JPS6364581A - 振動波モ−タ - Google Patents
振動波モ−タInfo
- Publication number
- JPS6364581A JPS6364581A JP61207608A JP20760886A JPS6364581A JP S6364581 A JPS6364581 A JP S6364581A JP 61207608 A JP61207608 A JP 61207608A JP 20760886 A JP20760886 A JP 20760886A JP S6364581 A JPS6364581 A JP S6364581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- mechanical energy
- energy conversion
- electro
- electrostrictive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
大発明は振動体に電気−機械エネルギー変換素子（電歪
素子など）′ｆＪ：配列固着し、該電気−機械エネルギ
ー変換素子に交流電圧を印加して該振動体に生ぜしめた
曲げ振動の進行波によって、該振動体と接触する移動体
全摩擦駆動するように構成したいわゆる振動波モータで
おいて、該電気−機械エネルギー変換素子シて交流電圧
を印加する念めの構成の改良に関する。
素子など）′ｆＪ：配列固着し、該電気−機械エネルギ
ー変換素子に交流電圧を印加して該振動体に生ぜしめた
曲げ振動の進行波によって、該振動体と接触する移動体
全摩擦駆動するように構成したいわゆる振動波モータで
おいて、該電気−機械エネルギー変換素子シて交流電圧
を印加する念めの構成の改良に関する。
始めに、曲げ摂動の進行波を利用した振動波モータの原
理を第２図およびその下面図である第３図により説明す
る。同図に示すように、弾性体（例えば金属〕よりなる
リング板状の撮動体２の下面に第１群の電気−隈械エネ
ルギー変換素子１＆、および第２群の電気−ｔ′９．械
エネルギー変換累子１ｂが配列固着されている。これら
２気−機械ニネルヤ゛−変換素子としては圧電素子、電
歪素子、又は磁歪素子などを用いることができるが、以
下では電歪素子で代表する。
理を第２図およびその下面図である第３図により説明す
る。同図に示すように、弾性体（例えば金属〕よりなる
リング板状の撮動体２の下面に第１群の電気−隈械エネ
ルギー変換素子１＆、および第２群の電気−ｔ′９．械
エネルギー変換累子１ｂが配列固着されている。これら
２気−機械ニネルヤ゛−変換素子としては圧電素子、電
歪素子、又は磁歪素子などを用いることができるが、以
下では電歪素子で代表する。
先ず第１０電歪譲子１＆ンζついて述ベロと、その全て
の１こ歪素子１＆の上下面に環５膜（不図示〕が設けら
れており、これら電泳は不図示の電気接続手段で上面電
極同志および下面電極同志が電気的に並列接続されてい
て、各電歪素子１＆に同時に電圧が印加されるよう：て
なっており、この電圧印加てより各電歪素子は周方向（
／ｉ：伸縮するように構成されている。そして各電歪素
子１ａは、隣り合うものが互に逆の極性であるように（
すなわち、一方のものが伸びるとき他方のものが縮むよ
うに）λ 分色処理されており、且つ百のピッチを以て一方向に配
列されている。
の１こ歪素子１＆の上下面に環５膜（不図示〕が設けら
れており、これら電泳は不図示の電気接続手段で上面電
極同志および下面電極同志が電気的に並列接続されてい
て、各電歪素子１＆に同時に電圧が印加されるよう：て
なっており、この電圧印加てより各電歪素子は周方向（
／ｉ：伸縮するように構成されている。そして各電歪素
子１ａは、隣り合うものが互に逆の極性であるように（
すなわち、一方のものが伸びるとき他方のものが縮むよ
うに）λ 分色処理されており、且つ百のピッチを以て一方向に配
列されている。
第２群電歪素子１ｂの構成および配列についても同様で
ある。
ある。
λ
名１群１ａと第２群１ｂとは一〇奇数倍だけずらせて配
置されている。また振動体２の全周の長さはλの整数倍
であるとする。なお、第１群１ａと第２群１ｂとの間の
部分１′は電圧の印加がなく積極的に伸縮作用をしない
領域である。
置されている。また振動体２の全周の長さはλの整数倍
であるとする。なお、第１群１ａと第２群１ｂとの間の
部分１′は電圧の印加がなく積極的に伸縮作用をしない
領域である。
このような構成・配列において、第１群電歪素子１＆の
みに交流電圧を印加すると、振動体２は伸びる電歪素子
１ａの部分では下方て凸に、縮む電歪素子１ｓの部分で
は上方に凸になる：うな曲げ変形をする結果、去動体２
の全周に亘ジ曲げ振動の定在波（波長λ）が発生する。
みに交流電圧を印加すると、振動体２は伸びる電歪素子
