JPS636657U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS636657U JPS636657U JP10070786U JP10070786U JPS636657U JP S636657 U JPS636657 U JP S636657U JP 10070786 U JP10070786 U JP 10070786U JP 10070786 U JP10070786 U JP 10070786U JP S636657 U JPS636657 U JP S636657U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam device
- ion beam
- insulating member
- emitter
- tip
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案イオンビーム装置の一実施例の
要部を示す構成図、第２図は第１図例の絶縁サフ
アイヤブロツク部２１を示す拡大斜視図、第３図
は従来のイオンビーム装置の要部を示す構成図、
第４図は従来の他のイオンビーム装置のイオンガ
ンの要部を示す断面図、第５図は第４図例の絶縁
サフアイヤ部の部分拡大図である。 ２０は冷凍機先端部、２１は絶縁サフアイヤブ
ロツク部、２２はイオンガン、２３はエミツタ、
２４及び２５は夫々鍔部用サフアイヤブロツク、
２６及び２７は夫々連結用サフアイヤブロツク、
４２は引出電極である。
要部を示す構成図、第２図は第１図例の絶縁サフ
アイヤブロツク部２１を示す拡大斜視図、第３図
は従来のイオンビーム装置の要部を示す構成図、
第４図は従来の他のイオンビーム装置のイオンガ
ンの要部を示す断面図、第５図は第４図例の絶縁
サフアイヤ部の部分拡大図である。 ２０は冷凍機先端部、２１は絶縁サフアイヤブ
ロツク部、２２はイオンガン、２３はエミツタ、
２４及び２５は夫々鍔部用サフアイヤブロツク、
２６及び２７は夫々連結用サフアイヤブロツク、
４２は引出電極である。
Claims (1)
- 冷凍機先端部に絶縁部材を介してイオンガンの
エミツタが設けられたイオンビーム装置において
、上記絶縁部材を鍔部材と連結部材とを重畳して
構成する様にしたことを特徴とするイオンビーム
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10070786U JPS636657U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10070786U JPS636657U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636657U true JPS636657U (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=30970782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10070786U Pending JPS636657U (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS636657U (ja) |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP10070786U patent/JPS636657U/ja active Pending