JPS6373352U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6373352U JPS6373352U JP16515286U JP16515286U JPS6373352U JP S6373352 U JPS6373352 U JP S6373352U JP 16515286 U JP16515286 U JP 16515286U JP 16515286 U JP16515286 U JP 16515286U JP S6373352 U JPS6373352 U JP S6373352U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- shutter
- substrate
- cuts
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る膜形成装
置を示す概略図である。第２図は、第１図の装置
における制御の一例を示すタイムチヤートである
。第３図は、従来の膜形成装置の一例を示す概略
図である。 ４…イオン源、６…イオンビーム、８…蒸発源
、１０…蒸発物、１６…基板、１８…膜厚モニタ
、２０…蒸発源シヤツター、２１…膜厚モニタシ
ヤツター、２２…基板シヤツター、２４〜２６…
駆動装置、３２…制御装置。
置を示す概略図である。第２図は、第１図の装置
における制御の一例を示すタイムチヤートである
。第３図は、従来の膜形成装置の一例を示す概略
図である。 ４…イオン源、６…イオンビーム、８…蒸発源
、１０…蒸発物、１６…基板、１８…膜厚モニタ
、２０…蒸発源シヤツター、２１…膜厚モニタシ
ヤツター、２２…基板シヤツター、２４〜２６…
駆動装置、３２…制御装置。
Claims (1)
- イオンビーム照射と真空蒸着の併用によつて真
空中で基板上に膜を形成する装置であつて、真空
蒸着用の蒸発源から出る蒸発物を断続するシヤツ
ターと、蒸着速度制御用の膜厚モニタに入射する
蒸発物を断続するシヤツターと、基板に入射する
イオンビームおよび蒸発物を断続するシヤツター
とを有するものにおいて、前記各シヤツターをそ
れぞれ予め定められた所定のタイミングで自動的
に少なくとも開かせることができる制御手段を備
えることを特徴とする膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16515286U JPS6373352U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16515286U JPS6373352U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373352U true JPS6373352U (ja) | 1988-05-16 |
Family
ID=31094922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16515286U Pending JPS6373352U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373352U (ja) |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP16515286U patent/JPS6373352U/ja active Pending
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