１ａの部分では下方て凸に、縮む電歪素子１ｓの部分で
は上方に凸になる：うな曲げ変形をする結果、去動体２
の全周に亘ジ曲げ振動の定在波（波長λ）が発生する。
この場合、各λ
電歪素子１＆の間の中間位置およびそこから百おきの各
位置が節になる。第２群電歪素子１ｂのみに交流電圧を
印加したときも同様に波長λの定在波が発生するが、そ
の節の位置は前記の定在波のλ それに比べて１だけずれたものとなる。
位置が節になる。第２群電歪素子１ｂのみに交流電圧を
印加したときも同様に波長λの定在波が発生するが、そ
の節の位置は前記の定在波のλ それに比べて１だけずれたものとなる。
第１群電歪素子１ａに交流電圧全印加すると同時Ｋ、そ
れとは電気的Ｋ ９０’の位相差を持つ交流電圧を第２
群電歪素子１ｂに印加すれば、両者による定在波の合成
の結果、振動体２には周方向に進む曲げ振動の進行波が
発生し、その進行方向は上記印加電圧の位相差の正負に
よって決まる。この曲げ振動の進行波においては、振動
体２の厚さの中立夏上の点は上下方向振動音するだけで
あるが、振動体２の上面および下面上の点は上下方向振
動および周方向振動の合成された一種の楕円運動をする
。従って、第２図において振動体２を回転しないように
適宜支持しておき、その上面にリング板状の移動体３（
不図示）を加圧接触させておけば、該移動体は振動体２
の上記楕円運動による摩擦力により、駆動されて回転し
、その回転方向は１！電歪素子１ａ、ｌｂの印加電圧の
位相差の正負によって選択できる。以上が曲げ振動進行
波を利用した振動波モータの原理である。
れとは電気的Ｋ ９０’の位相差を持つ交流電圧を第２
群電歪素子１ｂに印加すれば、両者による定在波の合成
の結果、振動体２には周方向に進む曲げ振動の進行波が
発生し、その進行方向は上記印加電圧の位相差の正負に
よって決まる。この曲げ振動の進行波においては、振動
体２の厚さの中立夏上の点は上下方向振動音するだけで
あるが、振動体２の上面および下面上の点は上下方向振
動および周方向振動の合成された一種の楕円運動をする
。従って、第２図において振動体２を回転しないように
適宜支持しておき、その上面にリング板状の移動体３（
不図示）を加圧接触させておけば、該移動体は振動体２
の上記楕円運動による摩擦力により、駆動されて回転し
、その回転方向は１！電歪素子１ａ、ｌｂの印加電圧の
位相差の正負によって選択できる。以上が曲げ振動進行
波を利用した振動波モータの原理である。
ところで、このような振動波モータにおいて、電歪素子
の交流電圧を印加すべく電歪素子の１！他にリード線全
半田付けすると、電歪素子の分概邪に対する熱の影響が
大きいので、従来、該電ｆｆｕＫ相応する導体・々ター
ンを有するフレキクプルプリント回路板を電歪素子のさ
爪部に圧接し、該導体・々ターンを介して電歪素子の電
猛に給電を行なっていた。しかし、この上うな圧接だけ
ではフレキクプルプリント回路板の導体・やターンが振
動体に発生する進行波の横振幅に追従しれず、該導体・
々ターンが電歪素子の電頗に対して接か不良を起すこと
があった。
の交流電圧を印加すべく電歪素子の１！他にリード線全
半田付けすると、電歪素子の分概邪に対する熱の影響が
大きいので、従来、該電ｆｆｕＫ相応する導体・々ター
ンを有するフレキクプルプリント回路板を電歪素子のさ
爪部に圧接し、該導体・々ターンを介して電歪素子の電
猛に給電を行なっていた。しかし、この上うな圧接だけ
ではフレキクプルプリント回路板の導体・やターンが振
動体に発生する進行波の横振幅に追従しれず、該導体・
々ターンが電歪素子の電頗に対して接か不良を起すこと
があった。
Ｌ ・ ゛ １ °モーｆ
ニー 二 、
、二一二ごコニ ゛ −７丁 、、 二
−４； ５、 −２゛〔発明の目
的〕 本発明の目的は振動波七−夕の電気−機械工ネル千−変
換素子にフレ士シづルづリント回路板を介して給電し、
しかも接触不良のないようにすることを目的とする。
ニー 二 、
、二一二ごコニ ゛ −７丁 、、 二
−４； ５、 −２゛〔発明の目
的〕 本発明の目的は振動波七−夕の電気−機械工ネル千−変
換素子にフレ士シづルづリント回路板を介して給電し、
しかも接触不良のないようにすることを目的とする。
本発明は、振動波七−夕の電気−機械エネルギー変換素
子の電極パターンに対応する導体パターンを有するフレ
＋シづルづリント回路板を該電気−機械工ネルｆ−変換
素子に接着し、核フレ＋シプルプリント回路板の導体パ
ターンを介して該電気−機織エネル甲−ス換素子に給電
することを特徴とするものである。
子の電極パターンに対応する導体パターンを有するフレ
＋シづルづリント回路板を該電気−機械工ネルｆ−変換
素子に接着し、核フレ＋シプルプリント回路板の導体パ
ターンを介して該電気−機織エネル甲−ス換素子に給電
することを特徴とするものである。
〔発明の実施９す〕
第１図は本発明に係る振動波で−５の実施例の一部断面
