JPS6367530A - 赤外線検知器 - Google Patents
赤外線検知器Info
- Publication number
- JPS6367530A JPS6367530A JP61212468A JP21246886A JPS6367530A JP S6367530 A JPS6367530 A JP S6367530A JP 61212468 A JP61212468 A JP 61212468A JP 21246886 A JP21246886 A JP 21246886A JP S6367530 A JPS6367530 A JP S6367530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner cylinder
- end surface
- flange
- infrared
- plate
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D19/00—Arrangement or mounting of refrigeration units with respect to devices or objects to be refrigerated, e.g. infrared detectors
- F25D19/006—Thermal coupling structure or interface
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、 InSb 、 HgCdTe 、
Pb8nTe等で極低温に冷却して動作させる赤外線検
知素子を具備する赤外線検知器に関するものである。
Pb8nTe等で極低温に冷却して動作させる赤外線検
知素子を具備する赤外線検知器に関するものである。
第5図は従来の赤外線検知器の構成例を示すもので1図
において+11は低温保持容器で、ガラス裂ノ内筒(2
)、外筒T3).7;F7ジ(4)、赤外ma過材料(
例えばGe )であるウィンド(5)、赤外線検知素子
(6)を具備したパッケージ(7)で構成されている。
において+11は低温保持容器で、ガラス裂ノ内筒(2
)、外筒T3).7;F7ジ(4)、赤外ma過材料(
例えばGe )であるウィンド(5)、赤外線検知素子
(6)を具備したパッケージ(7)で構成されている。
上記ウィンド+51は、真空用接着剤(例えばVARI
AN社商標TORR5EAL ) Kよって上記外筒(
3)の端面に接着されている。(8)はジュールトムソ
ン冷却器で。
AN社商標TORR5EAL ) Kよって上記外筒(
3)の端面に接着されている。(8)はジュールトムソ
ン冷却器で。
スパイラル状に巻かれたフィンチューブ+91とノズル
fiOを具備しており、高圧ガス(例えばi素)の光填
されたボンベαBと弁α2を介して配管13によって連
通している。ここで、低温保持容器+11の内部は、外
部からの侵入熱を遮断するため、10’〜1O−5TO
RR程度の真空に保たれている。赤外線検知素子(61
の信号は金属線Iにより、端子aりから低温保持容器+
11の外部に取出すことができる。
fiOを具備しており、高圧ガス(例えばi素)の光填
されたボンベαBと弁α2を介して配管13によって連
通している。ここで、低温保持容器+11の内部は、外
部からの侵入熱を遮断するため、10’〜1O−5TO
RR程度の真空に保たれている。赤外線検知素子(61
の信号は金属線Iにより、端子aりから低温保持容器+
11の外部に取出すことができる。
次に以上のような構成からなる従来の赤外線検知器の動
作について説明する。弁α2を開放し、ボンベaυから
ジュールトムソン冷却器(8)に高圧ガスを供給すると
、スパイラル状に巻かれたフィンチューブ+91 ヲ通
ってノズル0υからガスが噴出する。
作について説明する。弁α2を開放し、ボンベaυから
ジュールトムソン冷却器(8)に高圧ガスを供給すると
、スパイラル状に巻かれたフィンチューブ+91 ヲ通
ってノズル0υからガスが噴出する。
この時ガスは高圧から低圧(大気圧)に開放されるため
、ジュールトムソン効果によって温度降下する。この温
度降下は微々たるものであるが、内筒(2)の内側に沿
って排出されるガスと、フィンチューブ(9)の内部を
流れる新たに供給されるガスとの間に熱交換な行なわせ
ることにより、究極的には上記ガスはその液化温度(窒
素の場合で77°K)に達する。赤外線検知素子(6)
およびパッケージ(7)は上記液化温度に達したガスを
吹きつけられることにより毬低温に冷却されることにな
るが、上記ジュールトムソン冷却器の冷却能力は通常I
W〜5W程度と少ないので、外部からの熱侵入を妨げな
ければノズルα・から噴出するガスを液化温度に到達せ
しめる事はできない。低温保持容器(11は外部からの
侵入熱を遮断するための接脂であり、内筒(2)、外筒
(3)、フランジ(4)、ウィンド(5)で囲まれてい
る容器内部は外部と密閉され、かつ真空に保たれている
。
、ジュールトムソン効果によって温度降下する。この温
度降下は微々たるものであるが、内筒(2)の内側に沿
って排出されるガスと、フィンチューブ(9)の内部を
流れる新たに供給されるガスとの間に熱交換な行なわせ
ることにより、究極的には上記ガスはその液化温度(窒
