JPS6371614A - 物体形状の測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、非接触式測距機を用いて物体形状を測定する
方法に関するものである。

従来の技術 第６図に示すようにＸ、Ｙ方向に移動する本体１に設け
た測定子２を物体３の表面に接触して物体３の表面まで
の距離を測定し、その測定値とＸ、Ｙ方向の位置データ
とによって物体形状を測定する方法が知られている。

ま九、第７図に示すようにレーザ変位計、　ＣＯＤカメ
ラ等を使用する非接触式測距機を用いて物体３の表面ま
での距離を測定することで、その測定値とＸ−Ｙ位置デ
ータとによって物体形状、は測定する方法が知られてい
る。

発明が解決しようとする問題点 前者の測定方法であると、第６図に示すように物体３０
表面における表面あらさのビーク高さくつまり、凸部〕
のバラツキを最大巾！ヨとしてバラツクと共に、ピーク
低さくつまり、凹部）のバラツキは全て測定できないの
で、測定子２による測定値はピーク高さのバラツキ幅だ
けバラツクので１表面あらさ１２に比較して極めて小さ
くなり、精度良く物体の形状を測定できるが、接触式で
あるからゴム製品などのように触れることができない物
体や、接触により傷を生じ易い物体の形状を測定できな
い。

これに対して後者の測定方法であれば非接触でらるから
どのような物体の形状でも測定できるが、その反面第７
図に示すように測定子４よりのレーザ光５が表面あらさ
のビーク高さ及びピーク低さをも測定するので測定値の
バラツキは表面あらさ４と同等となって非常に大きく、
測定精度が悪いものとなってしまう。

そこで、本発明は非接触測距機を用いて物体の形状を精
度良く測定できるようにした物体形状の測定方法を提供
することを目的とする。

問題点を解決するための手段及び作用 非接触式測距機の測定子１７を物体１８の表面に沿って
Ｘ、Ｙ方向に移動させてＸ、Ｙ方向の多数の測定値の距
離とＸ、Ｙ方向の移動データとによって物体形状を測定
する方法において、各測定位置において物体表面粗さを
測定しないよう単位面積当りの平均的な値を測定値とす
るようにしたものであり、これにより非接触測距機を用
いて物体の形状を精度良く測定できる。

実施例 非接触式測距機は第１図、第２図に示すように、左右一
対の支柱１０．１０間に横架しｆｃｔｉｃ１ガイド１１
に沿って第１移動体Ｉ２をＸ方向に移動自在に設け、こ
の第１移動体１２の第２ガイド１３に沿って第２移動体
１４をＹ方向に移動自在に設けると共沈、この第２移動
体１４に揺動体１５をビン１６で上下揺動自在に支承し
、揺動体１５に測定子１７を上下方向（Ｚ方向）に移動
自在に取着し次ものであり、測定子１７はレーザ光を発
して物体１８の表面までの距離を測定する従来公知のも
のである。

そして、第１、第２移動体１２．１４をＸ方向、Ｙ方向
に移動して第３図に示すように物体］８の表面のＸ方向
及びＹ方向に多数区分し次側定位置１８′毎に測定子１
７を移動させ、各測定値ｉｔ　Ｉ　８’毎にＸ方向、Ｙ
方向における台数のＸ方向測定点１３’ｘ、　Ｙ方向測
定点１８′ｙ　　の物体表面までの距離Ｊ、を測定子１
７で測定し、その値を第５図に示すようにコンピュータ
１９に入力して測定位置１８′の平均値とｘ、ｙ、ｚの
位置データとによって物体形状を測定する。

具体的には測定子１７を１つの測定位置１８′に移動し
てＸ方向及びＹ方向に一１〜１ｍの範囲でα２ｖｍ間隔
で移動して表−１のように各点の距Ｍを測定し、これを
表−２のように小さい順に並べて平均値を算出してその
測定位置１８′の測定値とする。

または、乱数発生装置によってα２毎の乱数を用いてラ
ンダムの位置に測定子１７を移動して表−３のように各
点の距離を測定し、これを表−４のように小さい順に並
べて最高値からＮ番目の値（中央値）を測定値とする。