図を示している。図において、２は断面が台形をなすリ
ング状の振動体（前述の振動体２に相当する）である。
図を示している。図において、２は断面が台形をなすリ
ング状の振動体（前述の振動体２に相当する）である。
該振動体２の底面にはリング状の圧電体としての；歪素
子１が一体に接着されている。３はリング状の回転体〔
前記の移動体３に相当〕で、該回転体の鍔部３ａは上記
振動体２の上面２ａと当接し、前述の如く振動体２に発
生する進行性振動波にて回転する。該回転体３には溝部
３ｂが設けられ、該溝部とハウジング１０に設けられ７
’Ｃテール押え環９および７ｔ−ル受け８にて形成され
る軸受は部シててゾール７に受けており、回転体３の回
転の円滑化をはかっている。
子１が一体に接着されている。３はリング状の回転体〔
前記の移動体３に相当〕で、該回転体の鍔部３ａは上記
振動体２の上面２ａと当接し、前述の如く振動体２に発
生する進行性振動波にて回転する。該回転体３には溝部
３ｂが設けられ、該溝部とハウジング１０に設けられ７
’Ｃテール押え環９および７ｔ−ル受け８にて形成され
る軸受は部シててゾール７に受けており、回転体３の回
転の円滑化をはかっている。
又、ハウジング１０には切欠部１０凰が設けられ、ここ
から後記フレキシブルプリント回路板の一端を外部に引
出している。なお上記において、「リング状」とは第１
図で上方から見たときにリング状ということである。
から後記フレキシブルプリント回路板の一端を外部に引
出している。なお上記において、「リング状」とは第１
図で上方から見たときにリング状ということである。
第４図（＆）は１！歪素子１の分極状態を示す図であり
、該電歪素子１は前述の第１群および第２群の各電歪素
子１ａおよび１ｂに相当するＡ、Ｂ２相の分極処理部Ａ
ｌ−ＡｓおよびＢｌ−Ｂ、を有している。この人相とＢ
相は物理的に波長λの１／４だけずれており、図中、（
＋バー）は互いに分極処理の方向が異なることを示して
いる。Ａ、Ｂ各相における隣り合う（＋）部および（−
）部の長さの和は入力する周波数によって定まる一波長
λの長さに相当する。該電歪素子１の上記振動体２の底
面との接着面は第４図（ｂ）の如く全面電ｊ１−１とな
りており、又、該電歪素子１の逆側の面は第４図（Ｃ）
の如く人相部に対応して電極ＩＡが、又、Ｂ相部に対し
て電極ＩＢが設けられると共に、電歪素子の振動状態を
検知するセンサー用電極Ｓ（振動体の振動により電歪素
子に発生する逆起電圧を検知する電極〕並びに共通電極
Ｃが設けられている（これら定態Ｓ、Ｃは第１図、第２
図に示す中間部分１′に設けられている）。該共通電唖
Ｃと第４図（ｂ）に示した電極とは不図示の導電性樹脂
により導通している。
、該電歪素子１は前述の第１群および第２群の各電歪素
子１ａおよび１ｂに相当するＡ、Ｂ２相の分極処理部Ａ
ｌ−ＡｓおよびＢｌ−Ｂ、を有している。この人相とＢ
相は物理的に波長λの１／４だけずれており、図中、（
＋バー）は互いに分極処理の方向が異なることを示して
いる。Ａ、Ｂ各相における隣り合う（＋）部および（−
）部の長さの和は入力する周波数によって定まる一波長
λの長さに相当する。該電歪素子１の上記振動体２の底
面との接着面は第４図（ｂ）の如く全面電ｊ１−１とな
りており、又、該電歪素子１の逆側の面は第４図（Ｃ）
の如く人相部に対応して電極ＩＡが、又、Ｂ相部に対し
て電極ＩＢが設けられると共に、電歪素子の振動状態を
検知するセンサー用電極Ｓ（振動体の振動により電歪素
子に発生する逆起電圧を検知する電極〕並びに共通電極
Ｃが設けられている（これら定態Ｓ、Ｃは第１図、第２
図に示す中間部分１′に設けられている）。該共通電唖
Ｃと第４図（ｂ）に示した電極とは不図示の導電性樹脂
により導通している。
再び第１図に戻り、１１は給電用フレキシブル 。
プリント回路板（ＦＰＣと略称する）、４Ｉ／′ｉフエ
ルト等の材質よりなる吸振体であシ、皿バネ５により、
吸振体４を介して前記諸要素１１・１，２全上方に押し
上げ、振動体２の上面２ａと移動体３の鍔部３＆とを弾
力的に圧接させている。
ルト等の材質よりなる吸振体であシ、皿バネ５により、
吸振体４を介して前記諸要素１１・１，２全上方に押し
上げ、振動体２の上面２ａと移動体３の鍔部３＆とを弾
力的に圧接させている。
ＦＰＣ１１の上面には第４図（ｃ）に示す電歪素子１の
下面電極配置に対応する導体パターン１１′が第５図の
如く形成されている。第６図はＦＰＣ１１の導体パター
ンと１歪素子１の下面電極配置（第４図（Ｃ））との位
置関係を示す配役図であり、ＦＰＣ１１はこのような配
役関係になるように導電性接着剤で電歪素子１の下面電
極に接着されている。
下面電極配置に対応する導体パターン１１′が第５図の
如く形成されている。第６図はＦＰＣ１１の導体パター
ンと１歪素子１の下面電極配置（第４図（Ｃ））との位
