JPH0549865B2 - - Google Patents
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- JPH0549865B2 JPH0549865B2 JP1001940A JP194089A JPH0549865B2 JP H0549865 B2 JPH0549865 B2 JP H0549865B2 JP 1001940 A JP1001940 A JP 1001940A JP 194089 A JP194089 A JP 194089A JP H0549865 B2 JPH0549865 B2 JP H0549865B2
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- JP
- Japan
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- valve
- plate
- valve body
- annular
- support
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ゲートバルブ、特に、高真空中にお
いて使用される無しゆう動ゲートバルブに対する
弁体に関するものである。
いて使用される無しゆう動ゲートバルブに対する
弁体に関するものである。
従来の技術
従来、この種の高真空中において使用されるゲ
ートバルブは、一般的に、弁箱と、それに設けら
れた弁開口を開閉するために、弁箱内にしゆう動
自在ないしは旋回自在に取り付けられた弁体とか
ら成り立つており、また、弁体としては、相互に
対向して平行に配置されたバルブプレートと、カ
ウンタープレートとから成り立ち、バルブプレー
トを弁開口を包囲する弁座に押し付けることによ
り、弁開口を閉塞する形式のゲートバルブが知ら
れている。そして、この形式のゲートバルブにお
いては、バルブプレートを弁座に押し付け、シー
ル動作を行わせるために、リンク機構や、テーパ
ブロツクによるしゆう動機構や、ボールやコロを
利用した機構などが使用されている。
ートバルブは、一般的に、弁箱と、それに設けら
れた弁開口を開閉するために、弁箱内にしゆう動
自在ないしは旋回自在に取り付けられた弁体とか
ら成り立つており、また、弁体としては、相互に
対向して平行に配置されたバルブプレートと、カ
ウンタープレートとから成り立ち、バルブプレー
トを弁開口を包囲する弁座に押し付けることによ
り、弁開口を閉塞する形式のゲートバルブが知ら
れている。そして、この形式のゲートバルブにお
いては、バルブプレートを弁座に押し付け、シー
ル動作を行わせるために、リンク機構や、テーパ
ブロツクによるしゆう動機構や、ボールやコロを
利用した機構などが使用されている。
しかしながら、これらの機構においては、いず
れも、回転部や、しゆう動部などのように、相対
的に移動を行う部材を有しているので、高真空中
において使用中に、相対的に移動をする部材の間
にかじりなどが生じ、そのために、弁の開閉動作
が不能となつたり、あるいは、開閉作動を高速度
で行うことが不可能であつたり、あるいは、相互
移動の結果に基づく磨耗により発生するちりなど
のために、種々の障害が生ずるなどの問題点があ
ることは、良く知られているところである。
れも、回転部や、しゆう動部などのように、相対
的に移動を行う部材を有しているので、高真空中
において使用中に、相対的に移動をする部材の間
にかじりなどが生じ、そのために、弁の開閉動作
が不能となつたり、あるいは、開閉作動を高速度
で行うことが不可能であつたり、あるいは、相互
移動の結果に基づく磨耗により発生するちりなど
のために、種々の障害が生ずるなどの問題点があ
ることは、良く知られているところである。
既に、このような問題点を幾分でも解決するた
めに、シール機構部に、金属ベローや、ダイヤフ
ラムなどを使用したゲートバルブが提案されてい
るが、これには、バルブプレートに対向する弁座
側に同心に二重ベローを配置した形式のものと、
バルブプレートとカウンタープレートとの間に金
属ベローを配置した形式のものとが知られてい
る。これらの内、前者の形式のものは、弁座側に
金属ベローを配置しているので、構造が複雑とな
り、後者の形式のものに比べ、バルブの厚さや、
重量が過大となるという欠点を有している。ま
た、後者の形式のものは、金属ベローズを配置し
たバルブプレート部の重量が大きくなるため、振
れ止めなどの案内機構を必要とし、そのために、
高真空中にしゆう動部を設ける必要があるという
欠点がある。
めに、シール機構部に、金属ベローや、ダイヤフ
ラムなどを使用したゲートバルブが提案されてい
るが、これには、バルブプレートに対向する弁座
側に同心に二重ベローを配置した形式のものと、
バルブプレートとカウンタープレートとの間に金
属ベローを配置した形式のものとが知られてい
る。これらの内、前者の形式のものは、弁座側に
金属ベローを配置しているので、構造が複雑とな
り、後者の形式のものに比べ、バルブの厚さや、
重量が過大となるという欠点を有している。ま
た、後者の形式のものは、金属ベローズを配置し
たバルブプレート部の重量が大きくなるため、振
れ止めなどの案内機構を必要とし、そのために、
高真空中にしゆう動部を設ける必要があるという
欠点がある。