つまり、各点の測定値を簡単な統計処理をして１つの測
定値とする。

表　　−１（Ｉ） ｘｙ　　　測定値（Ｗ）　　　　Ｘ　　　　　Ｙ　　　
測定値（−）−１，０１，０２５，３１０６＋、８　　
　０．１１！　　２５．３０８５−０．８　　　１，０
　２５．３＋２３　　　−１．０　　　０．６　２５．
３０９８−０．６　　　１，０　　２５．３１２４　　
　−０．８　　　０，６　２５．３０７６−０．４　　
　１．０　２５．３０９４　　　−０．６　　　０，６
　２５．３１２５−０．２　　　１，０　２５．３＋１
７　　　−０．４　　　０，６　２５．３０９６０．０
　　　　＋、０　２５．３１１８　　　−０．２　　　
０，６　　２５．３０８３０．２　　　１．０　２５．
３＋１５　　　　０．０　　　０．６　２５．３１２３
０．４　　　１，０　　２５．３＋２１　　　　０．２
　　　０゜６　　２５．３１２４０．６　　　１．０　
　２５．３０９３　　　　０．４　　　０．６　　２５
．３０８５０．８　　　１，０　２５．３０８２　　　
　０．６　　　０，６　２５．３０７７１．０　　　　
＋、０　　２５．３０８＋　　　　　０．８　　　０，
６　２５．３１１１−１．０　　　０．８　　２５．３
０７８　　　　　＋、０　　　０．６　　２５．３０’
？４−０．８　　　０．８　　２５．３１０５　　　−
１．０　　　０．４　　２５．３０７６−０．６　　　
０．８　　２５．３０８８　　　−０．８　　　０，４
　　２５．３１０２−０．４　　　０，８　　２５．３
０’？４　　　−ｏ、る　　　０．４　　２５．３１１
０−０．２　　　０，８　　２５．３０８７　　　−０
．４　　　０，４　２５．３０８００．０　　　０．８
　　２５．３１００　　　−０．２　　　０，４　　２
５．３１１４０．２　　　０，８　　２５．３０８＋　
　　　　　０．０　　　０．４　　２５．３０８＋０．
４　　　０．８　　２５．３＋００　　　　０．２　　
　０，４　　２５．３＋１７０．６　　　０．８　　２
５．３０９６　　　　０．４　　　０．４　　２５．３
０ｇ１０、Ｓ　　　　Ｏ，８２５，３０’？９　　　　
０．６　　　　０，４　　２５．３１２２表　　−１（
２） ｘ　　　Ｙ　　測定値（ｗ）　　　　Ｘ　　　　　Ｙ　
　測定値（−）０．８　　０，４　２５．３０ｇ４　　
　０．８　　０．０　２５．３１０６＋、０　　０．４
　２５．３０８０　　　　＋、０　　０．０　２５．３
０７δ−１，００，２２５，３１１８−１，０−０，２
２５，３１０５−０，８０，２２５，３１２１−０，８
−０，２２５，３１２４−０，６０，２２５，３１１０
−０，６−０，２２５，３１１８−０，４０，２２５，
３０９６−０，４−０，２２５，３１１０−０，２０，
２２５，３１１２−０，２−０，２２５，３１２１０，
００，２２５，３１０８０，０−０，２２５，３０８８
０，２０，２２５，３１０３０，２−０，２２５，３０
９３０・４　　０，２　２５．３０８６　　　　０．４
　　−０．２　２５．３０８６０・６０・２　２５．３
０８６　　　　０．６　　−０．２　２５．３１１２０
．８　　０，２　２５．３０８Ｉ　　　　　Ｏ，８−０
，２２５，３１０８１，００，２２５，３０８８１，０
−０，２２５，３１０５−１，００，０２５，３０９６
−１，０−０，４２５，３０７９−０，８０，０２５，
３０ｇ７　　　−０．８　　−０．４　２５．３１００
−〇・６　　０，０　２５．３＋１０　　−０・６　　
−０．４　２５．３０７９−０．４　　０．０　２５．
３＋１０　　−０．４　　−０．４　２５．３０９９−
０．２　　０．０　２５．３０７５　　−０．２　　−