置関係を示す配役図であり、ＦＰＣ１１はこのような配
役関係になるように導電性接着剤で電歪素子１の下面電
極に接着されている。
第７図は動作説明用断面図で、同図（ａ）はＦＰＣＩＩ
を単に圧接した従来例、同図（ｂ）はＦ’ＰＣを導電性
接着剤で接着した本発明実施例である。１１′はＦＰＣ
ｌｌの導体パターン、ｌｌｂは？リアミド等の絶縁性の
ＦＰＣペース部、１３は導電性接着剤である。
を単に圧接した従来例、同図（ｂ）はＦ’ＰＣを導電性
接着剤で接着した本発明実施例である。１１′はＦＰＣ
ｌｌの導体パターン、ｌｌｂは？リアミド等の絶縁性の
ＦＰＣペース部、１３は導電性接着剤である。
導電性接着剤層１３には第４図（ｅ）の電極ＩＡ。
ＩＢ、Ｃ，Ｓの境目に対応して切れ目１３′全設ける。
従来例の第７図（＆）の場合、振動体に進行波が発生し
ているとき、ＦＰＣが振動吸収体４を介して圧接されて
いても前記進行波に追従しきれず、導体・々ターン１１
′は圧１！累子１と接触しない部分が発生しやすい。そ
れ【対して、本発明実施例の第７図（ｂ）の場合、導電
性接着剤１３で、ＦＰＣが圧電素子１に接着されている
為、その導体・やターンと圧電素子１の導通不良は発生
しない。すなわち、振動体の進行波の波形にならって常
時ＦＰＣの２３体２臂ターンと圧電素子１！極との安定
した接触が行なわれて電圧が圧電素子電極に印加される
。又、長期のボ動によってＦＰＣ１１が圧電素子１に対
して相対的【ずれ動いてしまうこともなく、耐久性にも
すぐれている。
ているとき、ＦＰＣが振動吸収体４を介して圧接されて
いても前記進行波に追従しきれず、導体・々ターン１１
′は圧１！累子１と接触しない部分が発生しやすい。そ
れ【対して、本発明実施例の第７図（ｂ）の場合、導電
性接着剤１３で、ＦＰＣが圧電素子１に接着されている
為、その導体・やターンと圧電素子１の導通不良は発生
しない。すなわち、振動体の進行波の波形にならって常
時ＦＰＣの２３体２臂ターンと圧電素子１！極との安定
した接触が行なわれて電圧が圧電素子電極に印加される
。又、長期のボ動によってＦＰＣ１１が圧電素子１に対
して相対的【ずれ動いてしまうこともなく、耐久性にも
すぐれている。
上記の実施例では、接着剤として導電性接着剤を用いた
が、エポキシ系接着剤その他の有機接着剤など、絶縁性
の接着剤でＦＰＣベース部のみ全接着しても同様な効果
が得られる。
が、エポキシ系接着剤その他の有機接着剤など、絶縁性
の接着剤でＦＰＣベース部のみ全接着しても同様な効果
が得られる。
更に、絶縁性の接着剤で接着する場合、接着膜厚を薄く
すれば導体パターン１１′までも接着して良い。何故な
ら、ＦＰＣの導体・！ターンの面と圧電素子の電甑面と
は表面粗さンζ起因する微きＪな凹凸があり、絶縁性接
着剤が十分薄く塗布されているならば、ＦＰＣの導体・
母ターンの面と圧電素子の電極面との表面粗さの凹凸は
互に接触するからである。
すれば導体パターン１１′までも接着して良い。何故な
ら、ＦＰＣの導体・！ターンの面と圧電素子の電甑面と
は表面粗さンζ起因する微きＪな凹凸があり、絶縁性接
着剤が十分薄く塗布されているならば、ＦＰＣの導体・
母ターンの面と圧電素子の電極面との表面粗さの凹凸は
互に接触するからである。
以上の如く、本発明によれば、ＦＰＣを介して圧電素子
の各電極へ給電する振動波モータにおいて、ＦＰＣを圧
Ｎ、素子に接着をするととてよって、導通不良やＦＰＣ
のずれ動きを防止出来る。また接着？することにより、
空気との接触を断つことになるので腐食や、異物の浸入
全防止できる効果がある。
の各電極へ給電する振動波モータにおいて、ＦＰＣを圧
Ｎ、素子に接着をするととてよって、導通不良やＦＰＣ
のずれ動きを防止出来る。また接着？することにより、
空気との接触を断つことになるので腐食や、異物の浸入
全防止できる効果がある。
第１図は本発明の振動波モーターの実施例の要部断面図
、第２図および第３Ｍは振動波モーターの原理を説明す
る説明図、第４図（、） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は第
１図示の電歪素子の分極状態および電圧配置を示す図、
第５図は第１図示のフレキシブルプリント回路板の構成
を示す平面図、５Ｊ６図は第５図示のフレキシブルプリ
ント回路板の電歪素子への配役を示す説明図、第７図（
ａ） 、 （ｂ） １４進行性摂動波が発生上ている時
のフレキシブルプリント回路板の導体ノ９ターンと圧電
素子の電極との接触状管を従来例および本発明実施例に
ついて示す断面図である。 １・・・圧電素子 ２・・・振動体６・・・移
動体 １１・・・フレキシブルプリント回路板１３・・・接着
剤 代理人 谷 山 輝 雄ｊ′：・ ゛１８′、Ｌ−一
一 第４図 （αつ （ｂ） 第４図 （Ｇ２） 第６０
、第２図および第３Ｍは振動波モーターの原理を説明す