このように、既に提案されている高真空用ゲー
トバルブには、その構成上に種々の問題点のある
ことは、明らかなところである。
トバルブには、その構成上に種々の問題点のある
ことは、明らかなところである。
本出願人は、このような種々の問題点を解決す
るための新たな手段として、特願昭62−86937号
（昭和62年４月10日特許出願）として「高真空用
無しゆう動ゲートバルブ」の発明を提案してい
る。
るための新たな手段として、特願昭62−86937号
（昭和62年４月10日特許出願）として「高真空用
無しゆう動ゲートバルブ」の発明を提案してい
る。
すなわち、この先に提案されている発明による
「高真空用無しゆう動ゲートバルブ」は、その明
細書及び図面の記載から明らかであり、また、本
願の添付図面の第２図に示すとおり、弁体２は、
対向して配置されたほぼ同一寸法を有している円
形の金属板から成るバルブプレート１０と、カウ
ンタープレート１１と、それらの各プレート１
０，１１を、それらの対向する外周辺部分におい
てシールして連結している金属ベロー１３とから
構成されており、また、各バルブプレート１０及
びカウンタープレート１１は、それぞれ、中央部
を耐圧金属薄板１４，１５により構成し、これら
の各バルブプレート１０、カウンタープレート１
１及び金属ベロー１３により、それらの間に密封
空間１６を境界するようにし、この密封空間１６
は、弁体２を作動させるために、それに取り付け
られたロツド７に軸方向に貫通して形成された流
体通路７0を経て外部から圧縮流体を密閉空間１
６内に導入することにより、金属ベロー１３をそ
の弾性に抗して伸長させ、これにより、カウンタ
ープレート１１を弁箱１の内部に形成された受け
座１８に押圧させると共にバルブプレート１０を
弁箱１の内部に形成された弁座１７に押圧させる
ことにより、弁開口１1を閉塞させ、また、この
状態から弁開口１1を開放させるには、この密閉
空間１６内から圧縮流体を放出させることによ
り、金属ベロー１３をその弾性により収縮させ、
これに伴つて、バルブプレート１０を弁座１７か
ら離脱させ、弁開口１1を開放させ、また、カウ
ンタープレート１１は、受け座１８から、弁箱１
の外部に配置された圧縮コイルばね９の作用を介
して離脱させるようにすることを特徴とするもの
である。
「高真空用無しゆう動ゲートバルブ」は、その明
細書及び図面の記載から明らかであり、また、本
願の添付図面の第２図に示すとおり、弁体２は、
対向して配置されたほぼ同一寸法を有している円
形の金属板から成るバルブプレート１０と、カウ
ンタープレート１１と、それらの各プレート１
０，１１を、それらの対向する外周辺部分におい
てシールして連結している金属ベロー１３とから
構成されており、また、各バルブプレート１０及
びカウンタープレート１１は、それぞれ、中央部
を耐圧金属薄板１４，１５により構成し、これら
の各バルブプレート１０、カウンタープレート１
１及び金属ベロー１３により、それらの間に密封
空間１６を境界するようにし、この密封空間１６
は、弁体２を作動させるために、それに取り付け
られたロツド７に軸方向に貫通して形成された流
体通路７0を経て外部から圧縮流体を密閉空間１
６内に導入することにより、金属ベロー１３をそ
の弾性に抗して伸長させ、これにより、カウンタ
ープレート１１を弁箱１の内部に形成された受け
座１８に押圧させると共にバルブプレート１０を
弁箱１の内部に形成された弁座１７に押圧させる
ことにより、弁開口１1を閉塞させ、また、この
状態から弁開口１1を開放させるには、この密閉
空間１６内から圧縮流体を放出させることによ
り、金属ベロー１３をその弾性により収縮させ、
これに伴つて、バルブプレート１０を弁座１７か
ら離脱させ、弁開口１1を開放させ、また、カウ
ンタープレート１１は、受け座１８から、弁箱１
の外部に配置された圧縮コイルばね９の作用を介
して離脱させるようにすることを特徴とするもの
である。
発明が解決しようとする課題
このような構成を特徴としている先に本出願人
により提案されているゲートバルブは、一般的
に、その所期の目的を達成することのできること
は確認されたが、閉塞された弁体２を開放する際
に、バルブプレート１０が、金属ベロー１３の弾
性による収縮力だけによつては、必ずしも、円滑
には開放しないことのあることが発見された。も
つとも、このこををあらかじめ考慮して、先に提
案されたゲートバルブにおいては、バルブプレー
ト１０と、カウンタープレート１１とを、それら
の外部において相互に連結する引つ張りばね２０
が設けてあるが、これは、弁体２の構成を複雑と
し、また、このばね２０は、弁箱１内の流体に露
出されているので、流体に悪影響を及ぼすことが
あるという問題点がある。
により提案されているゲートバルブは、一般的
に、その所期の目的を達成することのできること
は確認されたが、閉塞された弁体２を開放する際
に、バルブプレート１０が、金属ベロー１３の弾
性による収縮力だけによつては、必ずしも、円滑
には開放しないことのあることが発見された。も
つとも、このこををあらかじめ考慮して、先に提
案されたゲートバルブにおいては、バルブプレー
ト１０と、カウンタープレート１１とを、それら
の外部において相互に連結する引つ張りばね２０
が設けてあるが、これは、弁体２の構成を複雑と
し、また、このばね２０は、弁箱１内の流体に露