素の場合で77°K)に達する。赤外線検知素子(6)
およびパッケージ(7)は上記液化温度に達したガスを
吹きつけられることにより毬低温に冷却されることにな
るが、上記ジュールトムソン冷却器の冷却能力は通常I
W〜5W程度と少ないので、外部からの熱侵入を妨げな
ければノズルα・から噴出するガスを液化温度に到達せ
しめる事はできない。低温保持容器(11は外部からの
侵入熱を遮断するための接脂であり、内筒(2)、外筒
(3)、フランジ(4)、ウィンド(5)で囲まれてい
る容器内部は外部と密閉され、かつ真空に保たれている
。
しかし1以上のような構成から成る従来の赤外線検知器
は次のような問題点があった。
は次のような問題点があった。
9) ウィンド(5)と外筒(3)の接合のため使用し
ている接着剤は有機生成物であるから長期的に見れば、
多量の有機ガスを放出し、低温保持容器+11の真空度
維持上9%に寿命という面で好ましくない。
ている接着剤は有機生成物であるから長期的に見れば、
多量の有機ガスを放出し、低温保持容器+11の真空度
維持上9%に寿命という面で好ましくない。
(ロ)主要構造部材である内筒(2)、外筒(3),7
ランジ(4)がガラス製で靭性に欠ける゛の厳しい耐振
動性、耐@撃性が要求される場合(例えはミサイル。
ランジ(4)がガラス製で靭性に欠ける゛の厳しい耐振
動性、耐@撃性が要求される場合(例えはミサイル。
航空機等に搭載される場合)には機械的強度の面で適さ
ない。
ない。
E−1低温保持容器(11の内筒(2)にはジュールト
ムソン冷却器(8)が挿入され、この時上記内筒(2)
とジュールトムソン冷却器(姐との隙間は、ノズル(1
(Iから噴出され外部へ排出されるガスとフィンチュー
ブ(9)円を流れる新たに供給されるガスとの熱交換効
率に大きな影替を与えるので、内筒(2)には精密な加
工寸法精度が要求されるが、内筒(2)がガラス製なの
で研磨等生産性の悪い加工手段でなければ達成できない
。
ムソン冷却器(8)が挿入され、この時上記内筒(2)
とジュールトムソン冷却器(姐との隙間は、ノズル(1
(Iから噴出され外部へ排出されるガスとフィンチュー
ブ(9)円を流れる新たに供給されるガスとの熱交換効
率に大きな影替を与えるので、内筒(2)には精密な加
工寸法精度が要求されるが、内筒(2)がガラス製なの
で研磨等生産性の悪い加工手段でなければ達成できない
。
この発明は以上のような問題点を改善するためになされ
たもので、真空度維持の寿命か長く9機械的強度が高く
、かつ生産性の良い赤外線検知器を提案するものである
。
たもので、真空度維持の寿命か長く9機械的強度が高く
、かつ生産性の良い赤外線検知器を提案するものである
。
この発明に係る赤外線検知器は、主要構造部材である内
面、外面、7ランジを金属性にし、赤外線検知素子を具
備したパッケージを取りつけろ端面に熱伝導率の高い材
質のプレートラ用い1両者をロウ付によって気密接合し
、真空断熱容器を形成したものである。
面、外面、7ランジを金属性にし、赤外線検知素子を具
備したパッケージを取りつけろ端面に熱伝導率の高い材
質のプレートラ用い1両者をロウ付によって気密接合し
、真空断熱容器を形成したものである。
この発明においては、内筒を熱伝導率が低(。
機械加工精度が得やすい金属とし、また赤外線検知素子
を具備したパッケージを取付ける側の内筒の端面に、熱
伝導率の高い材質のプレートを用い。
を具備したパッケージを取付ける側の内筒の端面に、熱
伝導率の高い材質のプレートを用い。
両者を熱歪の少ないロウ付をして、気密接合することK
より、7ランジ側から内筒を伝わってくる外部からの熱
侵入を少なくシ、かつクーラから赤外線検知素子への熱
伝達をよくして、さらに内筒の機械加工精度を維持した
ままで低温保持容器を真空維持できるようにした。
より、7ランジ側から内筒を伝わってくる外部からの熱
侵入を少なくシ、かつクーラから赤外線検知素子への熱
伝達をよくして、さらに内筒の機械加工精度を維持した
ままで低温保持容器を真空維持できるようにした。
第1図はこの発明による赤外線検知器の構成例を示す図
であり、第1図は第2図の一部詳細を示す図である。第
1図および第2図ではジュールトムソン冷却器、配管、
弁、ボンベ等この発明と直接係りのない部品は省略して
いる。
であり、第1図は第2図の一部詳細を示す図である。第
1図および第2図ではジュールトムソン冷却器、配管、
弁、ボンベ等この発明と直接係りのない部品は省略して
いる。
図において、(2)は内筒で金属を内筒状に成形したも
ので、一方の端面にはプレー) (2’)を介して赤外
線検知素子(6)を具備するパッケージ(7)が設けら
れており、もう一方の端面には入出力の気密端子醤がハ
ーメチックされた金属製のフランジ(4)が接合されて
いる。上記内筒(2)の外面には0.1〜0,4鴫のセ
ラミック磨aeがあり、金属線αOはこのセラミック層
aeに埋設されており、金属線どおしおよび内筒(2)
と電気的に絶縁状態で支持されている。
ので、一方の端面にはプレー) (2’)を介して赤外
線検知素子(6)を具備するパッケージ(7)が設けら
れており、もう一方の端面には入出力の気密端子醤がハ
ーメチックされた金属製のフランジ(4)が接合されて
いる。上記内筒(2)の外面には0.1〜0,4鴫のセ