る説明図、第４図（、） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は第
１図示の電歪素子の分極状態および電圧配置を示す図、
第５図は第１図示のフレキシブルプリント回路板の構成
を示す平面図、５Ｊ６図は第５図示のフレキシブルプリ
ント回路板の電歪素子への配役を示す説明図、第７図（
ａ） 、 （ｂ） １４進行性摂動波が発生上ている時
のフレキシブルプリント回路板の導体ノ９ターンと圧電
素子の電極との接触状管を従来例および本発明実施例に
ついて示す断面図である。 １・・・圧電素子 ２・・・振動体６・・・移
動体 １１・・・フレキシブルプリント回路板１３・・・接着
剤 代理人 谷 山 輝 雄ｊ′：・ ゛１８′、Ｌ−一
一 第４図 （αつ （ｂ） 第４図 （Ｇ２） 第６０
Claims (1)
- 電極を有する複数区画の電気−機械エネルギー変換素子
を振動体の片面に配列固着し、該電極に交流電圧を印加
したときの該電気−機械エネルギー変換素子の伸縮作用
により、該振動体に曲げ振動の進行波を生ぜしめること
により、該振動体の他面に押圧接触している移動体を摩
擦駆動する振動波モータにおいて、上記電気−機械エネ
ルギー変換素子の電極パターンに対応する導体パターン
を有するフレキシブルプリント回路板を該電気−機械エ
ネルギー変換素子に接着し、該フレキシブルプリント回
路板の導体パターンを介して上記電気−機械エネルギー
変換素子に給電することを特徴とする振動波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61207608A JPH0710188B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 振動波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61207608A JPH0710188B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 振動波モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6364581A true JPS6364581A (ja) | 1988-03-23 |
| JPH0710188B2 JPH0710188B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=16542598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61207608A Expired - Lifetime JPH0710188B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 振動波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710188B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01120794U (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-16 | ||
| JPH01123488U (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-22 | ||
| JPH03101190U (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-22 | ||
| JPH0425490U (ja) * | 1990-06-26 | 1992-02-28 | ||
| US5103128A (en) * | 1990-05-25 | 1992-04-07 | Asmo Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| US5854528A (en) * | 1995-05-15 | 1998-12-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| EP0991176A4 (en) * | 1998-01-29 | 2004-08-25 | Seiko Instr Inc | ULTRASONIC MOTOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051477A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 圧電モ−タ |
-
1986
