削
面でスリガラス状になつているため正反射成分の
少い正常表面と比べ同等か明るいレベルとするこ
とが可能であり、開口面積に比べ深く照明光が底
まで到達しにくく反射光が少いピツト４０、割れ
４１だけが暗く検出される。そこで、正常表面よ
り低い閾値Vdを作用させ２値化させることによ
り、ピツトもしくは割れの分離検出が可能であ
る。さらに第９図では欠け３８′の内に割れ４
１′が存在する場合の検出状態を示す。この場合
にもVdを作用させることにより割れ３′を欠け
２′から分離して検出することが可能である。即
ち、この第３図位置Ｑにおける検出器では位置ｐ
における検出器では行わなかつた、ピツト４もし
くは割れ３と欠け２との間を分離してピツト４も
しくは割れ３のみを検出することが可能であり位
置ｐにおける検出器と合せて表面欠陥を表面欠損
部２、未研削面５、メタルインクルージヨン６、
ピツト４もしくは割れ３の４種類に分離して検出
することが可能である。
イトガイド３５′、光源１９と照射レンズ２０と
ハーフミラー２１より成る第３図位置Ｑにおける
照明装置で照射した光はペレツト１の表面で散乱
する。その散乱光を結像レンズ２２で取り出し、
検出器２３で電気信号に変換する。第８図はこの
場合の表面状態と映像信号の関係を図示したもの
である。ペレツト表面に発生する欠け２には焼結
前に発生した破面が貝殻状になつたなめらかな欠
けの２種類が存在する。ところで、拡散光を第３
図及び第５図に示す様に斜め方向から照射してい
るため、破面の粗さが粗い場合、凹凸による影が
消えると共に凸からの散乱光が多くなり破面全体
として明るくなる。従つて欠けをピツトとしてみ
なすことを防止することができる。また、破面が
貝殻状でなめらかなものの場合、拡散光照射部３
６が面光源となつているため、拡散光の一部が破
面で正反射を起し、斜め方向から照明されている
正常面より明るくなる。さらに未研削面５、およ
びメタルインクルージヨン６においては、光源１
９と照射レンズ２０とハーフミラー２１より成る
照明光の正反射光が検出器に入射するため、研削
面でスリガラス状になつているため正反射成分の
少い正常表面と比べ同等か明るいレベルとするこ
とが可能であり、開口面積に比べ深く照明光が底
まで到達しにくく反射光が少いピツト４０、割れ
４１だけが暗く検出される。そこで、正常表面よ
り低い閾値Vdを作用させ２値化させることによ
り、ピツトもしくは割れの分離検出が可能であ
る。さらに第９図では欠け３８′の内に割れ４
１′が存在する場合の検出状態を示す。この場合
にもVdを作用させることにより割れ３′を欠け
２′から分離して検出することが可能である。即
ち、この第３図位置Ｑにおける検出器では位置ｐ
における検出器では行わなかつた、ピツト４もし
くは割れ３と欠け２との間を分離してピツト４も
しくは割れ３のみを検出することが可能であり位
置ｐにおける検出器と合せて表面欠陥を表面欠損
部２、未研削面５、メタルインクルージヨン６、
ピツト４もしくは割れ３の４種類に分離して検出
することが可能である。
以上、円筒面を検査する装置について述べたが
端面についても同様の検出方法を実施することが
可能である。この場合、特に端面に存在する第１
図７に示す様な印字のパターンと割れのパターン
とを識別することが従来技術では極めて困難であ
つたが、第３図位置Ｑにおける検出系では印字部
が暗く検出されず、印字とピツトもしくは割れが
混在してもピツトもしくは割れを精度良く分離検
出できる。
端面についても同様の検出方法を実施することが
可能である。この場合、特に端面に存在する第１
図７に示す様な印字のパターンと割れのパターン
とを識別することが従来技術では極めて困難であ
つたが、第３図位置Ｑにおける検出系では印字部
が暗く検出されず、印字とピツトもしくは割れが
混在してもピツトもしくは割れを精度良く分離検
出できる。
以上説明した様に本発明によれば、核燃料ペレ
ツトから欠損欠陥を確実に検出し、この欠損欠陥
から確実に熱的影響が大きい重大欠陥である割れ
及びピツトと軽微欠陥である欠けと分離検出で
き、核燃料としての安全性に大いに寄与すること
ができる効果を奏する。また、本発明によれば、
未研削面及びメタルインクルージヨンの欠陥につ
いても確実に欠損欠陥と分離して検出することが
できる効果を奏する。
ツトから欠損欠陥を確実に検出し、この欠損欠陥
から確実に熱的影響が大きい重大欠陥である割れ
及びピツトと軽微欠陥である欠けと分離検出で
き、核燃料としての安全性に大いに寄与すること
ができる効果を奏する。また、本発明によれば、
未研削面及びメタルインクルージヨンの欠陥につ
いても確実に欠損欠陥と分離して検出することが
できる効果を奏する。
第１図は本発明に係る核燃料ペレツトの外観と
欠陥の状態を示す図、第２図は従来の物体の表面
欠陥検出装置の概略構成を示す図、第３図は本発
明の物体の表面欠陥検出方法を実施するための装
置の一実施例を示す概略構成図、第４図は第３図
に示す位置ｐに設けられた装置を拡大して示した
斜視図、第５図は第３図に示す位置Ｑに設けられ
た装置を拡大して示した斜視図、第６図ａはペレ
ツト表面に５種類の欠陥を示した図、第６図ｂは
第６図ａに示すペレツトの表面から第４図に示す
検出器によつて検出された映像信号と閾値との関
係を示した図、第７図は第４図に示す装置によつ