ラミック磨aeがあり、金属線αOはこのセラミック層
aeに埋設されており、金属線どおしおよび内筒(2)
と電気的に絶縁状態で支持されている。
+33は外筒で金属(例えばステンレス)を内筒状に成
形したもので1片方の端面は上記フランジ(4)と接合
され、もう一方の端面には赤外線透過材料(例えばGe
)である円板状のウィンド(5)がガラス融着層側に
より固定されている。さらに、外筒(3)の内側は金属
蒸着膜α&が形成され、内筒(2)、パッケージ())
および赤外線検出素子(6)に外筒(3)からのふく射
熱が伝わりKくいようKなっている。上記フランジ(4
)は検出素子(6)からの信号を低温保持容器(11の
外部に取り出す必要性からガラスで絶縁された気密端子
a9を有している。
形したもので1片方の端面は上記フランジ(4)と接合
され、もう一方の端面には赤外線透過材料(例えばGe
)である円板状のウィンド(5)がガラス融着層側に
より固定されている。さらに、外筒(3)の内側は金属
蒸着膜α&が形成され、内筒(2)、パッケージ())
および赤外線検出素子(6)に外筒(3)からのふく射
熱が伝わりKくいようKなっている。上記フランジ(4
)は検出素子(6)からの信号を低温保持容器(11の
外部に取り出す必要性からガラスで絶縁された気密端子
a9を有している。
ところで、この低温保持容器(1)は外部からの熱侵入
をできるだけ少なくシ、かつジュールトムソン冷却器(
8)による冷却をできるだけ効率よく赤外線検出素子(
6)忙伝えてやる必要があるが、熱侵入のうちわけは、
第3図のようになっているから。
をできるだけ少なくシ、かつジュールトムソン冷却器(
8)による冷却をできるだけ効率よく赤外線検出素子(
6)忙伝えてやる必要があるが、熱侵入のうちわけは、
第3図のようになっているから。
この図かられかるように熱侵入を減らすには特にフラン
ジ(4)から内筒(2)への熱伝導による侵入を小さく
するのが効果的である。すなわち9内筒(2)はできる
だけ肉厚を薄クシ、またフィンチューブ+91が挿入さ
れるため、内面の表面あらさが少なく。
ジ(4)から内筒(2)への熱伝導による侵入を小さく
するのが効果的である。すなわち9内筒(2)はできる
だけ肉厚を薄クシ、またフィンチューブ+91が挿入さ
れるため、内面の表面あらさが少なく。
かつよい寸法精度を得られ、さらに熱伝導を小さくする
ために第4図かられかるようにチタン合金の材料を用い
るのが適切である。一方、ジュールトムソンクーラ(8
1によって赤外線検知素子(6)を冷却するため、プレ
ー) (2’)は熱伝達をよくする必要があり、第4図
かられかるように銅の材料を用いるのが適切である。ま
た、低温保持容器(11は断熱のために真空にする必要
があるが、異種金属とおしの内筒(2)とプレート(2
’)を接合時に生じる熱ひずみの小さいロー付を用いて
気密接合することにより、内筒(2)とプレー) (2
’)は機械加工したままの寸法精度を維持できるので、
冷却性能のよい低温保持容器を形成することができる。
ために第4図かられかるようにチタン合金の材料を用い
るのが適切である。一方、ジュールトムソンクーラ(8
1によって赤外線検知素子(6)を冷却するため、プレ
ー) (2’)は熱伝達をよくする必要があり、第4図
かられかるように銅の材料を用いるのが適切である。ま
た、低温保持容器(11は断熱のために真空にする必要
があるが、異種金属とおしの内筒(2)とプレート(2
’)を接合時に生じる熱ひずみの小さいロー付を用いて
気密接合することにより、内筒(2)とプレー) (2
’)は機械加工したままの寸法精度を維持できるので、
冷却性能のよい低温保持容器を形成することができる。
この発明による赤外線検知器は以上のような構成から成
るため1次のような利点がある。
るため1次のような利点がある。
ビ) 主要構造部材である内筒(2)、外筒13).フ
ランジ(4)が金属性であることから1機械的強度にす
ぐれ、厳しい耐振性、耐衝撃性が要求される場合(例え
ば、ミサイルや航空機に搭載される場合)でも、要求を
満足することができる。
ランジ(4)が金属性であることから1機械的強度にす
ぐれ、厳しい耐振性、耐衝撃性が要求される場合(例え
ば、ミサイルや航空機に搭載される場合)でも、要求を
満足することができる。
(−従来のガラス製の赤外線検知器に比較して。
プレス加工1機械加工が可能なので9寸法精度が容易に
得られ生産性が極めて良くなる。
得られ生産性が極めて良くなる。
e′4 内筒(21を例えばチタン合金にすれば1機
械加工により極薄にできることから、フランジ(4)方
向からの侵入熱を伝わりにククシ、一方、赤外線検知素
子の取りつくプレートが9例えば銅のように熱伝導膜の
高い材質であるため冷却熱を伝えやすい構造になってい
るので、極めて冷却効率か高く9機器の誤動作が少ない
。すなわち、性能および信頼性の高い赤外線検知器とす
ることができる。
械加工により極薄にできることから、フランジ(4)方
向からの侵入熱を伝わりにククシ、一方、赤外線検知素
子の取りつくプレートが9例えば銅のように熱伝導膜の
高い材質であるため冷却熱を伝えやすい構造になってい
るので、極めて冷却効率か高く9機器の誤動作が少ない
。すなわち、性能および信頼性の高い赤外線検知器とす
ることができる。
第1図はこの発明による赤外線検知器の実施例を示す断