- 1986-09-03 JP JP61207608A patent/JPH0710188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051477A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 圧電モ−タ |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01120794U (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-16 | ||
| JPH01123488U (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-22 | ||
| JPH03101190U (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-22 | ||
| US5103128A (en) * | 1990-05-25 | 1992-04-07 | Asmo Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| JPH0425490U (ja) * | 1990-06-26 | 1992-02-28 | ||
| US5854528A (en) * | 1995-05-15 | 1998-12-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| EP0991176A4 (en) * | 1998-01-29 | 2004-08-25 | Seiko Instr Inc | ULTRASONIC MOTOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0710188B2 (ja) | 1995-02-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1085436C (zh) | 超声波电动机 | |
| US20050179343A1 (en) | Wide frequency range electromechanical actuator | |
| JPH0421371A (ja) | 振動波モータ | |
| US8076823B2 (en) | Ultrasonic actuator | |
| JP4954783B2 (ja) | 圧電素子及び振動型アクチュエータ | |
| JPH0710188B2 (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPH06269183A (ja) | 超音波モータ | |
| CN220492880U (zh) | 用于光学成像系统的直线型压电振动器及驱动装置 | |
| JPS62260567A (ja) | 振動波モ−タ− | |
| JP2645832B2 (ja) | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 | |
| JPS62203571A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JP2011176962A (ja) | 駆動装置 | |
| JPS62201072A (ja) | 振動波モ−タ− | |
| JP2004087662A (ja) | 圧電素子 | |
| JP2671480B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JP3383401B2 (ja) | 超音波モータおよび超音波モータ駆動装置 | |
| JPS63136983A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPH05146181A (ja) | 超音波モータ用圧電振動板の製造方法 | |
| JPH07255185A (ja) | 静電アクチュエータにおける多層電極配線板、及びその製造方法 | |
| JP4388273B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 | |
| JP7225917B2 (ja) | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の製造方法およびロボット | |
| JP2871756B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPS6216245Y2 (ja) | ||
| JP2004007925A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2993229B2 (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |