JPS636498B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS636498B2 JPS636498B2 JP3720982A JP3720982A JPS636498B2 JP S636498 B2 JPS636498 B2 JP S636498B2 JP 3720982 A JP3720982 A JP 3720982A JP 3720982 A JP3720982 A JP 3720982A JP S636498 B2 JPS636498 B2 JP S636498B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- tube
- soot
- port
- tip
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/08—Recessed or protruding ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/16—Non-circular ports, e.g. square or oval
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Gas Burners (AREA)
- Pre-Mixing And Non-Premixing Gas Burner (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光フアイバ用母材（プレフオーム）製
造における、VAD法による微粒子集合体（スス
体）の積層に使用するガスバーナーの改良に関す
るものである。
造における、VAD法による微粒子集合体（スス
体）の積層に使用するガスバーナーの改良に関す
るものである。
VAD法によるスス体製造を第１図で示すと、
マツフル３内において、ガスバーナー４からパイ
プ５を経てSiCl4、GeCl4、POCl3、BBr3等の原
料ガスをH2、O2、Ar2等と共に流して、酸水素
炎中で酸化物微粒子とし、この微粒子を、回転し
て上に引き上げられている石英棒などの出発部材
１の先端をターゲツトとして吹き付け、多孔質母
材を長さ方向に沈積、成長させるものであり、こ
の多孔質母材を微粒子集合体（スス体）２とい
う。このスス体は更に加熱溶融されて透明な母材
となる。
マツフル３内において、ガスバーナー４からパイ
プ５を経てSiCl4、GeCl4、POCl3、BBr3等の原
料ガスをH2、O2、Ar2等と共に流して、酸水素
炎中で酸化物微粒子とし、この微粒子を、回転し
て上に引き上げられている石英棒などの出発部材
１の先端をターゲツトとして吹き付け、多孔質母
材を長さ方向に沈積、成長させるものであり、こ
の多孔質母材を微粒子集合体（スス体）２とい
う。このスス体は更に加熱溶融されて透明な母材
となる。
上記ガスバーナー４としては、第２図に示すよ
うな丸型断面や角型断面の多重バーナーが広く用
いられており、多重バーナーの各層でドーバンド
濃度を変えることも行なわれている。
うな丸型断面や角型断面の多重バーナーが広く用
いられており、多重バーナーの各層でドーバンド
濃度を変えることも行なわれている。
VAD法で光フアイバ多孔質母材を作製する場
合、フアイバ化後のGeO2濃度分布が二乗分布と
なるような、スス体のGeO2濃度分布にする必要
がある。しかしながら、二乗分布となるような製
造条件で製造を行なつても、製造の継続につれて
分布が変化してくる。この原因の一つにバーナー
の先端へのススの付着が挙げられる。
合、フアイバ化後のGeO2濃度分布が二乗分布と
なるような、スス体のGeO2濃度分布にする必要
がある。しかしながら、二乗分布となるような製
造条件で製造を行なつても、製造の継続につれて
分布が変化してくる。この原因の一つにバーナー
の先端へのススの付着が挙げられる。
バーナーの多重管を構成する各ポートのススの
付着量は、前記ドーパンド濃度の相違等により、
各ボートで異なるので、ススの付着によりみかけ
上バーナーの突出し量に変化が生じ、第３図に示
すように使用前Ａに対し、使用後Ｂのバーナーの
各ポートＰは付着したススＳによりでこぼこした
状態となつている。
付着量は、前記ドーパンド濃度の相違等により、
各ボートで異なるので、ススの付着によりみかけ
上バーナーの突出し量に変化が生じ、第３図に示
すように使用前Ａに対し、使用後Ｂのバーナーの
各ポートＰは付着したススＳによりでこぼこした
状態となつている。
本発明は、このようなススの付着による、各ポ
ートからの原料ガスの混合状態の変化およびスス
体とバーナー先端の相対位置のずれを防ぐことを
目的とするもので、本発明では各ポートの突出し
量を変化させることができるバーナーを用いて、
バーナーの各ポートをススの付着量と相当する量
だけ下げることにより、バーナーの経時変化を防
ぐことを特徴とするものである。
ートからの原料ガスの混合状態の変化およびスス
体とバーナー先端の相対位置のずれを防ぐことを
目的とするもので、本発明では各ポートの突出し
量を変化させることができるバーナーを用いて、
バーナーの各ポートをススの付着量と相当する量
だけ下げることにより、バーナーの経時変化を防
ぐことを特徴とするものである。
すなわち、本発明はVAD法による光フアイバ
母材製造に用いる多重管バーナーにおいて、多重
管を形成する各管が独立して当該バーナーの中心
軸方向に移動可能とする移動手段を設けてなる多
重管バーナーに関する。
母材製造に用いる多重管バーナーにおいて、多重
管を形成する各管が独立して当該バーナーの中心
軸方向に移動可能とする移動手段を設けてなる多
重管バーナーに関する。
本発明の特に好ましい実施態様としては、移動
手段が、ガラス微粒子合成中のバーナー先端の所
定位置からのずれの測定装置を有する上記多重管
バーナーが挙げられる。これを第４図に示すと、
制御前Ｃ、制御後Ｄとなる。この際、第５図に示
すようにレーザ光Ｒなどでススの付着量を測定す
ることにより、バーナーＢの各ポートP1，P2，
P3を各ポート駆動用モーターM1，M2，M3で自
動的に駆動し、更に精度を上げることも可能にな
る。また、各ポートの先端は必ずしも同一平面上
になくてもよく、要するに各ポートの先端位置の
