JPS6366552A - 走査露光系 - Google Patents
走査露光系Info
- Publication number
- JPS6366552A JPS6366552A JP21244486A JP21244486A JPS6366552A JP S6366552 A JPS6366552 A JP S6366552A JP 21244486 A JP21244486 A JP 21244486A JP 21244486 A JP21244486 A JP 21244486A JP S6366552 A JPS6366552 A JP S6366552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- mirrors
- scanning exposure
- exposure system
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Optical Systems Of Projection Type Copiers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野）
本発明は原稿台固定式複写機の走査露光系に関するもの
である。
である。
従来、物像間距離の比較的長い走査系では、その光学系
のために、大きなスペースを必要としてきた。そのため
、機械本体をコンパクトにまとめる事が困難であった。
のために、大きなスペースを必要としてきた。そのため
、機械本体をコンパクトにまとめる事が困難であった。
また、ミラー移動型の光学装置では、その径動全が感光
体のυ動量に密接に関わりているため、独立に移動する
ミラーを制御するのに非常に複雑なふり五を必要と−・
ｊ−ることか多かった。
体のυ動量に密接に関わりているため、独立に移動する
ミラーを制御するのに非常に複雑なふり五を必要と−・
ｊ−ることか多かった。
（発明の目的〕
本発明は、走査系のスペースを限られた範囲で有効に、
使用することにより、機械本体内部のスペースをへらし
て小型化を計ることを目的としている。
使用することにより、機械本体内部のスペースをへらし
て小型化を計ることを目的としている。
しかも感光体の駆動に深く関わりながらミラーを動かず
ことを可能にして装置駆動の複雑化をおさえることがで
きるように配慮した。
ことを可能にして装置駆動の複雑化をおさえることがで
きるように配慮した。
本発明に於ける走査露光系に於いでは、主光線の光路長
を一定に保ちノ♂から移動する三枚のミラーで走査露光
系を構成することにより、上記目的を達成せんとするも
のである。
を一定に保ちノ♂から移動する三枚のミラーで走査露光
系を構成することにより、上記目的を達成せんとするも
のである。
第１図は本発明に係る走査露光系の一実施例を示す図で
あり、第２図は第１図に示す走査露光系に特別な長さ関
係を与え、第１図に示す系をより４１純化した走査露光
系を示す図である。まず、第１図、第２図に於いて、Ｂ
はレンズＬの射出瞳であり、ＢＰは光軸、ＯＰＱはレン
ズによる仮結像面を表わしている。また、光軸に対して
対称に図を描いであるが、０Ｐ＝ＰＱである必要性はな
い。ＥＤは、第１ミラーＭ１、第３ミラーＭ３と主光線
光路長を一定に保ちつつ移動する第２ミラーＭ２の軌道
であり、図にいては、直線で与えである。また、Ｄは、
第２ミラーＭ２の位置を示し、反射面は、軌道に対して
垂直である必要はない（第１図の場合）。さらに、ＥＤ
は、光軸ＰＢと４５゛の傾きをもフて描かれているが、
これも限定されるものではない。また、１丁）はＭｌ、
ｒ〒看はＭ３の軌道である。また、ビは、感光体上の結
像点を表わす。
あり、第２図は第１図に示す走査露光系に特別な長さ関
係を与え、第１図に示す系をより４１純化した走査露光
系を示す図である。まず、第１図、第２図に於いて、Ｂ
はレンズＬの射出瞳であり、ＢＰは光軸、ＯＰＱはレン
ズによる仮結像面を表わしている。また、光軸に対して
対称に図を描いであるが、０Ｐ＝ＰＱである必要性はな
い。ＥＤは、第１ミラーＭ１、第３ミラーＭ３と主光線