出されているので、流体に悪影響を及ぼすことが
あるという問題点がある。
そこて、本発明は、主として、本出願人により
先に提案されているゲートバルブにおけるこのよ
うな問題点をも解決した、改良されたゲートバル
ブ、特に、高度真空用無しゆう動ゲートバルブ用
の弁体を得ることを、その目的とするものであ
る。
先に提案されているゲートバルブにおけるこのよ
うな問題点をも解決した、改良されたゲートバル
ブ、特に、高度真空用無しゆう動ゲートバルブ用
の弁体を得ることを、その目的とするものであ
る。
課題を解決するための手段
本発明においては、この目的を達成するため
に、弁開口を包囲する弁座を有する弁箱と、弁座
を開閉する弁体とから成り立つている無しゆう動
ゲートバルブにおいて、弁体が、弁箱に形成され
た弁座を閉鎖するような外径寸法を有すると共に
中心を弁開口の中心軸の上に置かれ且つ弁座に対
して並びに相互に対して平行に間隔を置かれて配
置された薄金属板から成る１対のバルブプレート
及びカウンタープレートと、バルブプレートとカ
バープレートの間の間隔内にそれと同軸に且つ相
互に平行に間隔を置かれて配置され、バルブプレ
ート及びカウンタープレートの外径よりも小さな
外径を有する金属円盤から成る１対の内部支持体
と、内部支持体の半径方向の外部に配置され、バ
ルブプレート及びカウンタープレートの外径より
も大きな内径を有すると共に内部支持体の合計厚
さにほぼ等しい幅を有する金属環状体から成る外
部支持体と、各内部支持体の外周面と、外部支持
体の内周面との間に配置され且つ相互に間隔を置
かれて半径方向に配置された環状薄金属板から形
成された１対の環状弾性連結板とから構成され、
各バルブプレート及びカバープレートは、それに
対向する各内部支持体に固着され、また、各内部
支持体及び外部支持体は、それぞれの外周面及び
内周面において各環状弾性連結板に、その内径部
及び外径部において、それぞれ、シールされて強
固に連結され、更に、各環状弾性連結板の半径方
向の面には、その面に対して垂直方向に、滑らか
な環状隆起を少なくとも１個同心に形成し、ま
た、内部支持体、環状弾性連結板及び外部支持板
の間にはシールされた密封空間を形成した弁体を
特徴とするものである。
に、弁開口を包囲する弁座を有する弁箱と、弁座
を開閉する弁体とから成り立つている無しゆう動
ゲートバルブにおいて、弁体が、弁箱に形成され
た弁座を閉鎖するような外径寸法を有すると共に
中心を弁開口の中心軸の上に置かれ且つ弁座に対
して並びに相互に対して平行に間隔を置かれて配
置された薄金属板から成る１対のバルブプレート
及びカウンタープレートと、バルブプレートとカ
バープレートの間の間隔内にそれと同軸に且つ相
互に平行に間隔を置かれて配置され、バルブプレ
ート及びカウンタープレートの外径よりも小さな
外径を有する金属円盤から成る１対の内部支持体
と、内部支持体の半径方向の外部に配置され、バ
ルブプレート及びカウンタープレートの外径より
も大きな内径を有すると共に内部支持体の合計厚
さにほぼ等しい幅を有する金属環状体から成る外
部支持体と、各内部支持体の外周面と、外部支持
体の内周面との間に配置され且つ相互に間隔を置
かれて半径方向に配置された環状薄金属板から形
成された１対の環状弾性連結板とから構成され、
各バルブプレート及びカバープレートは、それに
対向する各内部支持体に固着され、また、各内部
支持体及び外部支持体は、それぞれの外周面及び
内周面において各環状弾性連結板に、その内径部
及び外径部において、それぞれ、シールされて強
固に連結され、更に、各環状弾性連結板の半径方
向の面には、その面に対して垂直方向に、滑らか
な環状隆起を少なくとも１個同心に形成し、ま
た、内部支持体、環状弾性連結板及び外部支持板
の間にはシールされた密封空間を形成した弁体を
特徴とするものである。
実施例
以下、本発明をその実施例を示す添付図面の第
１図に基づいて、詳細に説明をする。
１図に基づいて、詳細に説明をする。
本発明によるゲートバルブは、ほぼだ円形状の
正面輪郭を有する、薄い厚さの中空箱状の弁箱１
と、その内部に配置された、ほぼ円盤状の弁体２
とから構成され、弁体２は、弁箱１に軸方向にあ
けられた弁開口１1を開閉するようになつている。
なお、詳細には図示されていないが、弁箱１は、
上記のように、正面輪郭が、ほばだ円形状となつ
ており、弁体２は、このだ円形状の弁箱１の内部
を、図に示すような、弁開口１1に対向する閉塞
準備位置と、この弁開口１1に対向する位置から、
弁体２の厚さを２分する中心平面内において旋回
し、弁開口１1に対向する位置から回避した開放
位置とを取ることができように構成されている。
そして、この両方の位置の間を旋回する時には、
弁体２は、図に示すような収縮状態にあり、弁体
２の旋回運動が、弁箱１の内面との間に、何らの
相対的にしゆう動運動も無いようにしてある。
正面輪郭を有する、薄い厚さの中空箱状の弁箱１
と、その内部に配置された、ほぼ円盤状の弁体２
とから構成され、弁体２は、弁箱１に軸方向にあ
けられた弁開口１1を開閉するようになつている。
なお、詳細には図示されていないが、弁箱１は、
上記のように、正面輪郭が、ほばだ円形状となつ
ており、弁体２は、このだ円形状の弁箱１の内部
を、図に示すような、弁開口１1に対向する閉塞
準備位置と、この弁開口１1に対向する位置から、