てペレツトの表面に結像されるスリツト像と検出
器上に結像される反射光像との関係を詳細に示し
た図、第８図ａはペレツト表面に５種類の欠陥を
示した図、第８図ｂは第５図に示す検出器によつ
て検出される映像信号と閾値との関係を示した
図、第９図ａはペレツト表面に存在する欠けの中
に割れの欠陥を示した図、第９図ｂは第５図に示
す検出器によつて検出される映像信号と閾値との
関係を示した図である。 符号の説明、１……ペレツト、２，２′……欠
け、３，３′……割れ、４……ピツト、５……未
研削面、６……メタルインクルージヨン、８，
８′……ローラ、１２，１９，１８，１８′……光
源、１３，２０……照射レンズ、１４……スリツ
ト、１５……シリンドリカルレンズ、１６，２２
……結像レンズ、１７，２３……検出器、２１…
…ハーフミラー、３５，３８′……ライトガイド。
欠陥の状態を示す図、第２図は従来の物体の表面
欠陥検出装置の概略構成を示す図、第３図は本発
明の物体の表面欠陥検出方法を実施するための装
置の一実施例を示す概略構成図、第４図は第３図
に示す位置ｐに設けられた装置を拡大して示した
斜視図、第５図は第３図に示す位置Ｑに設けられ
た装置を拡大して示した斜視図、第６図ａはペレ
ツト表面に５種類の欠陥を示した図、第６図ｂは
第６図ａに示すペレツトの表面から第４図に示す
検出器によつて検出された映像信号と閾値との関
係を示した図、第７図は第４図に示す装置によつ
てペレツトの表面に結像されるスリツト像と検出
器上に結像される反射光像との関係を詳細に示し
た図、第８図ａはペレツト表面に５種類の欠陥を
示した図、第８図ｂは第５図に示す検出器によつ
て検出される映像信号と閾値との関係を示した
図、第９図ａはペレツト表面に存在する欠けの中
に割れの欠陥を示した図、第９図ｂは第５図に示
す検出器によつて検出される映像信号と閾値との
関係を示した図である。 符号の説明、１……ペレツト、２，２′……欠
け、３，３′……割れ、４……ピツト、５……未
研削面、６……メタルインクルージヨン、８，
８′……ローラ、１２，１９，１８，１８′……光
源、１３，２０……照射レンズ、１４……スリツ
ト、１５……シリンドリカルレンズ、１６，２２
……結像レンズ、１７，２３……検出器、２１…
…ハーフミラー、３５，３８′……ライトガイド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 第１のステーシヨンに設置された第１の検出
ヘツドの光照射手段により核燃料ペレツトの表面
に対し、斜め方向からスリツト状に絞つた光を照
射し、核燃料ペレツトの表面から正反射光を第１
の検出ヘツドの検出光学系で集光して光電変換装
置より受光して検出し、この検出された映像信号
を第１の２値化手段により平均レベルより低い閾
値で２値化し、この２値化された信号によつて核
燃料ペレツトの表面上の欠損欠陥を検出する第１
の検出工程と、上記核燃料ペレツトを上記第１の
ステーシヨンから第２のステーシヨンへ移送手段
で移送する移送工程と、上記第２のステーシヨン
に設置された第２の検出ヘツドの光照射手段によ
り核燃料ペレツトの表面に対し、斜め方向から拡
散光を照射すると共に核燃料ペレツトの表面に垂
直な方向から平行光を照射し、核燃料ペレツトの
表面に垂直なる方向から上記核燃料ペレツトの表
面から反射する反射光を第２の検出ヘツドの検出
光学系で集光して光電変換装置で受光して検出
し、この検出された映像信号を第２の２値化手段
により平均レベルより低い閾値で２値化し、この
２値化された信号によつて割れ及びピツトを検出
する第２の検出工程と、判定手段により上記第１
及び第２の検出工程から得られる２値化信号に基
いて核燃料ペレツトの表面上の欠損欠陥を割れ及
びピツトと欠けとに分離判定する判定工程とを有
することを特徴とする核燃料ペレツトの表面欠陥
検出方法。 ２ 上記第１の検出工程において、上記映像信号
を平均レベルより高い閾値より２値化し、上記判
定工程においてこの２値化信号により未研削面及
びメタルインクルージヨンとして判定することを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の核燃料ペ
レツトの表面欠陥検出方法。 ３ 核燃料ペレツトの表面に対し、斜め方向から
スリツト状に絞つた光を照射する光照射手段と核
燃料ペレツトの表面から正反射光を集光する検出
光学系と該検出光学系で得られる集光正反射光を
受光して映像信号に変換する光電変換装置とを備
えた第１の検出ヘツドを第１のステーシヨンに設
置し、核燃料ペレツトの表面に対し、斜め方向か
ら拡散光を照射すると共に核燃料ペレツトの表面
に垂直な方向から平行光を照射する光照射手段と
核燃料ペレツトの表面に垂直なる方向から上記核
燃料ペレツトの表面から反射する反射光を集光す
る検出光学系と該検出光学系で得られる集光反射
光を受光して映像信号に変換する光電変換装置と
を備えた第２の検出ヘツドを第２のステーシヨン
に設置し、上記核燃料ペレツトを上記第１のステ
ーシヨンから第２のステーシヨンへ移送する移送
手段を設け、更に上記第１の検出ヘツドの光電変
換装置から得られる映像信号を平均レベルより低
い閾値で２値化する第１の２値化手段と、上記第
２の検出ヘツドの光電変換装置から得られる映像
信号を平均レベルより低い閾値で２値化する第２
の２値化手段と、上記第１の２値化手段から得ら