光路長を一定に保ちつつ移動する第２ミラーＭ２の軌道
であり、図にいては、直線で与えである。また、Ｄは、
第２ミラーＭ２の位置を示し、反射面は、軌道に対して
垂直である必要はない（第１図の場合）。さらに、ＥＤ
は、光軸ＰＢと４５゛の傾きをもフて描かれているが、
これも限定されるものではない。また、１丁）はＭｌ、
ｒ〒看はＭ３の軌道である。また、ビは、感光体上の結
像点を表わす。
次に、第１図を用いて、本発明に係る走査露光系を詳述
する。第１図に於いて、まず、光学系Ｂ−ＯＰＱを面Ｊ
ＨＫで、Ｂ−ＪＨＫとＪＨＫ−ＱＰＯに分割する。面Ｊ
ＨＫは平面でなければいけないという制限はないが、第
１図では、説明を簡単にするために、光！ＩＩＩｈＢＰ
に垂直な平面として与える。まず分７４面ＪＨＫを通過
する各光線の主光線を分割面ＪＨＫから前後に各々一定
の長さになるように、つまり、ＫＧ＝ＨＩ＝ＪＦ、ＫＹ
＝ＨＸ＝ＪＷとなるように端点なとり、それを結んでで
きる軌跡ｒｔｃ、ｆマ）を考える。このとき、曲線ｆ〒
）は、そのままＭｌの軌道として与えられ、Ｍ２はＭｌ
の移動中、常にＭｌからの主光線光路長がＧＫで一定に
保たれるような軸ＤＥ上を穆勤する。これにより分割面
ＪＨＫ上の点は、軸ＤＥ上の動点りにあるミラーＭ２に
対応づけることが可能になる。次に、各動点りがら一定
の長さＫＹ （＝ＨＸ＝ＪＷ）をとｖ”Ｃ１ＷｘＹに対
応するＭ３の軌道σでＳ′を考える。これは、Ｑに等し
くない。〔凸′の形状の求め方、光学系での配置の仕方
は後述する。後に記すような方法で、σ〒〕′を決定し
てやると、ｗｏ、ｘｐ。
する。第１図に於いて、まず、光学系Ｂ−ＯＰＱを面Ｊ
ＨＫで、Ｂ−ＪＨＫとＪＨＫ−ＱＰＯに分割する。面Ｊ
ＨＫは平面でなければいけないという制限はないが、第
１図では、説明を簡単にするために、光！ＩＩＩｈＢＰ
に垂直な平面として与える。まず分７４面ＪＨＫを通過
する各光線の主光線を分割面ＪＨＫから前後に各々一定
の長さになるように、つまり、ＫＧ＝ＨＩ＝ＪＦ、ＫＹ
＝ＨＸ＝ＪＷとなるように端点なとり、それを結んでで
きる軌跡ｒｔｃ、ｆマ）を考える。このとき、曲線ｆ〒
）は、そのままＭｌの軌道として与えられ、Ｍ２はＭｌ
の移動中、常にＭｌからの主光線光路長がＧＫで一定に
保たれるような軸ＤＥ上を穆勤する。これにより分割面
ＪＨＫ上の点は、軸ＤＥ上の動点りにあるミラーＭ２に
対応づけることが可能になる。次に、各動点りがら一定
の長さＫＹ （＝ＨＸ＝ＪＷ）をとｖ”Ｃ１ＷｘＹに対
応するＭ３の軌道σでＳ′を考える。これは、Ｑに等し
くない。〔凸′の形状の求め方、光学系での配置の仕方
は後述する。後に記すような方法で、σ〒〕′を決定し
てやると、ｗｏ、ｘｐ。
ＹＱを１ｆＫ、τに’、Ｓ’ｌぐに等しくしなからに一
点に集めることが可能になる。
点に集めることが可能になる。
これにより、本走査系は次式の左辺の仮結像点ＯＰＱま
での光路長と右辺の感光体上結像点Ｋまでの光路長とを
等しくすることが可能なのである。
での光路長と右辺の感光体上結像点Ｋまでの光路長とを
等しくすることが可能なのである。
ＢＧ＋ＧＤ＋Ｄび＋１ｆＫ：’
＝ＢＧ＋ＧＫ＋ＫＹ＋ＹＱ
他の点に対しても同様な関係式が得られるのは明らかで
ある。
ある。
次にミラーの角度についてであるが、ミラーＭ１は、瞳
Ｂから入射してきた光線を移動中宮にミラーＭ２に向け
て反射させるように、第１図において、ＧをＭｌの位置
とした時、その反射面は二等辺三角形ＧＫＤの頂角の２
等分線に一致するように傾きを変化させる。゛また、Ｂ
Ｇ、ＧＫ。
Ｂから入射してきた光線を移動中宮にミラーＭ２に向け
て反射させるように、第１図において、ＧをＭｌの位置
とした時、その反射面は二等辺三角形ＧＫＤの頂角の２
等分線に一致するように傾きを変化させる。゛また、Ｂ
Ｇ、ＧＫ。
ＫＹ、ＹＱが特定の長さ関係にないときは、輔ＤＥとミ
ラーＭ２の固定された反射面は一般に垂直にならない。
ラーＭ２の固定された反射面は一般に垂直にならない。
仮に垂直にした場合は、光軸Ｂｌとτには軸ＤＥに対し
て対称にはならない。しかし・いずれの場合も実施可能
