JPH0181577U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0181577U JPH0181577U JP1987177537U JP17753787U JPH0181577U JP H0181577 U JPH0181577 U JP H0181577U JP 1987177537 U JP1987177537 U JP 1987177537U JP 17753787 U JP17753787 U JP 17753787U JP H0181577 U JPH0181577 U JP H0181577U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass part
- support frame
- acceleration
- semiconductor
- response
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例図、第２図及び第３
図はそれぞれ従来装置の一例図、第４図は第１図
の実施例の製造工程図、第５図は本考案の動作説
明図、第６図は本考案の特性図、第７図は第６図
の特性計算に用いた実施例の寸法図、第８図は本
考案の他の実施例図である。 〈符号の説明〉、１１……支持フレーム、１２
……質量部、１３……空隙、１４……ブリツジ、
１５……片持梁、１６……ピエゾ抵抗。
図はそれぞれ従来装置の一例図、第４図は第１図
の実施例の製造工程図、第５図は本考案の動作説
明図、第６図は本考案の特性図、第７図は第６図
の特性計算に用いた実施例の寸法図、第８図は本
考案の他の実施例図である。 〈符号の説明〉、１１……支持フレーム、１２
……質量部、１３……空隙、１４……ブリツジ、
１５……片持梁、１６……ピエゾ抵抗。
Claims (1)
- 半導体基板上に形成され、加速度に応じて変位
可能な質量部と固定された支持フレームとの間が
、上記質量部及び支持フレームと同一材質の梁に
よつて結合され、かつ、上記梁に形成された拡散
抵抗を有し、加速度の印加に応じて生じる上記梁
の変位に応じて上記拡散抵抗に生じる抵抗値の変
化を検出することによつて印加された加速度を検
出する半導体加速度センサにおいて、上記質量部
と固定された支持フレームとの間が、上記質量部
の最大変位可能な部分の近傍において上記質量部
および支持フレームとは異なる材質の弾性体で結
合されていることを特徴とする半導体加速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987177537U JPH0181577U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987177537U JPH0181577U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0181577U true JPH0181577U (ja) | 1989-05-31 |
Family
ID=31469198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987177537U Pending JPH0181577U (ja) | 1987-11-24 | 1987-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0181577U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59126261A (ja) * | 1983-01-06 | 1984-07-20 | サンドストランド・デ−タ・コントロ−ル・インコ−ポレ−テツド | はり共振器力変換器を有する加速度計 |
| JPS62190775A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Nissan Motor Co Ltd | 加速度センサ |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP1987177537U patent/JPH0181577U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59126261A (ja) * | 1983-01-06 | 1984-07-20 | サンドストランド・デ−タ・コントロ−ル・インコ−ポレ−テツド | はり共振器力変換器を有する加速度計 |
| JPS62190775A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Nissan Motor Co Ltd | 加速度センサ |
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