JPS6358310B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6358310B2 JPS6358310B2 JP55165210A JP16521080A JPS6358310B2 JP S6358310 B2 JPS6358310 B2 JP S6358310B2 JP 55165210 A JP55165210 A JP 55165210A JP 16521080 A JP16521080 A JP 16521080A JP S6358310 B2 JPS6358310 B2 JP S6358310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve seat
- seat ring
- chamber
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
- F16K3/10—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/20—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the seats
- F16K3/207—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the seats by means of hydraulic forces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Taps Or Cocks (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空装置用の総金属製スライド・バ
ルブに関するものである。このスライド・バルブ
は、ケーシングおよびこのケーシング内に転位可
能に配設されたバルブ・フラツプを有する。そし
てこのバルブ・フラツプは、それと同平面におい
て行われるスライドおよび／または旋回運動によ
つて、スライド・バルブの開口を閉じる位置もし
くはスライド・バルブの開口を開く位置へ転位さ
せることが可能である。また密閉を行う目的で、
前記スライド・バルブの開口と同軸に位置させら
れたバルブ・シート・リングを、軸方向に移動さ
せることが可能であると同時にこのバルブ・シー
ト・リングを前記バルブ・フラツプに対して押し
付けることが可能である。また、前記バルブ・シ
ート・リングの戻しはスプリングの力によつて行
われる。更にまた前記バルブ・シート・リングお
よびバルブ・フラツプは、内側の縁に相互のパツ
キング・エレメントを有する。
ルブに関するものである。このスライド・バルブ
は、ケーシングおよびこのケーシング内に転位可
能に配設されたバルブ・フラツプを有する。そし
てこのバルブ・フラツプは、それと同平面におい
て行われるスライドおよび／または旋回運動によ
つて、スライド・バルブの開口を閉じる位置もし
くはスライド・バルブの開口を開く位置へ転位さ
せることが可能である。また密閉を行う目的で、
前記スライド・バルブの開口と同軸に位置させら
れたバルブ・シート・リングを、軸方向に移動さ
せることが可能であると同時にこのバルブ・シー
ト・リングを前記バルブ・フラツプに対して押し
付けることが可能である。また、前記バルブ・シ
ート・リングの戻しはスプリングの力によつて行
われる。更にまた前記バルブ・シート・リングお
よびバルブ・フラツプは、内側の縁に相互のパツ
キング・エレメントを有する。
このようなバルブは、それ自体としては周知で
ある。バルブ・シート・リングを移動させるため
には、これと同軸に取り付けられた、実質的にシ
リンダ状の金属じやばらが用いられ、この金属じ
やばらは、リング状のチヤンバと隣接しており、
また圧力媒体によつて負荷を与えることが可能で
ある。圧力媒体によつて負荷を受けると、前述の
じやばらは軸方向に延び、これによつてこのじや
ばらと密接に結合してあるバルブ・シート・リン
グに密封を行わせる。スライド・バルブを開く際
にバルブ・シート・リングを元へ戻すためには、