である。また、ミラーＭ３の反射面はミラーＭ２から届
く光線をＩ（に向けて、反射させるようにミラーＭ１と
同様な形で傾とを変化させながら移動する。
て対称にはならない。しかし・いずれの場合も実施可能
である。また、ミラーＭ３の反射面はミラーＭ２から届
く光線をＩ（に向けて、反射させるようにミラーＭ１と
同様な形で傾とを変化させながら移動する。
次にミラーＭｌ、Ｍ３の軌道を数学的な表現を用いて示
すことにする。第１図において、ミラーＭ １の軌道を
求める。簡単なため、分割面、Ｊ ＨＫは光軸ＢＰを法
線とする平面とし、ミラーＭ２は直線軌道上を移動する
ものとするなら、Ｂを極座標の原点にとり、θを半画角
とした時分割面ＪＨＫはＢＨｓｅｃθで表わされる。よ
って、そこから一定の主光線光路長ＩＨを引いて、ミラ
ーＭ］の軌道ｒは ｒ＝−ＩＨ＋ＢＨｓｅｃθ となる。次に、軸ＤＥの位置と傾きを適当に決めてやり
、軌道ｒ上の各点に対応するＤを決定してやる。次に、
ＷＸＹに対応するミラーＭ３の軌道ｔＪ’″ｒ’ｓ’を
決定する方法について述べる。第１図のようにＢＫ≠Ｋ
Ｑのとぎには、ｆ〒）とｆ〒１′の軌道長は異なり、Ｇ
Ｋｆ＝ＫＹのときには、ＦＩＧとσ〒〕′の軌道形状は
異なるはずである。そこで第３図を用いて、軌道の決定
を行なう。第３図は第１図の台形ＪＫＱＯを書き改めた
ものである。
すことにする。第１図において、ミラーＭ １の軌道を
求める。簡単なため、分割面、Ｊ ＨＫは光軸ＢＰを法
線とする平面とし、ミラーＭ２は直線軌道上を移動する
ものとするなら、Ｂを極座標の原点にとり、θを半画角
とした時分割面ＪＨＫはＢＨｓｅｃθで表わされる。よ
って、そこから一定の主光線光路長ＩＨを引いて、ミラ
ーＭ］の軌道ｒは ｒ＝−ＩＨ＋ＢＨｓｅｃθ となる。次に、軸ＤＥの位置と傾きを適当に決めてやり
、軌道ｒ上の各点に対応するＤを決定してやる。次に、
ＷＸＹに対応するミラーＭ３の軌道ｔＪ’″ｒ’ｓ’を
決定する方法について述べる。第１図のようにＢＫ≠Ｋ
Ｑのとぎには、ｆ〒）とｆ〒１′の軌道長は異なり、Ｇ
Ｋｆ＝ＫＹのときには、ＦＩＧとσ〒〕′の軌道形状は
異なるはずである。そこで第３図を用いて、軌道の決定
を行なう。第３図は第１図の台形ＪＫＱＯを書き改めた
ものである。
今、“点ＫからＪＯに平行に直線を引き像面ＯＰＱとの
交流をＶとする。このとき△ＫＶＱに先に△ＢＪＫから
軌道ｒを求めた時と同じ走査を施してやれば、おのずと
ミラーＭ３の市九道ｒ′（ま、ｒ’＝−ＴＲ＋ＫＲｓｅ
ｃ θ と表わされることは明らかである。ここでＲは、Ｋから
ＶＱにおろした垂線の足であり、Ｕ、Ｔ。
交流をＶとする。このとき△ＫＶＱに先に△ＢＪＫから
軌道ｒを求めた時と同じ走査を施してやれば、おのずと
ミラーＭ３の市九道ｒ′（ま、ｒ’＝−ＴＲ＋ＫＲｓｅ
ｃ θ と表わされることは明らかである。ここでＲは、Ｋから
ＶＱにおろした垂線の足であり、Ｕ、Ｔ。
Ｓはそれぞれ求めたいσ、ｆ、Ｓ’に対応する。そして
図形にニー１ｆ’Ｔ’Ｓ’は、ここでできるに−ＵＴＳ
と合同である。また、Ｋ−ＵＴＳをに’−Ｕ’でＳ’ニ
配置する方法はミラーＭ２の反射面の傾きにより、−ｉ
的に決定されない。
図形にニー１ｆ’Ｔ’Ｓ’は、ここでできるに−ＵＴＳ
と合同である。また、Ｋ−ＵＴＳをに’−Ｕ’でＳ’ニ
配置する方法はミラーＭ２の反射面の傾きにより、−ｉ
的に決定されない。
第１図では、ＩＦｔｈＤＥに対してＢｌとτ■（とが対
称になるように選んである。第２図のような選択の仕方
は、もっとも簡単な形状を実現する。これは第１図にお
いて、ＤＥの光軸ＢＰに対する傾きを４５＠にとり、Ｉ
Ｈ＝ＨＸ、ＢＨ＝ＨＰなる関係をもち、かつ、ミラーＭ
２の反射面がＤＥに垂直な場合である。このときミラー
Ｍｌ、Ｍ２は、軌道ＤＥに対して対称に移動するのであ
るから、軸ＤＥは本走査系の対称軸になるのである。
称になるように選んである。第２図のような選択の仕方
は、もっとも簡単な形状を実現する。これは第１図にお
いて、ＤＥの光軸ＢＰに対する傾きを４５＠にとり、Ｉ
Ｈ＝ＨＸ、ＢＨ＝ＨＰなる関係をもち、かつ、ミラーＭ