経時変化を抑えればよいということである。
手段が、ガラス微粒子合成中のバーナー先端の所
定位置からのずれの測定装置を有する上記多重管
バーナーが挙げられる。これを第４図に示すと、
制御前Ｃ、制御後Ｄとなる。この際、第５図に示
すようにレーザ光Ｒなどでススの付着量を測定す
ることにより、バーナーＢの各ポートP1，P2，
P3を各ポート駆動用モーターM1，M2，M3で自
動的に駆動し、更に精度を上げることも可能にな
る。また、各ポートの先端は必ずしも同一平面上
になくてもよく、要するに各ポートの先端位置の
経時変化を抑えればよいということである。
更にスス付着量をＸ線透視などで製造中に連続
して測定し、Ｘ線検出器の出力信号と各ポート駆
動装置を結び、フイードバツク回路を構成すれ
ば、製造中も常に一定の分布のフアイバが得られ
る。
して測定し、Ｘ線検出器の出力信号と各ポート駆
動装置を結び、フイードバツク回路を構成すれ
ば、製造中も常に一定の分布のフアイバが得られ
る。
従来の調節不可のバーナーでは帯域が1.0G
Hz・Kmから0.3GHz・Kmまで劣化するに対し、本
発明の調節可能のバーナーを用いることにより、
常に伝送帯域0.8〜1GHz・Kmで安定したガラスフ
アイバを得ることができる。
Hz・Kmから0.3GHz・Kmまで劣化するに対し、本
発明の調節可能のバーナーを用いることにより、
常に伝送帯域0.8〜1GHz・Kmで安定したガラスフ
アイバを得ることができる。
実施例
各ポートの先端が同一平面上にある４重管バー
ナーを用いて、VAD法によりGI型屈折率分布の
スス体を合成した。このスス体を脱水・透明化し
た後延伸して、これに石英管をかぶせた光フアイ
バ母材を線引したところ、伝送帯域1GHz・Kmの
広帯域フアイバが得られた。
ナーを用いて、VAD法によりGI型屈折率分布の
スス体を合成した。このスス体を脱水・透明化し
た後延伸して、これに石英管をかぶせた光フアイ
バ母材を線引したところ、伝送帯域1GHz・Kmの
広帯域フアイバが得られた。
約10日間連続して製造したところ、得られるフ
アイバの帯域が徐々に劣化し、600MHz・Kmとな
つた。該４重管バーナーを測定装置により観察し
たところ、第２ポートの先端に、均一に固くガラ
スが付着しており、その厚さは0.3mmであつた。
そこで、この第２ポートをバーナー軸方向に0.3
mm移動させて、第２ポート先端が他のポートと同
一平面となるようにして、再びGI型スス体を合
成し、フアイバ化したところ、該フアイバの伝送
帯域は1GHz・Kmと回復した。
アイバの帯域が徐々に劣化し、600MHz・Kmとな
つた。該４重管バーナーを測定装置により観察し
たところ、第２ポートの先端に、均一に固くガラ
スが付着しており、その厚さは0.3mmであつた。
そこで、この第２ポートをバーナー軸方向に0.3
mm移動させて、第２ポート先端が他のポートと同
一平面となるようにして、再びGI型スス体を合
成し、フアイバ化したところ、該フアイバの伝送
帯域は1GHz・Kmと回復した。
第１図はVAD法によるスス体製造の概略を示
す図であり、第２図は、多重バーナーの１例の断
面図であり、第３図は、多重バーナーの各ポート
の使用前と使用後の状態を示す側断面図であり、
第４図は使用多重バーナーの各ポートの制御前と
本発明制御後の状態を示す側断面図であり、第５
図は本発明方法の一実施態様を示す図である。
す図であり、第２図は、多重バーナーの１例の断
面図であり、第３図は、多重バーナーの各ポート
の使用前と使用後の状態を示す側断面図であり、
第４図は使用多重バーナーの各ポートの制御前と
本発明制御後の状態を示す側断面図であり、第５
図は本発明方法の一実施態様を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ VAD法による光フアイバ母材製造に用いる
多重管バーナーにおいて、多重管を形成する各管
が独立して当該バーナーの中心軸方向に移動可能
とする移動手段を設けてなる多重管バーナー。 ２ 移動手段が、ガラス微粒子合成中のバーナー
先端の所定位置からのずれの測定装置を有する特
許請求の範囲第１項に記載の多重管バーナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3720982A JPS58156545A (ja) | 1982-03-11 | 1982-03-11 | 光フアイバ製造用多重管バ−ナ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3720982A JPS58156545A (ja) | 1982-03-11 | 1982-03-11 | 光フアイバ製造用多重管バ−ナ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58156545A JPS58156545A (ja) | 1983-09-17 |
| JPS636498B2 true JPS636498B2 (ja) | 1988-02-10 |
Family
ID=12491198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3720982A Granted JPS58156545A (ja) | 1982-03-11 | 1982-03-11 | 光フアイバ製造用多重管バ−ナ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58156545A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100640405B1 (ko) | 2004-12-16 | 2006-10-31 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 증착용 버너 |
-
1982
- 1982-03-11 JP JP3720982A patent/JPS58156545A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58156545A (ja) | 1983-09-17 |
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