弁体２の厚さを２分する中心平面内において旋回
し、弁開口１1に対向する位置から回避した開放
位置とを取ることができように構成されている。
そして、この両方の位置の間を旋回する時には、
弁体２は、図に示すような収縮状態にあり、弁体
２の旋回運動が、弁箱１の内面との間に、何らの
相対的にしゆう動運動も無いようにしてある。
さて、本発明によると、この弁体２は、弁箱１
の弁開口１1に対向するように、それと同軸に、
ほぼ環状の薄金属板から成る１対の相互に間隔を
置かれたバルブプレート３０1及びカウンタープ
レート３０2を有しており、これらのバルププレ
ート３０1及びカウンタープレート３０2の弁箱１
の弁開口１1に面する側は、弁箱１の内面に、弁
開口１1の周囲に形成された弁座１７と平行に配
置されていると共にその側には、弁座１７とシー
ルして接合するように環状のシール材３０が取り
付けられている。
の弁開口１1に対向するように、それと同軸に、
ほぼ環状の薄金属板から成る１対の相互に間隔を
置かれたバルブプレート３０1及びカウンタープ
レート３０2を有しており、これらのバルププレ
ート３０1及びカウンタープレート３０2の弁箱１
の弁開口１1に面する側は、弁箱１の内面に、弁
開口１1の周囲に形成された弁座１７と平行に配
置されていると共にその側には、弁座１７とシー
ルして接合するように環状のシール材３０が取り
付けられている。
また、各バルププレート３０1及びカウンター
プレート３０2の間には、その内周面の内径より
も大きな外径を有している厚肉の円盤状の金属製
の１対の内部支持体３２が、同軸に配置されてい
るが、各支持板３２は、それらの対向する円板状
の面３２1が、弁開口１1の軸線Ｘ−Ｘに対して直
角方向に延びると共に相互に間隔を置いて平行に
配置されており、その反対側には、同心円状に２
個の感情の突起３２2，３２3が形成されており、
それぞれの内方の環状突起３２2において、各バ
ルププレート３０1及びカウンタープレート３０2
の内周縁部が、それぞれ、溶接などにより固着さ
れている。更に、内部支持体３２の外方の環状突
起３２3の外部には、これから半径方向に間隔を
置いて内部支持体３２と同軸に且つバルブプレー
ト３０1及びカウンタープレート３０2の外径より
も大きな内径を有している金属製の環状の外部支
持体３３が配置されているが、この外部支持体３
３は、ある厚さ及びほぼ内部支持体３２の合計厚
さに相当する幅を有している。
プレート３０2の間には、その内周面の内径より
も大きな外径を有している厚肉の円盤状の金属製
の１対の内部支持体３２が、同軸に配置されてい
るが、各支持板３２は、それらの対向する円板状
の面３２1が、弁開口１1の軸線Ｘ−Ｘに対して直
角方向に延びると共に相互に間隔を置いて平行に
配置されており、その反対側には、同心円状に２
個の感情の突起３２2，３２3が形成されており、
それぞれの内方の環状突起３２2において、各バ
ルププレート３０1及びカウンタープレート３０2
の内周縁部が、それぞれ、溶接などにより固着さ
れている。更に、内部支持体３２の外方の環状突
起３２3の外部には、これから半径方向に間隔を
置いて内部支持体３２と同軸に且つバルブプレー
ト３０1及びカウンタープレート３０2の外径より
も大きな内径を有している金属製の環状の外部支
持体３３が配置されているが、この外部支持体３
３は、ある厚さ及びほぼ内部支持体３２の合計厚
さに相当する幅を有している。
このようにして、内部支持体３２の外方の環状
突起３２3の外周面と、外部支持体３３の内周面
との間には、半径方向に環状の空間が残されるて
いるが、この空間は、外部支持体３３の内周面
と、各内部支持体３２の外方の環状突起３２3の
外周面とに、それぞれ、外周フランジ部３４1及
び内周フランジ部３４2においてシールされて固
着され且つ相互に間隔を置いて配置された薄金属
板製の環状弾性連結板３４により、連結されてい
る。この環状弾性連結板３４には、その半径方向
の平面から、それに対して垂直方向に交互に突出
して、同心円状に少なくとも１個（本実施例にお
いては３個）の環状隆起３４0が波形に形成され
ている。このような環状隆起３４0を有する環状
の薄金属から成る環状弾性連結板３４は、その材
質の選択及び成形処理により、極めて高い弾性を
現し、特に、優れた復元力を発揮することができ
るものである。
突起３２3の外周面と、外部支持体３３の内周面
との間には、半径方向に環状の空間が残されるて
いるが、この空間は、外部支持体３３の内周面
と、各内部支持体３２の外方の環状突起３２3の
外周面とに、それぞれ、外周フランジ部３４1及
び内周フランジ部３４2においてシールされて固
着され且つ相互に間隔を置いて配置された薄金属
板製の環状弾性連結板３４により、連結されてい
る。この環状弾性連結板３４には、その半径方向
の平面から、それに対して垂直方向に交互に突出
して、同心円状に少なくとも１個（本実施例にお
いては３個）の環状隆起３４0が波形に形成され
ている。このような環状隆起３４0を有する環状
の薄金属から成る環状弾性連結板３４は、その材
質の選択及び成形処理により、極めて高い弾性を
現し、特に、優れた復元力を発揮することができ
るものである。
このようにして、内部支持体３２の対向する面
３２1の間及び環状弾性連結板３４の対向する面
の間には、相互に連通する密封空間３５が形成さ
