JPS6363780U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6363780U JPS6363780U JP15848586U JP15848586U JPS6363780U JP S6363780 U JPS6363780 U JP S6363780U JP 15848586 U JP15848586 U JP 15848586U JP 15848586 U JP15848586 U JP 15848586U JP S6363780 U JPS6363780 U JP S6363780U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- probe
- measuring device
- contact
- vibrator
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の振動付きプローブの接触方法
の図である。第２図は従来のプローブの接触方法
の図である。第３図は本考案の構造概略図である
。 １……接触端子部（プローブ）、２……半導体
装置、３……外部導出リード（リード）、４……
半導体装置受け台、５……振動子、６……プロー
ブ上下機構、７……圧力、８……異物、９……振
動。
の図である。第２図は従来のプローブの接触方法
の図である。第３図は本考案の構造概略図である
。 １……接触端子部（プローブ）、２……半導体
装置、３……外部導出リード（リード）、４……
半導体装置受け台、５……振動子、６……プロー
ブ上下機構、７……圧力、８……異物、９……振
動。
Claims (1)
- 半導体装置の測定装置において接触端子部（以
後プローブと称する）が被測定半導体装置に接触
したとき、振動子によりプローブに半導体装置か
ら外部導出リードが出ている方向に振動を加える
手段を有することを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15848586U JPS6363780U (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15848586U JPS6363780U (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6363780U true JPS6363780U (ja) | 1988-04-27 |
Family
ID=31082021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15848586U Pending JPS6363780U (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6363780U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06124985A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プローブ装置及びプロービング方法 |
| JPH08195423A (ja) * | 1995-01-13 | 1996-07-30 | Nec Corp | 半導体測定方法 |
-
1986
- 1986-10-15 JP JP15848586U patent/JPS6363780U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06124985A (ja) * | 1992-10-13 | 1994-05-06 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プローブ装置及びプロービング方法 |
| JPH08195423A (ja) * | 1995-01-13 | 1996-07-30 | Nec Corp | 半導体測定方法 |