０．４　２５．３１１００．０　　０．０　２５．３０
８６　　　　　Ｑ、Ｏ−０，４２５，３０８＋０．２　
　０．０　２５．３１１９　　　０．２　　−０．４　
２５．３＋０００．４　　０，０　２５．３０９２　　
　０．４　　−０．４　２５．３０９９０．６０゜Ｏ２
５，３０９４０，６−０，４２５，３１０２表　　−１
（３］ ｘｙ　　測定値（鵡）　　　χ　　　Ｙ　　測定値（鰭
）０．８　−０．４　２５．３０７９　　　０．８　−
０．８　２５．３０９２１．０　−０．４　２５．３０
９２　　　１．０　−０．８　２５．３０８７−１．０
　−０．６　２５．３０９９　　−１．０　−１．０　
２５．３０９０−０．８　−０．６　２５．３１００　
　　−０．８　　−１．０　２５．３０８７−〇、６　
−０．６　２５．３０８Ｓ　　　　−０，６−１，０２
５，３＋１１−０．４　−０．６　２５．３１０２　　
　−０．４　　−１．０　２５．３０８７−０．２　−
０．６　　２５．３１２３　　　−０．２　　−１．０
　２５．３０８４０．０　−０．６　２５．３１０２　
　　　０．０　　−１．０　２５．３１１４０．２　−
０．６　２５．３１０７　　　　０．２　　−１．０　
２５．３０８５０．４　　−０．６　　２５．３０７７
　　　　０．４　　−１．０　２５．３１２２０．６　
　−０．６　　２５．３１１ｇ　　　　　０．６　　−
１．０　２５．３１１８０．８　−０．６　　２５．３
０８０　　　　０．８　　−１．０　２５．３１１２１
．０　−０．６　　２５．３１０８　　　　１．０　　
−１．０　２５．３＋１１−１．０　　−０．８　　２
５．３０８’？−０，８−０，８２５，３０７９ −〇、６　　−０．８　　２５．３０８＋−０，４−０
，８２５，３１１１ −０，２−０，８２５，３０８４ ０，０−０，８２５，３１０５ ０，２−０，８２５，３０７６ Ｑ、４　−０．８　２５．３０９０ ０．６　　−０．８　　２５．３０８４表　　−２（１
〕 ＮＯ（ｍ）　　　　ＮＯ（＋ｗ）　　　　　ＮＯ（ｗｍ
）１　２５．３０７５　　　２３　２５．３０８２　　
　４５　２５・３０８９２　２５．３０７６　　　２４
　２５．３０８３　　　４６　２５・３０９０３　２５
．３０７６　　　２５　２５．３０８４　　　４７　２
５．３０９０４　２５．３０７６　　　２６　２５．３
０８４　　　４８　２５．３０９２５　２５．３０７７
　　　２７　２５．３０８４　　　４９　２５．３０９
２６　２５．３０７７　　　２８　２５．３０８４　　
　５０　２５．３０９２７　２５．３０７８　　　２９
　２５．３０８５　　　５１　　２５．３０９３８　２
５．３０７Ｂ　　　　３０　２５．３０８５　　　５２
　２５．３０９３９　２５．３０７９　　　３１　　２
５．３０８５　　　５３　２５．３０９４１０　２５．
３０７９　　　３２　２５．３０８６　　　５４　２５
．３０９４ＩＩ　　　２５．３０７９　　　３３　２５
．３０８６　　　５５　２５．３０９４１２　２５．３
０７９　　　３４　２５．３０８６　　　５６　２５．
３０９４１３　２５．３０８０　　　３５　２５．３０
ｇ６　　　５７　２５．３０９６１４　２５．３０８０
　　　３６　２５．３０８７　　　５８　２５．３０’
？６１５　２５．３０１１！０　　　３７　　２５．３
０８７　　　　５９　２５．３０９６１６　２５．３０
８１　　　３８　２５．３０８７　　　６０　２５．３
０９６１７　２５．３０８＋　　　　３９　２５．３０
８７　　　６１　　２５．３０９８Ｉ８　２５．３０８
１　　　４０　２５．３０Ｂ７　　　６２　２５．３０
９９１９　２５．３０８１　　　４１　　２５．３０８
