JPS6360949U - - Google Patents
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- JPS6360949U JPS6360949U JP15586286U JP15586286U JPS6360949U JP S6360949 U JPS6360949 U JP S6360949U JP 15586286 U JP15586286 U JP 15586286U JP 15586286 U JP15586286 U JP 15586286U JP S6360949 U JPS6360949 U JP S6360949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- measuring device
- light
- reflecting
- spectrometer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 claims description 6
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図及び第２図は、本考案によるカソードル
ミネツセンス測定装置の実施例を示す略線図であ
る。第３図、第４図及び第５図は、従来のカソー
ドルミネツセンス測定装置を示す略線図である。 １……走査型電子顕微鏡の鏡筒、２……試料、
３……入射電子線、４……反射鏡の第１焦点、５
……カソードルミネツセンス光、６……凹面反射
鏡、７……反射鏡の第２焦点、８……第２反射鏡
、９……第３反射鏡、１０……分光器、１１……
透過電子顕微鏡構成部品。
ミネツセンス測定装置の実施例を示す略線図であ
る。第３図、第４図及び第５図は、従来のカソー
ドルミネツセンス測定装置を示す略線図である。 １……走査型電子顕微鏡の鏡筒、２……試料、
３……入射電子線、４……反射鏡の第１焦点、５
……カソードルミネツセンス光、６……凹面反射
鏡、７……反射鏡の第２焦点、８……第２反射鏡
、９……第３反射鏡、１０……分光器、１１……
透過電子顕微鏡構成部品。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空中で電子ビームを試料に照射し、上記試
料からの発光を、大気中に取出し、分光器によつ
て分光測定するカソードルミネツセンス測定装置
において、 上記試料からの発光を補集する回転曲面を有す
る第１の反射鏡が、上記試料の上方に設けられ、 上記第１の反射鏡からの反射光を反射して上記
分光器に導く回転曲面を有する第２の反射鏡が、
上記分光器の光取り入れ口側に、上記分光器の光
取り入れ口の光軸と上記第２の反射鏡の反射光の
光軸を上記分光器の光取り入れ口の受光角以内の
角度に一致させ、且つ上記第２の反射鏡からの反
射光の発散角を該分光器の光取り入れ口の受光角
以内の角度とするように配置されていることを特
徴とするカソードルミネツセンス測定装置。 ２ 上記第１と第２の反射鏡の反射面が、凹面の
回転曲面を有し且つ真空中に配置されていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記
載のカソードルミネツセンス測定装置。 ３ 上記第１の反射鏡の反射面が、凹面の回転曲
面であり、 上記第２の反射鏡の反射面が、凸面の回転曲面
であり、 上記第１と第２の反射鏡が、真空中に配置され
ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項に記載のカソードルミネツセンス測定装置
。 ４ 上記分光器の光取り入れ口が、受光角２０°
で水平で配置された光フアイバから成り、上記第
１及び第２の反射鏡が、上記第２反射鏡からの光
の進行方向を水平より１０°以内とし、発散角を
２０°以下とするように、配されていることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
カソードルミネツセンス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15586286U JPS6360949U (ja) | 1986-10-11 | 1986-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15586286U JPS6360949U (ja) | 1986-10-11 | 1986-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360949U true JPS6360949U (ja) | 1988-04-22 |
Family
ID=31076945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15586286U Pending JPS6360949U (ja) | 1986-10-11 | 1986-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6360949U (ja) |
-
1986
- 1986-10-11 JP JP15586286U patent/JPS6360949U/ja active Pending
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