れるが、この密封空間３５内には、外部支持体３
４に半径方向に貫通してあけられた流体通路３６
から、圧縮空気などの圧力流体が供給及び排出可
能とされており、圧力流体を密封空間３５の内部
に供給する時は、内部支持体３２の対向する円板
状の平面３２1が、この流体圧力により押圧され、
これに伴つて、環状弾性連結板３４を弾性的に変
形させ、各内部支持板３２の外部に固着された各
バルブプレート３０1及びカウンタープレート３
０2を、弁箱１に形成された弁座１７に向かつて
押圧するようにする。この場合、環状弾性連結板
３４も、それら自体、流体圧力により押圧され、
その弾性に抗して、外方に自由に弾性的に変形
し、内部支持体３２の同方向への運動を助成す
る。従つて、バルブプレート３０1及びカウンタ
ープレート３０2は、それぞれの環状のシール材
３１を介して、弁座１７に接合し、弁開口１1を
完全に閉鎖する。
３２1の間及び環状弾性連結板３４の対向する面
の間には、相互に連通する密封空間３５が形成さ
れるが、この密封空間３５内には、外部支持体３
４に半径方向に貫通してあけられた流体通路３６
から、圧縮空気などの圧力流体が供給及び排出可
能とされており、圧力流体を密封空間３５の内部
に供給する時は、内部支持体３２の対向する円板
状の平面３２1が、この流体圧力により押圧され、
これに伴つて、環状弾性連結板３４を弾性的に変
形させ、各内部支持板３２の外部に固着された各
バルブプレート３０1及びカウンタープレート３
０2を、弁箱１に形成された弁座１７に向かつて
押圧するようにする。この場合、環状弾性連結板
３４も、それら自体、流体圧力により押圧され、
その弾性に抗して、外方に自由に弾性的に変形
し、内部支持体３２の同方向への運動を助成す
る。従つて、バルブプレート３０1及びカウンタ
ープレート３０2は、それぞれの環状のシール材
３１を介して、弁座１７に接合し、弁開口１1を
完全に閉鎖する。
また、反対に、密封空間３５の内部から圧力流
体を流体通路３６を介して排出する時は、環状弾
性連結板３４が、その固有の弾性により元の状態
に復帰するので、内部支持体３２、従つて、これ
に固着されたバルブプレート３０1及びカウンタ
ープレート３０2も元の位置に復帰し、弁箱１の
弁開口１1を開放することとなる。
体を流体通路３６を介して排出する時は、環状弾
性連結板３４が、その固有の弾性により元の状態
に復帰するので、内部支持体３２、従つて、これ
に固着されたバルブプレート３０1及びカウンタ
ープレート３０2も元の位置に復帰し、弁箱１の
弁開口１1を開放することとなる。
このように、本発明によると、ゲートバルブ、
特に、高真空用無しゆう動ゲートバルブに対する
弁体として、先に本出願人により提案されている
ものとは相違し、バルブプレート３０1及びカウ
ンタープレート３０2の開閉、特に、開放を圧縮
コイルばね２０などの作用を必要とすること無
く、環状弾性連結板３４の発揮する強力な弾性復
元効果だけにより、行うことができる。また、先
に提案されたものおいては、バルブプレート１０
の他に、これと形状及び寸法を相違するカウンタ
ープレート１１をも必要とし、この操作のために
追加の機構も備えていたが、これも省略し、同一
構造を有するバルブプレート３０1ないしはカウ
ンタープレート３０2が、この作用を行い、弁開
口１1の開閉を一層迅速に行うことが可能となり、
また、ゲートバルブそれ自体の全体的な構成を、
簡略化することができるようになる。
特に、高真空用無しゆう動ゲートバルブに対する
弁体として、先に本出願人により提案されている
ものとは相違し、バルブプレート３０1及びカウ
ンタープレート３０2の開閉、特に、開放を圧縮
コイルばね２０などの作用を必要とすること無
く、環状弾性連結板３４の発揮する強力な弾性復
元効果だけにより、行うことができる。また、先
に提案されたものおいては、バルブプレート１０
の他に、これと形状及び寸法を相違するカウンタ
ープレート１１をも必要とし、この操作のために
追加の機構も備えていたが、これも省略し、同一
構造を有するバルブプレート３０1ないしはカウ
ンタープレート３０2が、この作用を行い、弁開
口１1の開閉を一層迅速に行うことが可能となり、
また、ゲートバルブそれ自体の全体的な構成を、
簡略化することができるようになる。
なお、ここで、本発明において、このような優
れた効果を発揮することを可能とさせるために、
環状弾性連結板３４が大きく貢献しているが、こ
れは、先に提案されているものにおいて使用され
ている金属ベロー１３とは、その構成、作用及び
効果のすべての点において、根本的に相違するも
のであることに、注目しなければならない。なぜ
ならば、金属ベロー１３は、一般的に、薄金属板
から成る円形管の管体の壁に、多数の凹凸を波型
に形成したような構成を有しており、この管体自
体の軸方向の伸縮により、その作用を行うもので
あるのに対し、本発明における環状弾性連結板３
４は、環状を呈しており、その板面に対して垂直
に、少なくとも１個の環状の隆起３４0を同心に
形成し、このように形成された環状弾性連結板３
４の２枚を、相互に間隔を置いて平行に配列して
構成されているものであり、この場合、薄金属板
の材質の選択や、その成形時に与えられる処理に
より、各環状弾性連結板３４は、特有の弾性、特
に、弾性変形後に強力な復帰力を発揮するもので