８　　　６３　２５．３０９９２０　２５．３０８１　
　　４２　２５．３０８８　　　６４　２５．３０’？
９２１　　２５．３０８＋　　　　４３　２５．３０８
８　　　６５　２５．３０９９表　　−２（２） ＮＯ（ｍ）　　　　Ｎｏ　　　（ｍ）　　　　Ｎｏ　　
　（ｍ）６７　２５．３１００　　　９０　２５．３１
１０　　　１１３　２５．３１２２６８　２５．３１０
０　　　９１　２５．３１１０　　　１１４　２５．３
１２２６９　２５．３１００　　　９２　２５．３１１
１　　　１１５　２５．３１２３７０　２５．３１００
　　　９３　２５−３１１１　　　１１６　２５．３１
２３７１　　２５．３１０２　　　９４　２５．３１１
１　　　１１７　２５．３１２３７２　２５．３１０２
　　　９５　２５．３１１１　　　　ＩＩｇ　　２５．
３１２４７３　２５．３１０２　　　９６　２５．３１
１２　　　１１９　２５．３１２４７４　２５．３１０
２　　　９７　２５．３１１２　　　１２０　２５．３
１２４７５　２５．３１０３　　　９８　２５．３１１
２　　　１２１　　２５．３１２５７６　　２５．３１
０５　　　９９　　２５．３１１４７７　２５．３１０
５　　　１００　２５．３１１４７８　２５．３１０５
　　　１０１　　２５．３１１５７９　　２５．３１０
．５　　　１０２　　２５．３１１７８０　　２５．３
１０６　　　１０３　　２５．３１１７８１　　２５．
３１０６　　　１０４　　２５．３１１８８２　　２５
．３１０７　　　１０５　　２５．３１１８８３　　２
５．３１０８　　１０６　　２５．３１１８８４　　２
５．３１０８　　　１０７　　２５．３１１８８５　　
２５．３１０８　　　１０８　　２５．３１１８８６　
　２５．３１１０　　　１０９　　２５．３１１？８７
　　２５．３１１０　　　１１０　　２５．３１２１Ｈ
２５，３＋１０　　　１１１　　２５．３１２１表　　
−３（ｊ） ｘｙ　　　測定値（醇）　　　　ｘｙ　　　測定値（ｍ
）０．２　　０，９　　２５．３１２４　　　　０．２
　　１，０　　２５．３１１８−０．２　　０，７　　
２５．．３１１ｇ　　　　　Ｏ，４０，８２５，３０ε
８０．６　　０．Ｅ　　　２５．３０９３　　　−０．
３　−０．５　　２５．３１１２−０．７　　−０．８
　　２５．３０７ｇ　　　　　０．３−０．２　　２５
゜３０７９０．２　　−０．５　　２５．３０９４　　
　−０．０　−０．８　　２５．３０９９−０．５　　
−０．０　　２５．３０８１　　　　　０．４−０．７
　　２５．３１０００．０　　−０．２　　２５．３０
９９　　　−０．１　　０．１　　２５．３０７９−０
．６　　−０．１　　　２５．３０７６　　　　−０．
３　−０．０　　２５．３１００１．０　　−０．２　
　２５．３０８３　　　　−０．５　　０，１　　２５
．３１２３０．９　　　１．Ｑ　　　２５．３０Ｂ５　
　　　０．＋　　　０．３　　２５．３０７７−０．９
　　０，４　　２５．３０’？４　　　　０．７　　０
．ｇ　　　２５．３＋０８−１．０　　０．１　　２５
．３１１０　　　　０．５　　０．８　　２５．３０８
１−０４　　０．６　　２５．３０８＋　　　　　０．
４　　０，６　　２５．３１０５０．７　−０．８　　
２５．３１２２　　　−１．０　　０．４　　２５．３
０８４−０．６　　−０．８　　　２５．３１１９　　
　　−０．３　　０，５　　２５．３０９００．８０，
４　　２５．３０９６　　　−０．５　　０．４　　２
５．３０８７０．５　　　０，３　　　２５．３１０３
　　　　−０．７　　０．６　　２５．３０８５−〇。

