JPH0227656U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227656U JPH0227656U JP10566888U JP10566888U JPH0227656U JP H0227656 U JPH0227656 U JP H0227656U JP 10566888 U JP10566888 U JP 10566888U JP 10566888 U JP10566888 U JP 10566888U JP H0227656 U JPH0227656 U JP H0227656U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- small window
- electron microscope
- scanning electron
- sample chamber
- sample
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例の走査型電子顕微
鏡の試料室の断面図、第２図は、従来の走査型電
子顕微鏡の断面図である。 図中、１は試料室、２は電子銃、３は試料、４
は電子線、５は二次電子、６は二次電子検出器、
７はシヤツタ、８は窓、９は光源、１０は半透過
鏡、１１はレンズ、１２は鏡、１３は操作者であ
る。なお、図中、同一あるいは相当部分には同一
符号を付して示してある。
鏡の試料室の断面図、第２図は、従来の走査型電
子顕微鏡の断面図である。 図中、１は試料室、２は電子銃、３は試料、４
は電子線、５は二次電子、６は二次電子検出器、
７はシヤツタ、８は窓、９は光源、１０は半透過
鏡、１１はレンズ、１２は鏡、１３は操作者であ
る。なお、図中、同一あるいは相当部分には同一
符号を付して示してある。
Claims (1)
- 走査型電子顕微鏡において、試料室の壁に真空
を保持し、かつ金属性シヤツタを備えた小窓と、
この小窓の外部に光源を持ち試料室内部に小窓か
ら入射した条光を試料上の電子線照射域中心に反
射投影するための反射板とを設けたことを特徴と
する走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10566888U JPH0227656U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10566888U JPH0227656U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227656U true JPH0227656U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31338488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10566888U Pending JPH0227656U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227656U (ja) |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP10566888U patent/JPH0227656U/ja active Pending