JPS6364579A - 圧電アクチユエ−タ - Google Patents
圧電アクチユエ−タInfo
- Publication number
- JPS6364579A JPS6364579A JP61203847A JP20384786A JPS6364579A JP S6364579 A JPS6364579 A JP S6364579A JP 61203847 A JP61203847 A JP 61203847A JP 20384786 A JP20384786 A JP 20384786A JP S6364579 A JPS6364579 A JP S6364579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric actuator
- piezoelectric
- parallel
- mounting member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、外部機構に結合されてこれを駆動する圧電ア
クチュエータに係り、特に微細変位発生機構に好適な圧
電アクチュエータに関する。
クチュエータに係り、特に微細変位発生機構に好適な圧
電アクチュエータに関する。
圧電アクチュエータは微小変位用アクチュエータとして
種々の分野に用いられている。特にμｍオーダの調節を
必要とする半導体集積回路製造装置や電子顕微鏡等の微
細位置決め機構のアクチュエータには、大部分圧電アク
チュエータが使用されている。以下、このような圧電ア
クチュエータの使用例を図により説明する。
種々の分野に用いられている。特にμｍオーダの調節を
必要とする半導体集積回路製造装置や電子顕微鏡等の微
細位置決め機構のアクチュエータには、大部分圧電アク
チュエータが使用されている。以下、このような圧電ア
クチュエータの使用例を図により説明する。
第３図（ａ）、 （ｂ）は微細位置決め装置の側面図で
ある。各図で、１０，１１．１２はそれぞれ図で左。
ある。各図で、１０，１１．１２はそれぞれ図で左。
右、中央に存在する剛体部である。１６３．１６ａ′は
それぞれ剛体部１０．１２の間にこれらと一体に形成さ
れ、かつ、互いに平行である平板状の平行たわみ梁であ
り、又、１６ｂ、１６ｂ’ はそれぞれ剛体部１１．１
２の間にこれらと一体に形成され、かつ、互いに平行で
ある平板状の平行たわみ梁である。１７ａ、１７ｂはそ
れぞれ平行たわみ梁１６ａ、１６ａ’ および平行たわ
み梁１６ｂ、１６ｂ’ と各剛体部とを一体成形する
ために生じた貫通孔を示す。１８ａは剛体部１０から貫
通孔１７ａに突出する突出部、１８ｃ１は剛体部１２か
ら貫通孔１７ａに突出する突出部であり、これら突出部
１８ａ、１８Ｃ１は互いに図の縦方向において、間隔を
有して重なっている。同じ（，１８ｂは陣１体部１１か
ら貫通孔１７ｂに突出する突出部、１８ｃ２は剛体部１
２から貫通孔１７ｂに突出する突出部であり、これら突
出部１８ｂ、１８Ｃ＋は、突出部１８ａ、１８Ｃ１と同
様の関係にある。１９ａは突出部１８ａと突出部１８Ｃ
８との間に固定された圧電素子を積層した圧電アクチュ
エータ、１９ｂは突出部１８ｂと突出部１８ｃ２との間
に固定された圧電アクチュエータ１９ａと同じ圧電アク
チュエータである。
それぞれ剛体部１０．１２の間にこれらと一体に形成さ
れ、かつ、互いに平行である平板状の平行たわみ梁であ
り、又、１６ｂ、１６ｂ’ はそれぞれ剛体部１１．１
２の間にこれらと一体に形成され、かつ、互いに平行で
ある平板状の平行たわみ梁である。１７ａ、１７ｂはそ
れぞれ平行たわみ梁１６ａ、１６ａ’ および平行たわ
み梁１６ｂ、１６ｂ’ と各剛体部とを一体成形する
ために生じた貫通孔を示す。１８ａは剛体部１０から貫
通孔１７ａに突出する突出部、１８ｃ１は剛体部１２か
ら貫通孔１７ａに突出する突出部であり、これら突出部
１８ａ、１８Ｃ１は互いに図の縦方向において、間隔を
有して重なっている。同じ（，１８ｂは陣１体部１１か