６　　−０．５　　２５．３０８Ｉ　　　　　Ｏ，’？
　　　０．７　　２５．３１１２−０．５　　−０．１
　　　２５．３０ｇ７　　　　０．４０．６　　２５．
３ｔ１５０．４　　　０，４　　２５．３０７５　　　
　０．１　　０．４　　２５．３１１０−０．５　　　
０．８　　２５．３０９２　　　　０．９　　０，４　
　２５．３０１！００．２　　　０．２　　２５．３０
７８　　　　−０．７　　０，４　　２５．３１０３表
　　−３（２） Ｘ’　　　　Ｙ　　　ｍＯ定値ｃｔｒｍ）　　　　Ｘ　
　　　Ｙ　　　狽ＩＫＪｉＭ、（ｍ）−０，３０，０２
５，３＋０１　　　−０．８　　０，７　　２５．３０
８９０．２　　０．７　　２５．３０９０　　　−０．
３　　０．８　　２５．３１１：１０．７　−０．６　
　２５．３０７９　　　　０．０　　０．４　　２５．
３＋０９０．８　　０，２　　２５．３０’？５　　　
　０．４　　０．８　　２５．３１１５０．９　　０，
５　　２５．３０８６　　　　０．６　　０・２　　２
５．３１１９０．１　　０．９　　２５．３１１７　　
　−０．８−０・６　　２５．３０９６０゜３　　０，
３　　２５．３１２２　　　　０．８−０・８　　２５
．３１２００・Ｉ　　　Ｏ，７２５，３０８０−０，８
−０，３２５，３１０６０，９０，７２５，３０８７０
，６−０−８２５，３１１２−０，３−０，４２５，３
０８３０，３０，６２５，３１１７０・５０・７　　２
５．３０７７　　　−０．１　−０．６　　２５．３０
９３−０．２　　０．６　　２５．３０９９　　　　０
．５−０・０　２５・３０７９０．１　−０．９　　２
５．３０９３　　　−０．２　−０．５　．２５．３０
８６０．５　−０．４　　２５．３０７７　　　　０．
６−０・２　２５・３０９０−０．３　　０．１　　２
５．３１０９　　　　０．２　　０・６　２５・３０９
０−０．４　　０，５　　２５．３１１６　　　　０．
７　　０・＋　　　２５．３１００−０．７　−０．５
　　２５．３０９７　　　　１．０−０・４　２５・３
１０４−０．９　−０．７　　２５．３１１６　　　　
０．７　　０・８　２５・３１０６０．８　　０，２　
　２５．３０８２　　　　０．１−０．５　　２５．３
０７８＋、０　　０．０　　２５．３＋２４　　　−０
．５　　０．９　　２５．３０ｇ４０．１　　−０．７
　　２５．３１１３　　　　０．６　　０．２　　２５
．３０８４０．２　　０，５　　２５．３１１５　　　
−０．９　　０・２　　２５．３０８１表　　−３（３
） ｘＹ１１１Ｊ定値（ｍ）　　　　　Ｘ　　　　Ｙ　　Ｂ
４１’５１値Ｃｍ）０゛４　−Ｑ・３　　２５．３＋２
２　　　０．９　　０．５　２５．３０９０−〇・５　
−０．２　　２５．３０９７　　　−０．７　　−０．
６　２５．３０８３０．４　−０．１　　２５．３１１
５　　　−０．７　　０．５　２５．３１１５−〇・４
　　０．６　　２５．３＋０５　　　０．＋　　　０．
３　２５．３１０４−０．４　−０．３　　２５．３０
８８　　　０．５　　−０．２　２５．３１０＆−０−
６−０，４２５，３＋０４　　　０．＋　　　０．９　
２５．３１０４０・９　　０．２　　２５．３１１３　
　　０．３　　０．１　２５・３０９００・７　　０，
６　　２５．３０９３　　　−０．９　　−１．０　２
５・３０８１０．３　　０，３　　２５．３０９１　　
　−０．４　　−０．４　２５．３１１２−〇・３　−
０．３　　２５．３０９６　　　−０．７　　０．７　
２５・３０８５−〇・２　−０．０　　２５．３＋１９
　　　−０．５　　−０．９　２５．３０９６０・ｌ　
　　−０，１２５゜３１１２ ０・２　　　０．１　　　２５．３１２２−〇・９　　
　１．０　　２５．３０８９０・６　　　０．７’　　
　２５．３１２３０・５　　−０．０　　２５．３＋０
２０・９　　　０，６　　２５．３１２２−Ｏｉ　　　
Ｏ，９２５，３１２４ ０・ｌ　　　−Ｑ、＋　　　２５゜３ｏ９２−〇・７　
　０，６　　２５．３０７９０・ｌ　　　　０．６　　
２５．３０１５１−〇・３−０．９　　２５．３０９０ 表　　−４（１） ＮＯ（ｍ）　　　　ＮＯ（ｍ）　　　　ＮＯ（ｍ）１　
　２５．３０７５　　２３　２５．３０８２　　　４５
　２５．３０９０２　２５．３０７６　　２４　２５．
３０８３　　４６　２５．３０’７０３　２５．３０７
７　　２５　２５．３０Ｂ３　　　４７　２５．３０９
０４　２５．３０７７　　２６　２５．３０８３　　　
４Ｂ　　２５．３０９０５　２５．３０７７　　２７　