補助の戻しスプリングが取り付けられねばならな
い。必要なバルブ閉じ圧を得るためには、戻しス
プリングの力にも打ち勝たねばならないという事
情もあるので、相当な力が要求される。それで、
従来の構造は頑丈な金属じやばらを必要とした
が、そうしたじやばらは、配置ならびに組み付け
のために広い面積と空間を要するものである。
ある。バルブ・シート・リングを移動させるため
には、これと同軸に取り付けられた、実質的にシ
リンダ状の金属じやばらが用いられ、この金属じ
やばらは、リング状のチヤンバと隣接しており、
また圧力媒体によつて負荷を与えることが可能で
ある。圧力媒体によつて負荷を受けると、前述の
じやばらは軸方向に延び、これによつてこのじや
ばらと密接に結合してあるバルブ・シート・リン
グに密封を行わせる。スライド・バルブを開く際
にバルブ・シート・リングを元へ戻すためには、
補助の戻しスプリングが取り付けられねばならな
い。必要なバルブ閉じ圧を得るためには、戻しス
プリングの力にも打ち勝たねばならないという事
情もあるので、相当な力が要求される。それで、
従来の構造は頑丈な金属じやばらを必要とした
が、そうしたじやばらは、配置ならびに組み付け
のために広い面積と空間を要するものである。
従つて、本発明の課題は、従来の型のバルブに
代えて、バルブ・シート・リングの移動機構用の
一つの構造を提案することであつて、この構造は
場所を少ししか必要とせず、それだけ軸方向の管
栓の長さ、特にスライド・バルブの長さを可能な
限り小さくするという要求を満たす。本発明によ
れば、このことは以下のようにして達成される。
すなわち、バルブ・シート・リングの外縁が、少
くとも２つの、互いにかつバルブ・シート・リン
グと同軸の、互いに反対の向きに取り付けられ
た、異なつた直径を有するプレート・スプリング
（Bellevilleスプリング）と結合してある。具体的
に言うと、小さい直径を有する方のプレート・ス
プリングはその外縁で、また大きい直径を有する
方のプレート・スプリングはその内縁で、バル
ブ・シート・リングと結合してある。これらの２
つのプレート・スプリングによつて形成された、
断面がＶ字形の環状体は、バルブ・シート・リン
グの方に向いていない側とケーシングでもつて、
圧力媒体によつて負荷を与えられるチヤンバを形
成する。更にまた、前記環状体の縁はケーシング
によつて支持される。前記環状体の頂部は前記チ
ヤンバ内に突き出る。
代えて、バルブ・シート・リングの移動機構用の
一つの構造を提案することであつて、この構造は
場所を少ししか必要とせず、それだけ軸方向の管
栓の長さ、特にスライド・バルブの長さを可能な
限り小さくするという要求を満たす。本発明によ
れば、このことは以下のようにして達成される。
すなわち、バルブ・シート・リングの外縁が、少
くとも２つの、互いにかつバルブ・シート・リン
グと同軸の、互いに反対の向きに取り付けられ
た、異なつた直径を有するプレート・スプリング
（Bellevilleスプリング）と結合してある。具体的
に言うと、小さい直径を有する方のプレート・ス
プリングはその外縁で、また大きい直径を有する
方のプレート・スプリングはその内縁で、バル
ブ・シート・リングと結合してある。これらの２
つのプレート・スプリングによつて形成された、
断面がＶ字形の環状体は、バルブ・シート・リン
グの方に向いていない側とケーシングでもつて、
圧力媒体によつて負荷を与えられるチヤンバを形
成する。更にまた、前記環状体の縁はケーシング
によつて支持される。前記環状体の頂部は前記チ
ヤンバ内に突き出る。
第１図から第３図までに示したスライド・バル
ブは、バルブ・ケーシングを有しており、このバ
ルブ・ケーシングは、ケーシング部材１，２，
３，４および５から構成されている。これらの部
材は、溶接で結合するのが目的にかなつている。
正面のケーシング部分１および５は、導管のフラ
ンジへの接続手段、ここでは例えば輪をなして並
んだネジ穴６を有している。ネジ穴６について
は、第２図及び第３図においてその軸を概略図に
示してある。側面の丸いパツキング・ストリツプ