ら貫通孔１７ｂに突出する突出部、１８ｃ２は剛体部１
２から貫通孔１７ｂに突出する突出部であり、これら突
出部１８ｂ、１８Ｃ＋は、突出部１８ａ、１８Ｃ１と同
様の関係にある。１９ａは突出部１８ａと突出部１８Ｃ
８との間に固定された圧電素子を積層した圧電アクチュ
エータ、１９ｂは突出部１８ｂと突出部１８ｃ２との間
に固定された圧電アクチュエータ１９ａと同じ圧電アク
チュエータである。
圧電アクチュエータ１９ａは平行たわみｍ １６ ａ
。
。
１６ａ′の面に垂直な方向の力を発生し、それらに曲げ
変形を生ぜしめ、又、圧電アクチュエータ１９ｂは平行
たわみ梁１６ｂ、１６ｂ′の面に垂直な方向の力を発生
し、それらに曲げ変形を生せしめる。これら圧電アクチ
ュエータ１９ａ、１９ｂに発生する力の大きさは、図示
しない装置により、当＝亥圧電アクチュエータ１９ａ、
１９ｂ４こ印加される電圧によって制御される。２０は
ぼす体部１０．１１を互いに剛に連結する他のまり体構
造である。
変形を生ぜしめ、又、圧電アクチュエータ１９ｂは平行
たわみ梁１６ｂ、１６ｂ′の面に垂直な方向の力を発生
し、それらに曲げ変形を生せしめる。これら圧電アクチ
ュエータ１９ａ、１９ｂに発生する力の大きさは、図示
しない装置により、当＝亥圧電アクチュエータ１９ａ、
１９ｂ４こ印加される電圧によって制御される。２０は
ぼす体部１０．１１を互いに剛に連結する他のまり体構
造である。
このような微細位置決め装置において、圧電アクチュエ
ータ１９ａ、１９ｂに任意の値の電圧を印加すると、圧
電アクチュエータ１９ａ、１９ｂは第３図（ｂ）に示す
矢印方向に当該電圧に応じて伸び、これにより力ｆを発
生する。この結果、Ｋす体部１２は平行たわみ梁１６ａ
、１６ａ’ 、１６ｂ。
ータ１９ａ、１９ｂに任意の値の電圧を印加すると、圧
電アクチュエータ１９ａ、１９ｂは第３図（ｂ）に示す
矢印方向に当該電圧に応じて伸び、これにより力ｆを発
生する。この結果、Ｋす体部１２は平行たわみ梁１６ａ
、１６ａ’ 、１６ｂ。
１６ｂ″をたわませて押上げられ、第３図（ａ＋に示す
状態から値εだけ変位する。したがって、剛体部１２に
加工対象物体を１ＥＮＨしておけば、圧電アクチュエー
タ１９ａ、１９ｂに任意の電圧を印加することによりこ
れを任意に微細位置決めすることができる。
状態から値εだけ変位する。したがって、剛体部１２に
加工対象物体を１ＥＮＨしておけば、圧電アクチュエー
タ１９ａ、１９ｂに任意の電圧を印加することによりこ
れを任意に微細位置決めすることができる。
上記微細位置決め装置に限らず、他の種々の装置に圧電
アクチュエータを通用する場合、これら装置の所定位置
に圧電アクチュエータを取付けて固定する必要がある。
アクチュエータを通用する場合、これら装置の所定位置
に圧電アクチュエータを取付けて固定する必要がある。
ところが、圧電素子はセラミック材料で作られるので、
これを外部機構に取付けるためのねし穴等の加工が困難
である。このため、圧電アクチュエータには取付けのた
めの補助部材が用いられていた。これも第４図により説
明する。
これを外部機構に取付けるためのねし穴等の加工が困難
である。このため、圧電アクチュエータには取付けのた
めの補助部材が用いられていた。これも第４図により説
明する。
第４図は従来の圧電アクチュエータの断面図である。図
で、２１は積層形の圧電素子、２２は圧電素子２１をそ
の底部で固定する側面が開口されたケーシングである。
で、２１は積層形の圧電素子、２２は圧電素子２１をそ
の底部で固定する側面が開口されたケーシングである。
ケーシング２２は外部構造との連結を行うねじ穴２２ａ
、およびリード線を挿通する貫通穴２２ｂを有する。２
３は外部構造に圧電素子２１を取付ける取付部材であり
、取付用のねし穴２３ａを有する。２４は圧電素子２１
を取付部材２３に固定する接着剤層である。なお、ｘ、
ｙは座標軸を示す。
、およびリード線を挿通する貫通穴２２ｂを有する。２