２の反射面がＤＥに垂直な場合である。このときミラー
Ｍｌ、Ｍ２は、軌道ＤＥに対して対称に移動するのであ
るから、軸ＤＥは本走査系の対称軸になるのである。
第４図は、前記ミラーＭｌ、Ｍ３の移動機構の一実施例
を示す図である。図中、１はミラー、ｌａはミラー１に
固設された側板、２，３．４は各々ガイド溝を示してい
る。６は前記ミラーの側板］ａの中央部に設けられた孔
部（不図示）に、ピン（不図示）を嵌入して前記ミラー
を支持する部材である。ミラー１は、このピン（不図示
）を揺動軸として、矢印Ａ１で示ず方向に揺動自在に軸
支されている。７はガイド棒で、前記ミラー支持部材６
は、このガイド棒に沿って摺動自在に設けられている。
を示す図である。図中、１はミラー、ｌａはミラー１に
固設された側板、２，３．４は各々ガイド溝を示してい
る。６は前記ミラーの側板］ａの中央部に設けられた孔
部（不図示）に、ピン（不図示）を嵌入して前記ミラー
を支持する部材である。ミラー１は、このピン（不図示
）を揺動軸として、矢印Ａ１で示ず方向に揺動自在に軸
支されている。７はガイド棒で、前記ミラー支持部材６
は、このガイド棒に沿って摺動自在に設けられている。
前記ガイド棒７にはピン９が固設されており、該ピン９
は前記ガイド、・１η２と嵌合している。ガイド溝２は
、ミラー１をわ１方向Ａ２に一直線状に導く形状をして
おり、ガイド棒７は不図示の駆動手段により、このガイ
ド溝２に沿って一定の速度（等速度）で移動させられる
。１０は前記ミラー支持部材に固設されたピンで、該ピ
ン１０は前記ガイド溝３に嵌合している。ガイド溝３は
、第１図、第２図のｒ−ｒｅ、１）で示す様な形状を持
ったガイド溝で、ガイド棒７か左右方向Ａ２に移動する
と、このカイト溝の形状に沿ってミラー１は上下方向Ａ
３に移動する。１１はミラー１の側板１ａの端部に固設
されたピンで、該ピン１１はガイド溝４と嵌合している
。ガイド溝４はミラー１の傾き角を変化させて、ミラー
１の移動中に入射主光線を常に目的とする方向へ反射さ
せる様な形状を有している。故に、ミラー１は前記ガイ
ド棒７がＡ２に移動すると、ガイド溝の形状に従って、
前記ミラー支持部材６の不図示のピンを中心として揺動
する。
は前記ガイド、・１η２と嵌合している。ガイド溝２は
、ミラー１をわ１方向Ａ２に一直線状に導く形状をして
おり、ガイド棒７は不図示の駆動手段により、このガイ
ド溝２に沿って一定の速度（等速度）で移動させられる
。１０は前記ミラー支持部材に固設されたピンで、該ピ
ン１０は前記ガイド溝３に嵌合している。ガイド溝３は
、第１図、第２図のｒ−ｒｅ、１）で示す様な形状を持
ったガイド溝で、ガイド棒７か左右方向Ａ２に移動する
と、このカイト溝の形状に沿ってミラー１は上下方向Ａ
３に移動する。１１はミラー１の側板１ａの端部に固設
されたピンで、該ピン１１はガイド溝４と嵌合している
。ガイド溝４はミラー１の傾き角を変化させて、ミラー
１の移動中に入射主光線を常に目的とする方向へ反射さ
せる様な形状を有している。故に、ミラー１は前記ガイ
ド棒７がＡ２に移動すると、ガイド溝の形状に従って、
前記ミラー支持部材６の不図示のピンを中心として揺動
する。
第５図は、第１図及び第２図に示すミラーＭ２の移動機
＋ｌ′ＩＪの一実施例を示す図である。図中、第４図と
同じ符番のものは、同じ部材を表している。１２はミラ
ーの側板１ａの中心部に固設されたミラー支持部材で、
該部材１２は固定のカイト棒１３に対して、矢印Ａ４で
示す方向に摺動自在に設けられている。ガイド棒１３は
、前記第１図及び第２図で示した釉ＤＥに対応する部材
である。第４図及び第５図で示ず部材５はミラーＭｌと
Ｍ２、ミラーＭ２とＭ３とを結ぶ、長さ一定の連結棒で
ある。連結棒５は、ミラーＭｌ、Ｍ３には、第４図で示
す様にピン１０を軸として、回動自在にヒ゛ン１０に丹
けら九ており、−づ丁ミラーＭ２には第５図で示す様に
部材１２に固設されたピン１４を軸として矢印Ａ５で示
す方向に回動自在に設けられている。この様に連結棒５
はその両端が、各々ミラーの中心部付近に設けられたピ
ン１０．１４に対してそれぞれ回動自在に設けられてい