あるからである。これに対し、一般的な金属ベロ
ーは、このような特有の作用ないしは効果は、発
揮できないものである。
れた効果を発揮することを可能とさせるために、
環状弾性連結板３４が大きく貢献しているが、こ
れは、先に提案されているものにおいて使用され
ている金属ベロー１３とは、その構成、作用及び
効果のすべての点において、根本的に相違するも
のであることに、注目しなければならない。なぜ
ならば、金属ベロー１３は、一般的に、薄金属板
から成る円形管の管体の壁に、多数の凹凸を波型
に形成したような構成を有しており、この管体自
体の軸方向の伸縮により、その作用を行うもので
あるのに対し、本発明における環状弾性連結板３
４は、環状を呈しており、その板面に対して垂直
に、少なくとも１個の環状の隆起３４0を同心に
形成し、このように形成された環状弾性連結板３
４の２枚を、相互に間隔を置いて平行に配列して
構成されているものであり、この場合、薄金属板
の材質の選択や、その成形時に与えられる処理に
より、各環状弾性連結板３４は、特有の弾性、特
に、弾性変形後に強力な復帰力を発揮するもので
あるからである。これに対し、一般的な金属ベロ
ーは、このような特有の作用ないしは効果は、発
揮できないものである。
なお、本発明において、その重要な構成部材と
して使用されている環状弾性連結板は、特有な弾
性的特性を有しているものであるので、このよう
なゲートバルブの弁体に対してだけでは無く、同
様な作用ないしは効果の発揮を必要とされるその
他の装置などに対しても、広く適用されることが
できるものである。
して使用されている環状弾性連結板は、特有な弾
性的特性を有しているものであるので、このよう
なゲートバルブの弁体に対してだけでは無く、同
様な作用ないしは効果の発揮を必要とされるその
他の装置などに対しても、広く適用されることが
できるものである。
発明の効果
本発明は、上記のような構成及び作用を有して
いるので、無しゆう動ゲートバルブ用の弁体とし
て好適なものを提供するものであり、従来のこの
種のゲートバルブにおける問題点を解消すること
ができるだけでは無く、先に本出願人により提案
されたゲートバルブをも改良するものであり、特
に、高真空用無くしゆう動ゲートバルブにとし
て、一層適したものを提供するという優れた効果
を発揮するものである。
いるので、無しゆう動ゲートバルブ用の弁体とし
て好適なものを提供するものであり、従来のこの
種のゲートバルブにおける問題点を解消すること
ができるだけでは無く、先に本出願人により提案
されたゲートバルブをも改良するものであり、特
に、高真空用無くしゆう動ゲートバルブにとし
て、一層適したものを提供するという優れた効果
を発揮するものである。
第１図は、本発明の１実施例を示す要部の縦断
面図、第２図は、本出願人により先に提案された
ゲートバルブを示す縦断面図である。 １……弁箱、１1……弁開口、２……弁体、１
７……弁座、３０1……バルブプレート、３０2…
…カウンタープレート、３１……シール部材、３
２……内部支持体、３３……外部支持体、３４…
…環状弾性連結板、３５……密封空間、３６……
流体通路。
面図、第２図は、本出願人により先に提案された
ゲートバルブを示す縦断面図である。 １……弁箱、１1……弁開口、２……弁体、１
７……弁座、３０1……バルブプレート、３０2…
…カウンタープレート、３１……シール部材、３
２……内部支持体、３３……外部支持体、３４…
…環状弾性連結板、３５……密封空間、３６……
流体通路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 弁開口を包囲する弁座を有する弁箱と、弁座
を開閉する弁体とから成り立つている無しゆう動
ゲートバルブにおいて、弁体が、弁箱に形成され
た弁座を閉鎖するような外径寸法を有すると共に
中心を弁開口の中心軸の上に置かれ且つ弁座に対
して並びに相互に対して平行に間隔を置かれて配
置された薄金属板から成る１対のバルブプレート
及びカウンタープレートと、バルププレートとカ
ウンタープレートの間の間隔内にそれと同軸に且
つ相互に平行に間隔を置かれて配置され、バルブ
プレート及びカウンタープレートの外径よりも小
さな外径を有する金属円盤から成る１対の内部支
持体と、内部支持体の半径方向の外部に配置さ
れ、バルブプレート及びカウンタープレートの外
径よりも大きな内径を有すると共に内部支持体の
合計厚さにほぼ等しい幅を有する金属環状体から
成る外部支持体と、各内部支持体の外周面と、外
部支持体の内周面との間に配置され且つ相互に間
隔を置かれて半径方向に配置された環状薄金属板
から形成された１対の環状弾性連結板とから構成
され、各バルブプレート及びカウンタープレート
は、それに対向する各内部支持体に固着され、ま
た、各内部支持体及び外部支持体は、それぞれの
外周面及び内周面において各環状弾性連結板に、
その内径部及び外径部において、それぞれ、シー
ルされて強固に連結され、更に、各環状弾性連結
板の半径方向の面には、その面に対して垂直方向
に、滑らかな環状隆起を少なくとも１個同心に形
成し、また、内部支持体、環状弾性連結板及び外
部支持板の間にはシールされた密封空間を形成し
たことを特徴とする弁体。 ２ 各バルブプレート及びカウンタープレートが
環状に形成され、その内径部において内部支持体