３は外部構造に圧電素子２１を取付ける取付部材であり
、取付用のねし穴２３ａを有する。２４は圧電素子２１
を取付部材２３に固定する接着剤層である。なお、ｘ、
ｙは座標軸を示す。
ケーシング２２をそのねじ穴２２ａを用いて外部機構（
例えば前述の微細位置決め装置の突出部１８ａ）に固定
し、又、取付部材２３をそのねし穴２３ａを用いて外部
機構（同じく突出部１８Ｃ，）に固定することにより圧
電アクチュエータが対象装置に装着される。リード線を
介して圧電素子２１に電圧を印加すると、圧電素子はＸ
線方向に伸長し又は縮み、取付けられた外部機構に変位
を発生せしめる。
例えば前述の微細位置決め装置の突出部１８ａ）に固定
し、又、取付部材２３をそのねし穴２３ａを用いて外部
機構（同じく突出部１８Ｃ，）に固定することにより圧
電アクチュエータが対象装置に装着される。リード線を
介して圧電素子２１に電圧を印加すると、圧電素子はＸ
線方向に伸長し又は縮み、取付けられた外部機構に変位
を発生せしめる。
ところで、積層形の圧電素子２１の引張強度は、通常、
はぼ１ｋｇ／ａｍ” と小さい。したがって、圧電素子
２１を外部機構に取付けるべくねじ穴２３ａにねじを螺
入してねし止めする場合、その締付はトルクにより取付
部材２３と圧電素子２１との接合面に過大な力が作用し
、圧電素子２１又は接着剤層２４が破損するおそれがあ
る。この問題を避けるには、締付はトルクを小さくせざ
るを得す、そうすると安定なねじ結合を行うことができ
ず、ひいては精度の高い変位を発生させることができな
くなる。
はぼ１ｋｇ／ａｍ” と小さい。したがって、圧電素子
２１を外部機構に取付けるべくねじ穴２３ａにねじを螺
入してねし止めする場合、その締付はトルクにより取付
部材２３と圧電素子２１との接合面に過大な力が作用し
、圧電素子２１又は接着剤層２４が破損するおそれがあ
る。この問題を避けるには、締付はトルクを小さくせざ
るを得す、そうすると安定なねじ結合を行うことができ
ず、ひいては精度の高い変位を発生させることができな
くなる。
一方、圧電素子２１の抗折力強度は、ｊｍ常、はぼ４
ｋｇ ／ ＊＊ ２程度で非常に小さい。したがって、
取付けられている外部機構にＹ！１］方向の力が作用す
ると、取付部材２３と圧電素子２１又は接着剤層２４と
の界面に剪断力が作用して、圧電素子２１又は接着剤層
２４が破損するおそれがあった。
ｋｇ ／ ＊＊ ２程度で非常に小さい。したがって、
取付けられている外部機構にＹ！１］方向の力が作用す
ると、取付部材２３と圧電素子２１又は接着剤層２４と
の界面に剪断力が作用して、圧電素子２１又は接着剤層
２４が破損するおそれがあった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、安定
した取付を行うことができ、かつ、外力に対する強度を
大きくすることができる圧電アクチュエータを提供する
にある。
した取付を行うことができ、かつ、外力に対する強度を
大きくすることができる圧電アクチュエータを提供する
にある。
上記の目的を達成するため、本発明は、圧電素子の一端
を固定状態とし、その他端に、圧電素子の主変位方向に
対してのみ低い剛性を有する弾性機構を設けたことを特
徴とする。
を固定状態とし、その他端に、圧電素子の主変位方向に
対してのみ低い剛性を有する弾性機構を設けたことを特
徴とする。
圧電素子に電圧が印加されると、その伸縮の変位は、こ
の変位の方向のｇｌ性が低い弾性機構のたわみ変形を介
して外部機構に伝達される。一方、外部から締付トルク
や剪断力が作用すると、これらは、その方向の剛性が高
い弾性機構によって受けられ、圧電素子には伝達されな
い。
の変位の方向のｇｌ性が低い弾性機構のたわみ変形を介
して外部機構に伝達される。一方、外部から締付トルク
や剪断力が作用すると、これらは、その方向の剛性が高
い弾性機構によって受けられ、圧電素子には伝達されな
い。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第１図は本発明の実施例に係る圧電アクチュエータの断