れる２値化信号に基いて検出される欠損欠陥と上
記第２の２値化手段から得られる２値化信号に基
いて検出される割れ及びピツトから欠損欠陥につ
いて割れ及びピツトと欠けとに分離判定する判定
手段とを備えたことを特徴とする核燃料ペレツト
の表面欠陥検出装置。 ４ 上記第１の２値化手段に、上記第１の検出ヘ
ツドの光電変換装置から得られる映像信号を平均
レベルより高い閾値で２値化する２値化手段を有
し、上記判定手段は、該２値化手段から得られる
２値化信号に基いて検出される欠陥を未研削面及
びメタルインクルージヨンとして判定することを
特徴とする特許請求の範囲第３項記載の核燃料ペ
レツトの表面欠陥検出装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6394380A JPS56160645A (en) | 1980-05-16 | 1980-05-16 | Detecting method for surface defect of body |
| DE19803027373 DE3027373A1 (de) | 1979-07-20 | 1980-07-18 | Verfahren und einrichtung zur oberflaechenpruefung |
| GB8023661A GB2057675B (en) | 1979-07-20 | 1980-07-18 | Photoelectric detection of surface defects |
| FR8015979A FR2461944A1 (fr) | 1979-07-20 | 1980-07-18 | Procede et appareil pour examiner l'aspect exterieur d'un objet cylindrique plein |
| US06/170,181 US4410278A (en) | 1979-07-20 | 1980-07-18 | Method and apparatus for appearance inspection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6394380A JPS56160645A (en) | 1980-05-16 | 1980-05-16 | Detecting method for surface defect of body |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56160645A JPS56160645A (en) | 1981-12-10 |
| JPS6357731B2 true JPS6357731B2 (ja) | 1988-11-14 |
Family
ID=13243929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6394380A Granted JPS56160645A (en) | 1979-07-20 | 1980-05-16 | Detecting method for surface defect of body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56160645A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008108174A1 (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-12 | Hitachi, Ltd. | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4532723A (en) * | 1982-03-25 | 1985-08-06 | General Electric Company | Optical inspection system |
| JPS6099563A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-06-03 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 被研削ワ−クの外観検査方法 |
| JPS60165855U (ja) * | 1984-04-11 | 1985-11-02 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 円筒物体の表面検査装置 |
| JPH0617874B2 (ja) * | 1986-05-23 | 1994-03-09 | 株式会社イナックス | 板状物表面の自動検査方法 |
| JP2890801B2 (ja) * | 1990-11-01 | 1999-05-17 | 富士ゼロックス株式会社 | 表面傷検査装置 |
| JPH07103903A (ja) * | 1992-06-25 | 1995-04-21 | Hiroshima Alum Kogyo Kk | 検査装置 |
| JP3754003B2 (ja) * | 2001-06-21 | 2006-03-08 | 株式会社リコー | 欠陥検査装置及びその方法 |