に固着されている請求項１記載の弁体。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1001940A JPH02186172A (ja) | 1989-01-10 | 1989-01-10 | 無しゅう動ゲートバルブ用弁体 |
| KR1019900701949A KR940000443B1 (ko) | 1989-01-10 | 1990-01-10 | 무접동 게이트 밸브용 밸브체 |
| PCT/JP1990/000020 WO1990008275A1 (fr) | 1989-01-10 | 1990-01-10 | Corps de vanne pour vanne a obturateur non coulissante |
| DE69010791T DE69010791T2 (de) | 1989-01-10 | 1990-01-10 | Ventilverschlussstück für ein nichtgleitendes schieberventil. |
| US07/499,336 US5087017A (en) | 1989-01-10 | 1990-01-10 | Valve body for non-sliding type gate valve |
| EP90901674A EP0406447B1 (en) | 1989-01-10 | 1990-01-10 | Valve body for non-sliding gate valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1001940A JPH02186172A (ja) | 1989-01-10 | 1989-01-10 | 無しゅう動ゲートバルブ用弁体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02186172A JPH02186172A (ja) | 1990-07-20 |
| JPH0549865B2 true JPH0549865B2 (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11515609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1001940A Granted JPH02186172A (ja) | 1989-01-10 | 1989-01-10 | 無しゅう動ゲートバルブ用弁体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5087017A (ja) |
| EP (1) | EP0406447B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02186172A (ja) |
| KR (1) | KR940000443B1 (ja) |
| DE (1) | DE69010791T2 (ja) |
| WO (1) | WO1990008275A1 (ja) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2958267B2 (ja) * | 1996-05-07 | 1999-10-06 | 入江工研株式会社 | 無摺動真空ゲートバルブ |
| CH692821A5 (de) * | 1998-02-04 | 2002-11-15 | Unaxis Trading Ag | Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen. |
| US6079693A (en) * | 1998-05-20 | 2000-06-27 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Isolation valves |
| US6215897B1 (en) | 1998-05-20 | 2001-04-10 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Automated substrate processing system |
| DE19857201A1 (de) * | 1998-12-11 | 2000-06-15 | Leybold Systems Gmbh | Schleusenventil |
| US6347918B1 (en) | 1999-01-27 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Inflatable slit/gate valve |
| JP3425937B2 (ja) * | 2000-12-04 | 2003-07-14 | 入江工研株式会社 | ゲート弁 |
| JP3425938B2 (ja) * | 2000-12-14 | 2003-07-14 | 入江工研株式会社 | ゲート弁 |
| US6854708B2 (en) * | 2002-07-22 | 2005-02-15 | Mdc Vacuum Products Corporation | High-vacuum valve with retractable valve plate to eliminate abrasion |