面図である。図で、第４図に示す部分と同一部分には同
一符号を付して説明を省略する。
面図である。図で、第４図に示す部分と同一部分には同
一符号を付して説明を省略する。
２５はケーシング２２の上端と取付部材２３とを連結す
る弾性部材である。この弾性部材２５はＸ軸方向に厚み
が薄い平板形状の金属材料が用いられる。したがって、
Ｘｉ：ｈ方向の力に対しては剛性が低くて容易にたわむ
が、その他の方向の力やモーメントに対しては高いｔａ
ｌｌ性を示し、変形困難である。
る弾性部材である。この弾性部材２５はＸ軸方向に厚み
が薄い平板形状の金属材料が用いられる。したがって、
Ｘｉ：ｈ方向の力に対しては剛性が低くて容易にたわむ
が、その他の方向の力やモーメントに対しては高いｔａ
ｌｌ性を示し、変形困難である。
次に、本実施例の動作を説明する。今、圧電素子２１に
電圧が印加されると、圧電素子２１はＸ軸方向に伸びる
（又は縮む）。この伸び（又は縮み）により弾性部材２
５は容易にたわみ、取付部材２３を押上げ（引下げ）る
。即ち、圧電素子２１の変位は弾性部材２５のたわみ変
形を介して外部機構に伝達される。この場合、圧電素子
２１が発生する力は大きく、又、弾性部材２５のＸ軸方
向の剛性は充分に小さいので、伝達される変位量は程ん
ど低下せず、圧電素子２１の変位量がほぼそのまま伝達
される。
電圧が印加されると、圧電素子２１はＸ軸方向に伸びる
（又は縮む）。この伸び（又は縮み）により弾性部材２
５は容易にたわみ、取付部材２３を押上げ（引下げ）る
。即ち、圧電素子２１の変位は弾性部材２５のたわみ変
形を介して外部機構に伝達される。この場合、圧電素子
２１が発生する力は大きく、又、弾性部材２５のＸ軸方
向の剛性は充分に小さいので、伝達される変位量は程ん
ど低下せず、圧電素子２１の変位量がほぼそのまま伝達
される。
一方、圧電アクチュエータを外部機構に取付けるべく、
ねじ穴２３ａを用いてねし止めする場合、その締付トル
クは弾性部材２５に作用する。しかし、弾性部材２５は
この締付トルクに対して高い剛性を有し、したがって、
締付トルクが圧電素子２１に作用することはない。この
ため、圧電素子２１が破損することもなく、締付トルク
を充分大きくして安定したねじ止めを行うことができる
。
ねじ穴２３ａを用いてねし止めする場合、その締付トル
クは弾性部材２５に作用する。しかし、弾性部材２５は
この締付トルクに対して高い剛性を有し、したがって、
締付トルクが圧電素子２１に作用することはない。この
ため、圧電素子２１が破損することもなく、締付トルク
を充分大きくして安定したねじ止めを行うことができる
。
さらに、外部機構にＹ軸方向の力が作用した場合も、こ
の力に対して弾性部材２５は高い剛性を有するので、圧
電素子２１が剪断力により破損されることはない。
の力に対して弾性部材２５は高い剛性を有するので、圧
電素子２１が剪断力により破損されることはない。
このように、本実施例では、ケーシング上端と取付部材
との間に、圧電素子の伸縮方向と同一方向にのみ剛性が
低い弾性部材を設けたので、ねじ止めの際の締付トルク
や外部機構から作用する剪断力によって圧電素子が破損
されることはない。
との間に、圧電素子の伸縮方向と同一方向にのみ剛性が
低い弾性部材を設けたので、ねじ止めの際の締付トルク
や外部機構から作用する剪断力によって圧電素子が破損
されることはない。
又、締付トルクにより圧電素子が破損されないので、締
付トルクを大きくとして圧電アクチュエータを安定して
取付けることができる。
付トルクを大きくとして圧電アクチュエータを安定して
取付けることができる。
第２図は本発明の他の実施例に係る圧電アクチュエータ
の断面図である。図で、第４図に示す部分と同一部分に
は同一符号を付して説明を省略する。２６ａはケーシン
グ２２の上端と取付部材２３との間に設けられた平行た
わみ梁構造である。
の断面図である。図で、第４図に示す部分と同一部分に