もしくはパツキング・ウオツシヤー９を有するバ
ルブ・フラツプ７は、支持棒８に固定されてい
る。支持棒８は、バルブ・ケーシングを貫通し、
バルブ・ケーシングに対して漏れのないようにさ
れている。該支持棒８は、軸１１を中心に、シリ
ンダ１０によつて回動可能である。バルブ・フラ
ツプ７は回動することによつて、スライド・バル
ブの開口１２を開ける位置に来る（第１図の点線
参照）か、もしくは該開口を閉じる位置に来る
（第２図および第３図）。上述のような回動をさせ
る代りに、バルブ・フラツプが直線的な動きによ
つて上述した２通りの位置に来るような構造にす
ることも可能である。
ブは、バルブ・ケーシングを有しており、このバ
ルブ・ケーシングは、ケーシング部材１，２，
３，４および５から構成されている。これらの部
材は、溶接で結合するのが目的にかなつている。
正面のケーシング部分１および５は、導管のフラ
ンジへの接続手段、ここでは例えば輪をなして並
んだネジ穴６を有している。ネジ穴６について
は、第２図及び第３図においてその軸を概略図に
示してある。側面の丸いパツキング・ストリツプ
もしくはパツキング・ウオツシヤー９を有するバ
ルブ・フラツプ７は、支持棒８に固定されてい
る。支持棒８は、バルブ・ケーシングを貫通し、
バルブ・ケーシングに対して漏れのないようにさ
れている。該支持棒８は、軸１１を中心に、シリ
ンダ１０によつて回動可能である。バルブ・フラ
ツプ７は回動することによつて、スライド・バル
ブの開口１２を開ける位置に来る（第１図の点線
参照）か、もしくは該開口を閉じる位置に来る
（第２図および第３図）。上述のような回動をさせ
る代りに、バルブ・フラツプが直線的な動きによ
つて上述した２通りの位置に来るような構造にす
ることも可能である。
バルブ・フラツプ７がスライド・バルブを閉じ
る位置に来た場合（第２図）に密閉を行うには、
バルブ・シート・リング１３は、軸方向（矢印）
１４に動いてバルブ・フラツプ７を押し付けなけ
ればならない。該バルブ・シート・リング１３
は、複数個の部分よりなるが、大きい負荷のかか
るパツキング領域等には、それ以外の部分とは異
なつた材料が用いられる。バルブ・シート・リン
グ１３の外縁は、ここでは、２個のプレート・ス
プリング（Bellevilleスプリング）１５，１６と
結合してあり、これらのプレート・スプリング
は、互いに、かつバルブ・シート・リング１３と
同軸であり、互いに反対の向きに取り付けてあつ
て、異なつた直径を有している。直径の小さい方
のプレート・スプリング１６はその外縁で、直径
の大きい方のプレート・スプリング１５はその内
縁で、バルブ・シート・リング１３と結合してい
る。これら２つのプレート・スプリング１５およ
び１６は、断面がＶ字形のリングになつており、
Ｖ字形断面の開き角はおよそ180゜になることが可
能であるが、該リングに負荷のかからない時には
180゜よりも幾分小さい。この断面がＶ字形の、２
つのスプリング１５，１６よりなるリングは、バ
ルブ・シートリング１３に向いていない方の側で
チヤンバ１７を形成している。このチヤンバ１７
は、外部へ通じた穴１８を介して圧力媒体により
負荷を与えることが可能であり、またこれらの穴
を通じて排気することが可能である。２つのプレ
ート・スプリング１５および１６からなる、Ｖ字
形断面を有するリングの外縁１９および内縁２０
は、ケーシングによつて、軸方向ならびに半径方
向に支持されている。また、該リングの頂部は、
チヤンバ１７が負荷を受けていない時には、該チ
ヤンバの方向を向いている。（第２図）プレー
ト・スプリング１５および１６の、互いに向かい
合つた方の縁をあてがう目的で、バルブ・シー
ト・リング１３には、断面がＴ字型の帯状部材２
１が取り付けられる。この断面が実質的にＴ字型
の帯状部材２１によつて作られる棚状の部分の上
に、プレート・スプリング１５および１６の縁が
載せられる。チヤンバ１７の内部を密閉する目的
で、２つのプレート・スプリング１５および１６
によつて作られた環状体は、負荷を受けるチヤン
バ１７に向いた方の側に、少なくとも一つのパツ
キング膜２２を有し、この膜の縁は、ケーシング