る。従って、ミラー？、（１とミラーム１３とが駆動手
段によって移動すると、ミラーＭ１とＭ ２との間、及
びＭ ２とＭ３との間の主光線の光路長か前記連結棒５
の長さで決まる値を保つ様に、ミラーＭ２はガイド′ｐ
Ｊ１３に沿）て移動する。従って、ミラーＭ１とミラー
Ｍ３とか移動すると、第５図で示す二つの連結棒５の成
ず角Ｗは変化する。この様に、第４図、第５図で示す移
動機構で、ミラーん１１．Ｍ２．Ｍ３を、第１図及び第
２図で示したし動軌跡に沿って８動させることが出来る
。
＋ｌ′ＩＪの一実施例を示す図である。図中、第４図と
同じ符番のものは、同じ部材を表している。１２はミラ
ーの側板１ａの中心部に固設されたミラー支持部材で、
該部材１２は固定のカイト棒１３に対して、矢印Ａ４で
示す方向に摺動自在に設けられている。ガイド棒１３は
、前記第１図及び第２図で示した釉ＤＥに対応する部材
である。第４図及び第５図で示ず部材５はミラーＭｌと
Ｍ２、ミラーＭ２とＭ３とを結ぶ、長さ一定の連結棒で
ある。連結棒５は、ミラーＭｌ、Ｍ３には、第４図で示
す様にピン１０を軸として、回動自在にヒ゛ン１０に丹
けら九ており、−づ丁ミラーＭ２には第５図で示す様に
部材１２に固設されたピン１４を軸として矢印Ａ５で示
す方向に回動自在に設けられている。この様に連結棒５
はその両端が、各々ミラーの中心部付近に設けられたピ
ン１０．１４に対してそれぞれ回動自在に設けられてい
る。従って、ミラー？、（１とミラーム１３とが駆動手
段によって移動すると、ミラーＭ１とＭ ２との間、及
びＭ ２とＭ３との間の主光線の光路長か前記連結棒５
の長さで決まる値を保つ様に、ミラーＭ２はガイド′ｐ
Ｊ１３に沿）て移動する。従って、ミラーＭ１とミラー
Ｍ３とか移動すると、第５図で示す二つの連結棒５の成
ず角Ｗは変化する。この様に、第４図、第５図で示す移
動機構で、ミラーん１１．Ｍ２．Ｍ３を、第１図及び第
２図で示したし動軌跡に沿って８動させることが出来る
。
本発明に係る走査露光系は、前述したミラーＭ１．Ｍ２
．Ｍ３の配置に、ｔ、Ｘ々；ノ配二の自由度を与えるこ
とが可能である。第６図（ａ）。
．Ｍ３の配置に、ｔ、Ｘ々；ノ配二の自由度を与えるこ
とが可能である。第６図（ａ）。
（ｂ）は、ミラーＭ ２のφ入道ＤＥか、レンズＬの光
＠ＢＰと平行になる様に移動させる場合の、ミラーＭ１
．Ｍ３の６動軌道（Ω、Ω′）の概略を示す図である。
＠ＢＰと平行になる様に移動させる場合の、ミラーＭ１
．Ｍ３の６動軌道（Ω、Ω′）の概略を示す図である。
この様に、本発明では、走査系以外の他の系とのスペー
ス配置の為に、走査系の配置を大きな自由度で選択する
ことが出来ると言う効果を有する。
ス配置の為に、走査系の配置を大きな自由度で選択する
ことが出来ると言う効果を有する。
以上、説明したように、第１図においても明らかである
が様々な自由度を含みながらＶ−ＰＱＲという大きなス
ペースをもつ光学系を、省スペースにまとめてやること
が可能である。また、駆動系や、感光体などの・配置に
も十分な適応性を兼ねそなえており、光路差を生じるこ
となく像面を感光体上に再現させつる。さらには、その
複ＰＩＥなミラー相互間の動きも、主光線光路長が一定
であるという条件のもとで、比較的実現が容易であり、
ミラーの駆動も等速度で行なうことが可能なのでドラム
との同期実現もまた容易であるという効果をもっている
。
が様々な自由度を含みながらＶ−ＰＱＲという大きなス
ペースをもつ光学系を、省スペースにまとめてやること
が可能である。また、駆動系や、感光体などの・配置に
も十分な適応性を兼ねそなえており、光路差を生じるこ
となく像面を感光体上に再現させつる。さらには、その
複ＰＩＥなミラー相互間の動きも、主光線光路長が一定
であるという条件のもとで、比較的実現が容易であり、
ミラーの駆動も等速度で行なうことが可能なのでドラム
との同期実現もまた容易であるという効果をもっている
。
第１図及び第２図は、本発明に係る走査露光系の一実施
例の光路の概略を示す図、第３図は、ミラーＭ３の軌道
を説明する図、第４図及び第５図は、本発明に係る走査