は同一符号を付して説明を省略する。２６ａはケーシン
グ２２の上端と取付部材２３との間に設けられた平行た
わみ梁構造である。
平行たわみ柔構造２６ａは、ケーシング２２の上端に連
結された剛体部２７ａ、および剛体部２７ａと取付部材
２３とを結合する互いに平行な平板状のたわみ梁２８ａ
、２８ａ′で構成されている。
結された剛体部２７ａ、および剛体部２７ａと取付部材
２３とを結合する互いに平行な平板状のたわみ梁２８ａ
、２８ａ′で構成されている。
平行たわみ￥構造２６ｂも平行たわみ柔構造２６ａと同
様の構造であり、剛体部２７ｂ、および平行なたわみａ
２８ ｂ、２８ｂ′で構成されている。
様の構造であり、剛体部２７ｂ、および平行なたわみａ
２８ ｂ、２８ｂ′で構成されている。
このような平行だわみ梁構造２６ａ、２６ｂはＸ軸方向
の力に対しては剛性が低く、容易に変位するが、他方向
の力およびモーメントに対しては極めて高い剛性を示し
、はとんど変形しない。したがって、本実、柊例の動作
もさきの実施例の動作と同じである。
の力に対しては剛性が低く、容易に変位するが、他方向
の力およびモーメントに対しては極めて高い剛性を示し
、はとんど変形しない。したがって、本実、柊例の動作
もさきの実施例の動作と同じである。
このように、本実施例では、ケーシング上端と取付部材
との間に、圧電素子の伸縮方向と同一方向にのみ剛性が
低い特性を備え、た平行たわみ梁構造を設けたので、さ
きの実施例と同じ効果を奏するとともに、次のような効
果をも奏する。即ち、さきの実施例における弾性部材は
Ｚ軸（紙面に垂直な軸）まわりのモーメントが作用した
場合、その剛性は他と比較してやや低い。これに対して
、本実施例における平行たわみ梁構造はＺ軸まわりのモ
ーメントに対しても大きな剛性を有する。したがって、
外部の力に対してより一層強度を大とすることができる
。
との間に、圧電素子の伸縮方向と同一方向にのみ剛性が
低い特性を備え、た平行たわみ梁構造を設けたので、さ
きの実施例と同じ効果を奏するとともに、次のような効
果をも奏する。即ち、さきの実施例における弾性部材は
Ｚ軸（紙面に垂直な軸）まわりのモーメントが作用した
場合、その剛性は他と比較してやや低い。これに対して
、本実施例における平行たわみ梁構造はＺ軸まわりのモ
ーメントに対しても大きな剛性を有する。したがって、
外部の力に対してより一層強度を大とすることができる
。
なお、上記各実施例の説明では、ケーシング、取付部材
、および弾性機構（弾性部材、平行だわみ梁構造）を別
体に構成した例について説明したが、これらは放電加工
等により一体形成することができる。又、圧電素子は必
ずしもケーシングおよび取付部材に接着固定する必要は
なく、弾性機構の弾性力により抑えるだけにしてもよい
。
、および弾性機構（弾性部材、平行だわみ梁構造）を別
体に構成した例について説明したが、これらは放電加工
等により一体形成することができる。又、圧電素子は必
ずしもケーシングおよび取付部材に接着固定する必要は
なく、弾性機構の弾性力により抑えるだけにしてもよい
。
（発明の効果〕
以上述べたように、本発明では、圧電素子の一方端に、
圧電素子の主変位方向と同一方向に対してのみ低い剛性
を有する弾性機構を設けたので、圧電素子を外部殿構に
安定して取付けることができ、かつ、外力に対する強度
を大きくすることができる。
圧電素子の主変位方向と同一方向に対してのみ低い剛性
を有する弾性機構を設けたので、圧電素子を外部殿構に
安定して取付けることができ、かつ、外力に対する強度
を大きくすることができる。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の実施例に係る圧
電アクチュエータの断面図、第３図（ａ）。 （ｂ）は微細位置決め装置の側面図、第４図は従来の圧
電アクチュエータの断面図である。 ２１・・・・・・圧電素子、２２・・・・・・ケーシン
グ、２３・・・・・・取付部材、２５・・・・・・弾性