および帯状部材２１に対しては・ん・だ・付もしくは溶
接により固着される。この膜２２の材料は薄いも
のでよい。その訳は、この膜は、チヤンバ１７が
負荷を充分受けている際においても、前記環状体
によつて支持されるからである。
る位置に来た場合（第２図）に密閉を行うには、
バルブ・シート・リング１３は、軸方向（矢印）
１４に動いてバルブ・フラツプ７を押し付けなけ
ればならない。該バルブ・シート・リング１３
は、複数個の部分よりなるが、大きい負荷のかか
るパツキング領域等には、それ以外の部分とは異
なつた材料が用いられる。バルブ・シート・リン
グ１３の外縁は、ここでは、２個のプレート・ス
プリング（Bellevilleスプリング）１５，１６と
結合してあり、これらのプレート・スプリング
は、互いに、かつバルブ・シート・リング１３と
同軸であり、互いに反対の向きに取り付けてあつ
て、異なつた直径を有している。直径の小さい方
のプレート・スプリング１６はその外縁で、直径
の大きい方のプレート・スプリング１５はその内
縁で、バルブ・シート・リング１３と結合してい
る。これら２つのプレート・スプリング１５およ
び１６は、断面がＶ字形のリングになつており、
Ｖ字形断面の開き角はおよそ180゜になることが可
能であるが、該リングに負荷のかからない時には
180゜よりも幾分小さい。この断面がＶ字形の、２
つのスプリング１５，１６よりなるリングは、バ
ルブ・シートリング１３に向いていない方の側で
チヤンバ１７を形成している。このチヤンバ１７
は、外部へ通じた穴１８を介して圧力媒体により
負荷を与えることが可能であり、またこれらの穴
を通じて排気することが可能である。２つのプレ
ート・スプリング１５および１６からなる、Ｖ字
形断面を有するリングの外縁１９および内縁２０
は、ケーシングによつて、軸方向ならびに半径方
向に支持されている。また、該リングの頂部は、
チヤンバ１７が負荷を受けていない時には、該チ
ヤンバの方向を向いている。（第２図）プレー
ト・スプリング１５および１６の、互いに向かい
合つた方の縁をあてがう目的で、バルブ・シー
ト・リング１３には、断面がＴ字型の帯状部材２
１が取り付けられる。この断面が実質的にＴ字型
の帯状部材２１によつて作られる棚状の部分の上
に、プレート・スプリング１５および１６の縁が
載せられる。チヤンバ１７の内部を密閉する目的
で、２つのプレート・スプリング１５および１６
によつて作られた環状体は、負荷を受けるチヤン
バ１７に向いた方の側に、少なくとも一つのパツ
キング膜２２を有し、この膜の縁は、ケーシング
および帯状部材２１に対しては・ん・だ・付もしくは溶
接により固着される。この膜２２の材料は薄いも
のでよい。その訳は、この膜は、チヤンバ１７が
負荷を充分受けている際においても、前記環状体
によつて支持されるからである。
本装置の実施態様は、第２図および第３図に示
される。第２図では、チヤンバ１７は負荷を受け
てない状態で示してある。２つのプレート・スプ
リング１５および１６よりなる断面がＶ字形の環
状体は、負荷を受けない時には、第２図に示すよ
うな形をとる。その際、バルブ・シート・リング
１３は、すでに閉じる位置に来ているバルブ・フ
ラツプ７から離れている。チヤンバ１７が負荷を
受けると、環状体のＶ字形の断面が延びて平担に
なり、その際環状体の頂部は、バルブ・フラツプ
７の方向へ押し付けられる。（第３図）縁の部分
をはんだ付もしくは溶接によつて固着された膜２
２は、チヤンバ１７内部の空間を密閉する。チヤ
ンバ１７に与えられる負荷の大きさは、断面がＶ
字形の環状体の弾性力に打ち勝つと同時に、バル
ブ・スライドの密閉に必要な力を与えるものでな
ければならない。チヤンバ１７が負荷を解除され
ると、プレート・スプリング１５および１６は、
その弾性力によつて元の位置へ戻り、従つてバル
ブ・スライドの密閉は解かれる。
される。第２図では、チヤンバ１７は負荷を受け
てない状態で示してある。２つのプレート・スプ
リング１５および１６よりなる断面がＶ字形の環
状体は、負荷を受けない時には、第２図に示すよ
うな形をとる。その際、バルブ・シート・リング