２５．３０８４　　　４９　２５．３０９＋６　２５．
３０７８　　２８　２５．３０８４　　　５０　２５．
３０９２７　２５．３０７８　　２９　２５．３０８４
　　５１　２５．３０９２８　２５．３０７８　　３０
　２５．３０８５　　　５２　２５．３０９３９　２５
．３０７９　　３１　　２５．３０８５　　　５３　２
５．３０９３１０　２５．３０７９　　３２　２５，３
０８５　　　５４　２５．３０９３ＩＩ　　　２５．３
０７９　　３３　２５．３０８６　　　５５　２５．３
０９３１２　２５．３０７９　　３４　２５．３０８６
　　　５６　２５．３０９４＋３　２５．３０７９　　
３５　２５．３０８７　　　５７　２５．３０９４１４
　２５．３０８０　　３６　２５．３０８７　　　５８
　２５．３０９５１５　２５．３０８０　　３７　２５
．３０８７　　　５９　２５．３０９６１６　２５．３
０８１　　　３８　２５．３０８８　　　６０　２５．
３０９６１７　２５．３０８１　　　３９　２５．３０
ｇ８　　　６１　　２５．３０９６１８　２５．３０８
１　　　４０　２５．３０８９　　　６２　２５．３０
９６１９　２５．３０８１　　　４１　　２５．３０８
９　　　６３　２５．３０９７２０　２５．３０８＋　
　　　４２　２５．３０９０　　　６４　２５゜３０９
７２１　　２５．３０８１　　　４３　２５．３０９０
　　　６５　２５．３０９９２２　２５．３０８１　　
４４　２５．３０９０　　　６６　２５．３０９９表　
　−４（２ン ＮＯ（ｗｌ）　　　　ＮＯ（ｍ）　　　　ＮＯ（ｍ）６
７２５．３０９９　　　　８９　２５．３１１２　　　
１１＋　　２５．３１２０６８　２５．３１００　　　
　９０　２５．３１１２　　　１１２　２５．３１２２
６９　２５．３１００　　　　９１　　２５．３１１２
　　　１１３　２５．３１２２７０　２５．３１００　
　　　９２　２５．３１１２　　　１１４　２５．３１
２２７１　　２５．３１０１　　　　９３　２５．３１
１２　　　１１５　２５．３１２２７２　２５．３１０
２　　　　９４　２５．３＋１３　　　１１６　２５．
３１２２７３　２５．３１０３　　　　９５　２５．３
１１３　　　１１７　２５．３１２３７４　２５．３１
０３　　　　９６　２５．３１１３　　　１１８　２５
．３１２３７５　２５．３１０４　　　　９７　　２５
．３１１５　　　　１１９　　２５．３１２４７６　２
５．３１０４　　　　９８　２５．３１１５　　　　１
２０　　２５．３１２４７７　２５．３１０４　　　　
９９　２５．３１１５　　　　１２１　　２５．３１２
４７８　２５．３１０４　　　　　ｔｏｏ　　２５．３
＋１５７９　　２５．３１０５　　　　１０１　　２５
．３１１５ｇｏ　　　２５．３１０５　　　　１０２　
２５．３１１６ｇ＋　　　２５．３＋０６　　　　１０
３　２５．３＋１６８２　　２５．３１０６　　　　１
０４　　２５．３１１７８３　　２５．３１０８　　　
　１０５　　２５．３１１７８４　　２５．３１０１５
　　　　１０６　　２５．３１１８８５　　２５．３１
０８　　　　１０７　　２５．３１１８８６　　２５．
３１０９　　　　１０１５　　２５．３１１１５８７　
　２５．３１１０　　　　１０９　　２５．３１１９８
８　　２５．３１１０　　　　１１０　　２５．３１１
９なお、測定子１７によって測定する際には、測定子１
７を物体１８０表面と直メさせる必要があるが、第１図
、第２図に示す非接触式測距機においては第３移動体１
５がビン１６を中心として上下に揺動するので、物体１
８の表面角度に応じて第３移動体１５を上下揺動するこ
とで測定子１７を物体１８の表面と直交させることがで
きる。

発明の効果 非接触式測距機を用いて物体の形状を精度良く測定でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明に係る非接触式測距機の正面図
、■−■線断面図、第３図、第４図、第５図は測定説明
図、第６図、第７図は従来例の説明図である。 １７は測定子、１８は物体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非接触式測距機の測定子１７を物体１８の表面に沿つて
   Ｘ、Ｙ方向に移動させてＸ、Ｙ方向の多数の測定位置の
   距離とＸ、Ｙ方向移動データとによつて物体形状を測定
   する方法において、各測定位置において物体表面粗さを
   測定しないよう単位面積当りの平均的な値を測定値とす
   るようにしたことを特徴とする物体形状の測定方法。