面図、第2図は第1図のA部を詳細に説明した断面図、
従来の赤外線検知器の構成例な示す断面図、第3図は赤
外線検知素子へ入ってくる熱量の割合を示す図、第4図
は金属材料の熱伝導率を示す図、第5図は従来の赤外線
検知器を示ず断面図である。 図において、(l)は低温保持容器、(2)はチタン合
金製の内筒、 (2’)は銅製のプレート、(3)は
外筒。 (4)はフランジ、(5Iはウィンド、(6)は赤外線
検知素子、(7)はパッケージ、(8)はジュールトム
ソン冷却器、a4は金属線、住9は気密端子である。 なお9図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示しである。
面図、第2図は第1図のA部を詳細に説明した断面図、
従来の赤外線検知器の構成例な示す断面図、第3図は赤
外線検知素子へ入ってくる熱量の割合を示す図、第4図
は金属材料の熱伝導率を示す図、第5図は従来の赤外線
検知器を示ず断面図である。 図において、(l)は低温保持容器、(2)はチタン合
金製の内筒、 (2’)は銅製のプレート、(3)は
外筒。 (4)はフランジ、(5Iはウィンド、(6)は赤外線
検知素子、(7)はパッケージ、(8)はジュールトム
ソン冷却器、a4は金属線、住9は気密端子である。 なお9図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示しである。
Claims (3)
- (1)金属製の内筒と、上記内筒の一端面に熱伝導率の
高い材質のプレートを気密接合し、さらに上記プレート
に取りつけられたパッケージに固定された赤外線検知素
子と、上記内筒の他端面に設けられた金属製のフランジ
と、上記フランジの外周部を気密接合し、かつ上記内筒
を覆うように取りつけられた金属製の外筒と、上記外筒
の上記フランジと接合する端面と相対する端面に取りつ
けられた赤外線透過材料である平板上に形成したウイン
ドとを具備したことを特徴とする赤外線検知器。 - (2)金属性の内筒をチタン合金で形成したことを特徴
とする特許請求の範囲第(1)項記載の赤外線検知器。 - (3)プレートを銅で形成したことを特徴とする特許請
求の範囲第(1)項記載の赤外線検知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212468A JPS6367530A (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 赤外線検知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212468A JPS6367530A (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 赤外線検知器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367530A true JPS6367530A (ja) | 1988-03-26 |
Family
ID=16623143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61212468A Pending JPS6367530A (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 赤外線検知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6367530A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0604790A3 (de) * | 1992-12-30 | 1994-11-02 | Bodenseewerk Geraetetech | Sensoranordnung mit gekühltem Sensor. |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58186974A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-11-01 | Fujitsu Ltd | 冷却型光電変換装置 |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP61212468A patent/JPS6367530A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58186974A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-11-01 | Fujitsu Ltd | 冷却型光電変換装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0604790A3 (de) * | 1992-12-30 | 1994-11-02 | Bodenseewerk Geraetetech | Sensoranordnung mit gekühltem Sensor. |
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