１３は、すでに閉じる位置に来ているバルブ・フ
ラツプ７から離れている。チヤンバ１７が負荷を
受けると、環状体のＶ字形の断面が延びて平担に
なり、その際環状体の頂部は、バルブ・フラツプ
７の方向へ押し付けられる。（第３図）縁の部分
をはんだ付もしくは溶接によつて固着された膜２
２は、チヤンバ１７内部の空間を密閉する。チヤ
ンバ１７に与えられる負荷の大きさは、断面がＶ
字形の環状体の弾性力に打ち勝つと同時に、バル
ブ・スライドの密閉に必要な力を与えるものでな
ければならない。チヤンバ１７が負荷を解除され
ると、プレート・スプリング１５および１６は、
その弾性力によつて元の位置へ戻り、従つてバル
ブ・スライドの密閉は解かれる。
ここに示した実施例においては、２つのプレー
ト・スプリング１５および１６が用いられたが、
復原力の点で要すれば、複数個の層よりなるプレ
ート・スプリング・パツケージを設置することも
基本的には可能である。これは、バルブ・スライ
ドの大きさならびにその用途にもよる。ここで示
した実施例の構造の場合にも、またプレート・ス
プリング・パツケージを用いた構造の場合にも、
バルブ・シート・リングの移動機構は、バルブ・
スライドの長さが短くなるように、極めて密に組
み立てられねばならない。
ト・スプリング１５および１６が用いられたが、
復原力の点で要すれば、複数個の層よりなるプレ
ート・スプリング・パツケージを設置することも
基本的には可能である。これは、バルブ・スライ
ドの大きさならびにその用途にもよる。ここで示
した実施例の構造の場合にも、またプレート・ス
プリング・パツケージを用いた構造の場合にも、
バルブ・シート・リングの移動機構は、バルブ・
スライドの長さが短くなるように、極めて密に組
み立てられねばならない。
ここに開示した実施例においては、チヤンバ１
７の内部空間は、極めて柔軟な薄い膜２２によつ
て密閉され、この膜の縁は、はんだ付もしくは溶
接によつてケーシングに固着される。この膜は、
非常に薄い、従つてまた非常に柔軟なものであつ
てよい。なぜなら、この膜はチヤンバ１７が負荷
を受ける時には常にプレート・スプリングに密着
し、かつプレート・スプリングによつて支持され
るため、膜自身は密封の機能を果たすだけでよい
からである。基本的には、プレート・スプリング
１５および１６の縁にパツキング・ストリツプ等
を入れることによつて、ケーシングに対して直接
に密封することも可能である。柔軟性のあるは・ん・
だ・が提供されるならば、プレート・スプリング１
５および１６の縁自体をケーシングには・ん・だ・付す
ることも可能である。プレート・スプリング１５
および１６は、何れの場合においても、幅が互い
に等しくてもよいし、異なつていもよい。
７の内部空間は、極めて柔軟な薄い膜２２によつ
て密閉され、この膜の縁は、はんだ付もしくは溶
接によつてケーシングに固着される。この膜は、
非常に薄い、従つてまた非常に柔軟なものであつ
てよい。なぜなら、この膜はチヤンバ１７が負荷
を受ける時には常にプレート・スプリングに密着
し、かつプレート・スプリングによつて支持され
るため、膜自身は密封の機能を果たすだけでよい
からである。基本的には、プレート・スプリング
１５および１６の縁にパツキング・ストリツプ等
を入れることによつて、ケーシングに対して直接
に密封することも可能である。柔軟性のあるは・ん・
だ・が提供されるならば、プレート・スプリング１
５および１６の縁自体をケーシングには・ん・だ・付す
ることも可能である。プレート・スプリング１５
および１６は、何れの場合においても、幅が互い
に等しくてもよいし、異なつていもよい。
以上に説明したように、本発明によれば、バル
ブの長さを非常に短かく出来るという効果があ
る。
ブの長さを非常に短かく出来るという効果があ
る。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は真空
装置用のスライド・バルブの正面図、第２図はバ
ルブフラツプがバルブの開口内に入つているが、
バルブはまだ密閉されていない状態を示した、第
１図のＡ−Ａによる断面図、第３図はバルブ・フ
