JPS6372984A

JPS6372984A - 流体制御器

Info

Publication number: JPS6372984A
Application number: JP21473586A
Authority: JP
Inventors: Ryutaro Nishimura; 龍太郎西村
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1986-09-11
Filing date: 1986-09-11
Publication date: 1988-04-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、例えば化学装置や機械装置等の流体管路に使
用される流体制御器に係り、とりわけ、ダイヤフラムを
シールとして用いたものの改良に関する。

（従来の技術）従来、この種の流体制御器μしては、例えば第２図に示
したものが知られている。

当該流体制御器１００は、基本的には、凹室１０１とこ
れに臨むシート１０２が夫々形成されたボディ１０３と
、凹室１０１を塞ぐべくその外周がボディ１０３に取付
けられたダイヤフラム１０４と、凹室１０１内に設けら
れてシート１０２に当座し得るディスク１０５と、ディ
スク１０５をシート１０２から離座させると共にダイヤ
フラム１０４の中程に当合させるべく付勢するリターン
スプリング１０６と、ダイヤフラム１０４の外部に設け
られてこれの中程・をシート１０２側へ押動し得る押動
機構１０７とから構成されている。

ところが、この様なものは、ダイヤフラム１０４に依り
閉塞された凹室１０１内には、ディスク、１０５の他に
リターンスプリング１０６が設けられていたので、その
分だけ凹室１０１が大きくなると共に、流体の流れが悪
く、然もディスク１０５とリターンスプリング１０６と
が擦れ合って粉塵等のごみが凹室１０１内で発生すると
いう難点があった。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は、叙上の問題点に鑑み、これを解消する為に創
案されたもので、その目的とする処は、ボディの凹室を
小さくすると共に、流体の流れを良くシ、然も凹室内で
のごみの発生を防止する様にした流体制御器を提供する
にある。

（問題点を解決するための手段）本発明の流体制御器は、凹室とこれに臨むシートが夫々
形成されたボディと、凹室を塞ぐべくその外周がボディ
に取付けられたダイヤフラムと、凹室内に設けられてシ
ートに当座し得るディスクと、ダイヤフラムの外部に設
けられてこれの中程をシート側へ押動し得る押動機構と
から成り、前記ディスクをダイヤフラムの中程に接着し
た事に特徴が存する。

（作　　用）押動機構に依りダイヤフラムの中程をシート側へ押動し
て行くと、ダイヤフラムの中程とここに接着したディス
クは、ダイヤフラムの弾性とシート側からの流体の圧力
に抗して内部側へ変位するので、ディスクがシートに当
座して行く。

逆ζこ、押動機構に依るダイヤフラムの中程の押動を解
除して行くと、ダイヤフラムの中程とここに接着したデ
ィスクは、ダイヤフラムの弾性とシート側からの流体の
圧力に依り外部側へ変位するので、ディスクがシートか
ら離座して行く。

（実　雄側）゛以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明の実施例に係る流体制御器を示す縦断
面図である。

流体制御器１は、ボディ２、ダイヤフラム３、ディスク
４、押動機構５とからその主要部が構成されている。

ボディ２は、凹室６とこれに臨むシート７が夫々形成さ
れたものである。

この例では、略十字状を呈して居り、左側には入口８が
、右側には出口９が、上側内部には上方が開放した凹室
６が夫々形成されていると共に、入口８と凹室６の底部
中程とは流入路１０で、凹室６の底部右側と出口９とは
流出路１１で夫々連通され、流入路１０の凹室６に臨む
箇所つまり凹室６の底部中程には上向きのシート７が形
成されている。

而して、ボディ２の上側内部には段部１２が形成されて
いると共に、上側外部、左側外部、右側外部には夫々雄
螺子が形成されている。

ダイヤフラム３は、凹室６を塞ぐべくその外周がボディ
２に取付けられたものである。

この例では、環状鏡板型を呈して居り、インコネル７１
８と呼ばれる金属で作製された厚さ略０．１８ｍのもの
を三枚重合させた仕切板１３と、これの中心孔に設けら
れてインコネル６００と呼ばれる金属で作製されたボス
１４とから成り、これらは溶接に依って取付けられてい
る。

インコネルと呼ばれる金属は、溶接しても爾゛後硬化し
ない特性を備えて居り、この為、とりわけ仕切板１３の
可撓性が損なわれる事かない。

而して、ダイヤフラム３は、文面が上になる様にボディ
２の段部１２に収められ、この上に嵌入されるボンネッ
ト１５に依りその外周が気密状態で挾持される。

ボンネット１５は、外側に雄螺子を備えていると共に、
ボディ２の上側外部に形成した雄螺子に適合する雌螺子
を備えたボンネットナツト１６に依リボディ２の上部に
取付けられる。

ディスク４は、凹室６内に設けられてシート７に当座し
得るものである。

この例では、段付棒状を呈して居り、大径部分の下側に
はパツキン収容腔１７が一小径部分の上半には雄螺子が
夫々形成され、パツキン収容腔１７にはディスクパツキ
ン１８が収嵌しである。

而して、ディスク４は、ダイヤフラム３と溶接可能な金
属にて作製され、小径部分をダイヤフラム３のボス１４
に下から挿通して大径部分とボス１４とを当合させた後
、この当合箇所を溶接する事に依り気密状態に接着され
る。