露光系のミラーの移動機構の一実施例を示す図、第６図
（ａ）、（ｂ）は、本発明に係る走査露光系の他の実施
例の概略図。 Ｌ−レンズ、ＢＰ−光軸、Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３−移動ミラ
ー、【〒）−ミラーＭ１の軌道、ＤＥ−ミラーＭ２の軌
道、ｑ〒１′−ミラーＭ３の軌道。
例の光路の概略を示す図、第３図は、ミラーＭ３の軌道
を説明する図、第４図及び第５図は、本発明に係る走査
露光系のミラーの移動機構の一実施例を示す図、第６図
（ａ）、（ｂ）は、本発明に係る走査露光系の他の実施
例の概略図。 Ｌ−レンズ、ＢＰ−光軸、Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３−移動ミラ
ー、【〒）−ミラーＭ１の軌道、ＤＥ−ミラーＭ２の軌
道、ｑ〒１′−ミラーＭ３の軌道。
Claims (1)
- （１）主光線の光路長を一定に保ったまま移動する３枚
のミラーで構成されていることを特徴とした走査露光系
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212444A JP2510528B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 走査露光系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212444A JP2510528B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 走査露光系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366552A true JPS6366552A (ja) | 1988-03-25 |
| JP2510528B2 JP2510528B2 (ja) | 1996-06-26 |
Family
ID=16622713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61212444A Expired - Fee Related JP2510528B2 (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 走査露光系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2510528B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5269616A (en) * | 1975-12-08 | 1977-06-09 | Fuji Kiki Kougiyou Kk | Magnifying projection copying machine |
| JPS55137549A (en) * | 1979-04-16 | 1980-10-27 | Canon Inc | Optical scanner |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP61212444A patent/JP2510528B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5269616A (en) * | 1975-12-08 | 1977-06-09 | Fuji Kiki Kougiyou Kk | Magnifying projection copying machine |
| JPS55137549A (en) * | 1979-04-16 | 1980-10-27 | Canon Inc | Optical scanner |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2510528B2 (ja) | 1996-06-26 |
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