ラツプがバルブの開口内に入つていて、バルブが
すでにしつかりと密閉された状態を示す断面図で
ある。 １，２……ケーシング、７……バルブ・フラツ
プ、１３……バルブ・シート・リング、１５，１
６……プレート・スプリング、１７……チヤン
バ、２１……帯状部材、２２……パツキング膜。
装置用のスライド・バルブの正面図、第２図はバ
ルブフラツプがバルブの開口内に入つているが、
バルブはまだ密閉されていない状態を示した、第
１図のＡ−Ａによる断面図、第３図はバルブ・フ
ラツプがバルブの開口内に入つていて、バルブが
すでにしつかりと密閉された状態を示す断面図で
ある。 １，２……ケーシング、７……バルブ・フラツ
プ、１３……バルブ・シート・リング、１５，１
６……プレート・スプリング、１７……チヤン
バ、２１……帯状部材、２２……パツキング膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ケーシング並びにこのケーシング内を移動可
能に設置されたバルブ・フラツプを有し、このバ
ルブ・フラツプは自身と同平面内においてスライ
ドもしくは回動することによつてバルブの開口を
閉じる位置もしくは開く位置に移動可能であり、
密閉を行う目的で、前記開口と同軸のバルブ・シ
ート・リングを軸方向に移動させて前記バルブ・
フラツプに押し付けることが可能であつて、前記
バルブ・シート・リングの戻しはスプリングの力
で行われ、また前記バルブ・シート・リング並び
にバルブ・フラツプは、内側の縁に相互のパツキ
ング・エレメントを有する高真空装置用総金属製
スライド・バルブであつて、バルブ・シート・リ
ング１３の外縁は、少くとも２つの、互いに、か
つバルブ・シート・リング１３と同軸の、互いに
反対向きに取り付けられた直径の異なるプレー
ト・スプリング１５，１６（Bellevilleスプリン
グ）と結合してあり、すなわち直径の小さい方の
プレート・スプリング１６はその外縁で、また直
径の大きい方のプレート・スプリング１５はその
内縁でバルブ・シート・リング１３と結合してあ
つて、これら２つのスプリング１５，１６によつ
て形成された、断面がＶ字形の環状体は、バル
ブ・シート・リング１３に向いていない方の側
で、ケーシング１，２とともに、圧力媒体を用い
て負荷を加えることの可能なチヤンバ１７を形成
しており、前記環状体の縁部分１９，２０は、ケ
ーシング１，２によつて支持され、また前記環状
体の頂部は、前記チヤンバ１７内に突き出ること
を特徴とする高真空装置用総金属製スライド・バ
ルブ。 ２ バルブ・シート・リング１３が、その外縁部
の、バルブ・フラツプ７に向いていない方の側
に、断面が実質的にＴ字形の帯状部材２１を有
し、プレート・スプリング１５，１６の向かい合
つた縁が、前記帯状部材によつて作られる棚状部
分の上に位置させられることを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の高真空装置用総金属製ス
ライド・バルブ。 ３ ２つのプレート・スプリング１５，１６によ
つて作られた前記環状体が、チヤンバ１７に向い
た方の側に、少くとも一つのパツキング膜２２を
有し、この膜の縁は、はんだ付もしくは溶接によ
つて、ケーシングおよび断面がＴ字形の前記帯状
部分に固着してあることを特徴とする特許請求の
範囲第１項もしくは第２項に記載の高真空装置用
総金属製スライド・バルブ。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2947517A DE2947517C2 (de) | 1979-11-24 | 1979-11-24 | Glanzmetall-Ventilschieber für Hochvakuumanlagen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5686268A JPS5686268A (en) | 1981-07-13 |
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