部材、２６ａ、２６ｂ・・・・・・平行たわみ梁構造。 第１図 ２２σ 第２図 第３図 （ａ） ／６ａ ／６ｂ （ｂ）
電アクチュエータの断面図、第３図（ａ）。 （ｂ）は微細位置決め装置の側面図、第４図は従来の圧
電アクチュエータの断面図である。 ２１・・・・・・圧電素子、２２・・・・・・ケーシン
グ、２３・・・・・・取付部材、２５・・・・・・弾性
部材、２６ａ、２６ｂ・・・・・・平行たわみ梁構造。 第１図 ２２σ 第２図 第３図 （ａ） ／６ａ ／６ｂ （ｂ）
Claims (3)
- （１）一端が固定状態とされた圧電素子と、この圧電素
子の他端に設けられた当該圧電素子の主変位方向に対し
てのみ低い剛性を有する弾性機構とを備えたことを特徴
とする圧電アクチュエータ。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記弾性機構は
、前記主変位方向の厚みが薄い平板で構成されているこ
とを特徴とする圧電アクチュエータ。 - （３）特許請求の範囲第１項において、前記弾性機構は
、前記主変位方向と同一方向の主たわみ方向を有する平
行たわみ梁構造であることを特徴とする圧電アクチュエ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203847A JPS6364579A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 圧電アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203847A JPS6364579A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 圧電アクチユエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364579A true JPS6364579A (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=16480678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203847A Pending JPS6364579A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | 圧電アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6364579A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63153564U (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | ||
| JPWO2009008135A1 (ja) * | 2007-07-12 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | 振動型アクチュエータ及びそれを備えた駆動装置 |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP61203847A patent/JPS6364579A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63153564U (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | ||
| JPWO2009008135A1 (ja) * | 2007-07-12 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | 振動型アクチュエータ及びそれを備えた駆動装置 |
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