| JP2006292580A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査方法、表面疵検査装置、コンピュータプログラム及び記録媒体 |
| JP5610672B2 (ja) * | 2008-04-11 | 2014-10-22 | キヤノン株式会社 | 表面検査装置 |
| JP2011169733A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Mitsubishi Electric Corp | 表面検査方法および表面検査装置 |
| JP6752643B2 (ja) * | 2016-07-06 | 2020-09-09 | 株式会社エデックリンセイシステム | 外観検査装置 |
| JP7524846B2 (ja) * | 2021-07-01 | 2024-07-30 | 株式会社ダイフク | 検査装置、及びそれを備えた塗布装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034549Y2 (ja) * | 1972-04-11 | 1975-10-07 | ||
| JPS6029062B2 (ja) * | 1977-09-12 | 1985-07-08 | 光洋精工株式会社 | 物体の表面欠陥検出方法とその装置 |
-
1980
- 1980-05-16 JP JP6394380A patent/JPS56160645A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008108174A1 (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-12 | Hitachi, Ltd. | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
| JP2008216219A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-18 | Hitachi Ltd | 照明装置並びにそれを用いた欠陥検査装置及びその方法並びに高さ計測装置及びその方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56160645A (en) | 1981-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6357731B2 (ja) | ||
| EP0649525B1 (en) | Apparatus for the detection of surface defects | |
| US3814943A (en) | Method of and apparatus for analysing patterns and inspecting objects | |
| US6911653B2 (en) | Inspecting method and apparatus for foreign matter | |
| US7106432B1 (en) | Surface inspection system and method for using photo detector array to detect defects in inspection surface | |
| CN102374997A (zh) | 基于视觉系统的硬币表面质量高精度检测装置 | |
| US5991017A (en) | Inspecting the surface of an object | |
| JP2003222597A (ja) | 銅箔表面検査装置、および銅箔表面検査方法 | |
| JP2010038723A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JPS62229050A (ja) | 物体の表面欠陥検査方法 | |
| JP2009047517A (ja) | 検査装置 | |
| JP2990820B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP3135075B2 (ja) | 外観検査方法およびその装置、磁気ヘッド検査方法およびその装置並びに磁気ヘッド製造設備 | |
| JPS59135353A (ja) | 表面傷検出装置 | |
| JP3339128B2 (ja) | 欠陥検査方法及びその実施に使用する装置 | |
| JP4220304B2 (ja) | 原子力燃料ペレットの検査方法および装置 | |
| JPH06273349A (ja) | 疵判定装置 | |
| JP2010230450A (ja) | 物体表面検査装置 | |
| JP2009047513A (ja) | 検査装置 | |
| JPH0968504A (ja) | 瓶口外観検査方法及び装置 | |
| JP3682249B2 (ja) | ガラスびんのねじ部検査装置 | |
| JPH043820B2 (ja) | ||
| JPH0470555A (ja) | 球体表面検査装置 | |
| JPS61283857A (ja) | 表面欠陥検出方法 | |
| JP4783590B2 (ja) | 光沢円筒面検査装置 |