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| CN101208551B (zh) * | 2005-07-29 | 2011-04-13 | 株式会社开滋Sct | 滑阀 |
| JP4979429B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-07-18 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
| KR100740036B1 (ko) * | 2006-06-08 | 2007-07-19 | (주)지에스티산업 | 진공 게이트 밸브 |
| TWI388754B (zh) * | 2006-06-16 | 2013-03-11 | Vat Holding Ag | 真空閥 |
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| US20100098518A1 (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Applied Materials, Inc. | In/out door for a vacuum chamber |
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| US20110006236A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Confluence Solar, Incorporated | Retractable and expandable water cooled valve gate useful for sealing a hot processing chamber |
| US20110006235A1 (en) * | 2009-07-08 | 2011-01-13 | Confluence Solar, Inc. | Retractable and expandable valve gate |
| CN102022560B (zh) * | 2010-12-24 | 2013-02-13 | 武汉策尔曼自动化设备有限公司 | 充压式密封阀门 |
| EP2876341B1 (de) * | 2013-11-21 | 2015-10-21 | VAT Holding AG | Verfahren zum Betrieb eines Ventils |
| TWI656293B (zh) * | 2014-04-25 | 2019-04-11 | 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 | 閥 |
| CN107407428B (zh) * | 2015-03-05 | 2019-04-12 | Vat控股公司 | 真空阀 |
| DE102015104555A1 (de) * | 2015-03-26 | 2016-09-29 | Z & J Technologies Gmbh | Doppelplattenschieber, Absperrplatte und Verfahren zum Abdichten eines Doppelplattenschiebers |
| CN105864505A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-08-17 | 洛阳海惠新材料股份有限公司 | 一种储油罐排凝阀门的保护装置 |
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| CN110906022B (zh) * | 2019-12-06 | 2021-09-21 | 浙江宣达环境科技股份有限公司 | 一种u型闸阀 |
| CN111022678B (zh) * | 2019-12-30 | 2024-04-26 | 荆门美中美阀门有限公司 | 一种闸阀结构 |
| IT202000004987A1 (it) * | 2020-03-09 | 2021-09-09 | Metaltecnica Srl | Corredo di montaggio per associare un attuatore ad una valvola a saracinesca |
| CN113719624A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-11-30 | 洛阳明远石化技术有限公司 | 密封件、密封组件和密封阀 |
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1990
- 1990-01-10 US US07/499,336 patent/US5087017A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1990-01-10 EP EP90901674A patent/EP0406447B1/en not_active Expired - Lifetime
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