押動機構５は、ダイヤフラム３の外部に設けられてこれ
の中程をシート７側へ押動し得るものである。

この例では、ダイヤフラムブツシャ１９、ステム２０、
ハンドル２１等から成っている。

ダイヤフラムブツシャ１９は、段付筒状を呈して居り、
内部上半には雌螺子が、小径部分の外部には雄螺子が夫
々形成されている。

而して、ダイヤフラムブツシャ１９は、その雌螺子をデ
ィスク４の雄螺子に螺合させる事に依りこれらの間にダ
イヤフラム３の中程を挾持すると共に、その大径部分が
ボンネット１５の内部下半に昇降摺動可能に支持されて
いる。

ステム２０は、段付棒状を呈して居り、大径部分はボン
ネット１５の内部に位置していると共に、小径部分はボ
ンネット１５を貫通して玉突し、大径部分の内部には雌
螺子が、小径部分の上側には廻止部と雄螺子が夫々形成
されている。

而して、ステム２０は、その雌螺子がダイヤフラムブツ
シャ１９の雄螺子に螺合されると共に、ステム２０の大
径部分とボンネット１５の土壁部分との間にはスラスト
ベアリング２２が、ステム２０の小径部分とボンネット
１５の土壁部分との間にはパツキン２３が夫々介設され
ている。

ハンドル２１は、略円盤状を呈して居り、中心には上か
ら落込孔と廻止孔とが形成しである。

而して、ハンドル２１は、その廻止孔がステム２０の廻
止部に嵌合された後、ステム２０の雄螺子にワッシャ２
４を挿入して袋ナツト２５を螺合させる事に依りステム
２０に取付けられている。

尚、第１図に於て、２６は取付ナツト、２７は開度計を
示している。

次に、この様な構成に基づいて作用を述解する。

第１図は、全開状態を示して居り、入口８からの流体は
、流入路１０→凹室６→流出路１１→出口９に通流する
。

この時、ダイヤフラム３の中程とディスク４は、流体の
圧力、ダイヤフラム３の弾性、ダイヤフラムブツシャ１
９がステム２０にて螺昇している事に依り上方に変位し
ている。

この様な状態から、ハンドル２１を回動すると、ステム
２０も回動し、ダイヤフラムブツシャ１９が螺降する。

ダイヤフラムブツシャ１９が螺降すると一ダイヤフラム
３の中程とディスク４が降下してディスクパツキン１８
がシート７に接近し、遂には当座する。

従って、入口８から出口９に至る流体は、その途中で流
量が漸減されると共に、最後には基土されて全開状態に
なる。

逆に、全閉状態から、ハンドル２１を逆回動させると、
前述とは逆の動作を行なって第１図に示す全開状態に至
る。

本実施例では、ダイヤフラム３の外周がボデれていると
共に、その中程はディスク４が貫通しであるものの溶接
に依り気密状態で接着されているので、凹室６に達した
流体が外部に漏洩する事がない。

ディスク４は、ダイヤフラム３の中程に接着されている
ので、これらが一体的に作動する。

尚、ダイヤフラム３は、先の実施例では、三枚のものを
重合させたが、これに限らず、例えば単一にしたり、或
は二枚や四枚以上のものを重合させても良い。

ダイヤフラム３は、先の実施例では、環状鏡板型であっ
たが、これに限らず、例えば中心孔のない鏡板状でも良
い。この場合、ディスク４は、ダイヤフラム３の中程下
面に接着すると共に、ダイヤフラムブツシャ１９は、ダ
イヤフラム３の中程上面に接着或は単に当合させて置く
。

、ダイヤフラム３とディスク４は、先の実施例では、溶
接したが、これに限らず、例えば接着剤で接着しても良
い。

ムプッシャ１９、ステム２０、ハンドル２１等で構成し
たが、これに限らず、例えば流体圧シリンダやソレノイ
ド等でも良い。

（発明の効果）以上既述した如く、本発明に依れば、次の様な優れた効
果を奏する事ができる。

（１）　　ボディ、ダイヤフラム、ディスク、押動機構
とで構成し、とりわけディスクをダイヤフラムの中程に
接着したので、従来必要であったリターンスプリングを
省略できる″。

（２）　　リターンスプリングを省略したので、ボディ
の凹室を小さくできると共に、流体の流れが良くなり、
然も凹室内でのごみの発生を防止できる。

（３）　　リターンスプリングを省略したので、それだ
け部品点数が少なくて済み、コストの低減を図る事がで
きる。

（４）凹室内でのごみの発生がないので、取扱流体を汚
染する事がなく、半導体やバイオ関係に良好に使用でき
る。

（５）　　ディスクをダイヤフラムの中程に接着したの
で、これらが一体化されて堅牢になると共に、押動機構
の動作がディスクに的確且つ迅速に伝達され、開閉が確
実に行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例に係る流体制御器を示す縦断
面図。第２図は、従来の流体制御器を示す同様図である。１・・・・・・流体制御器２・・・・・・ボディ３・・・・・・ダイヤフラム４・・・・・・ディスク５・・・・・・押動機構他１名第７図＠２図

Claims

【特許請求の範囲】

凹室とこれに臨むシートが夫々形成されたボディと、凹
室を塞ぐべくその外周がボディに取付けられたダイヤフ
ラムと、凹室内に設けられてシートに当座し得るディス
クと、ダイヤフラムの外部に設けられてこれの中程をシ
ート側へ押動し得る押動機構とから成り、前記ディスク
をダイヤフラムの中程に接着した事を特徴とする流体制
御器。