JPS6373654A - リ−ドフレ−ムの製造方法 - Google Patents
リ−ドフレ−ムの製造方法Info
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- JPS6373654A JPS6373654A JP21836586A JP21836586A JPS6373654A JP S6373654 A JPS6373654 A JP S6373654A JP 21836586 A JP21836586 A JP 21836586A JP 21836586 A JP21836586 A JP 21836586A JP S6373654 A JPS6373654 A JP S6373654A
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Landscapes
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積回路装置に用いられるリードフレー
ムの製造方法に関する。
ムの製造方法に関する。
一般に、リードフレームはワイヤポンディング部にＡｕ
等の貴金属又はＡ４等を被覆して使用されるが、半導体
集積回路装置の小型化、低価格化の動向からスポット状
にＡｌ被覆を施したリードフレームが専ら使用されつつ
ある。
等の貴金属又はＡ４等を被覆して使用されるが、半導体
集積回路装置の小型化、低価格化の動向からスポット状
にＡｌ被覆を施したリードフレームが専ら使用されつつ
ある。
このようなスポット状Ａｌ被覆リードフレームの製造方
法としては、クラッド法により金属の長尺基板条にＡｌ
箔をローラで冷間圧着させたり又は蒸着法により長尺基
板条全面にＡｌ被覆した後、このＡｌ箔又はＡｌ被覆を
選択的にエツチングして必要部分のみを残す方法が取ら
れている。しかし、これらの方法では、選択的エツチン
グに用いるマスフとしての有機被膜やゴム等がＡｌ被覆
の表面な汚染する問題がある他、コスト面及び品質面で
有利な方法とは云えなかった。
法としては、クラッド法により金属の長尺基板条にＡｌ
箔をローラで冷間圧着させたり又は蒸着法により長尺基
板条全面にＡｌ被覆した後、このＡｌ箔又はＡｌ被覆を
選択的にエツチングして必要部分のみを残す方法が取ら
れている。しかし、これらの方法では、選択的エツチン
グに用いるマスフとしての有機被膜やゴム等がＡｌ被覆
の表面な汚染する問題がある他、コスト面及び品質面で
有利な方法とは云えなかった。
このような事情から、最近ではスポット状のＡｌ被覆を
長尺基板条に直接形成する方法の開発が強く望まれてい
る。この開発動向としては、クラッド法が製法自体の限
界から品質面で満足なものを得ることが困難である為、
位置決め精度及びｋｌ被覆純度等の品質面で優れている
蒸着法が採用される傾向にある。
長尺基板条に直接形成する方法の開発が強く望まれてい
る。この開発動向としては、クラッド法が製法自体の限
界から品質面で満足なものを得ることが困難である為、
位置決め精度及びｋｌ被覆純度等の品質面で優れている
蒸着法が採用される傾向にある。
例えば、最も最近の方法では、両側縁部に位置決め用ガ
イド孔を設けた長尺基板条に、所定位置に蒸着用開口部
と同じく位置決め用ガイド孔を設けたマスク条を両者の
位置決め用ガイド孔が一致するようにスプロケットロー
ル等で機械的に位置決めして重ね合せ、重ね合せたマス
ク条の上から蒸着用開口部を通して長尺基板条に金属を
蒸着し、マスク条を分離したのち長尺基板条を同じ位置
決め用ガイド孔により位置決めしてリードフレームに打
抜く方法が採られている。
イド孔を設けた長尺基板条に、所定位置に蒸着用開口部
と同じく位置決め用ガイド孔を設けたマスク条を両者の
位置決め用ガイド孔が一致するようにスプロケットロー
ル等で機械的に位置決めして重ね合せ、重ね合せたマス
ク条の上から蒸着用開口部を通して長尺基板条に金属を
蒸着し、マスク条を分離したのち長尺基板条を同じ位置
決め用ガイド孔により位置決めしてリードフレームに打
抜く方法が採られている。
しかし、この方法では、蒸着のためにスプロケットロー
ルで位置決めする際に真空による摩擦係数の増大や蒸着
熱の影響等により長尺基板条の位置決め用ガイド孔に変
形が生じることが避けられず、後にこの変形した位置決
め用ガイド孔ご用いてプレス打抜する場合に位置決め用
パイロットビンが位置決め用ガイド孔の変形部にひっか
かって長尺基板条の走行が不安定になったり、位置決め
用ガイド孔の変形により打抜位置が変化して打抜精度の
低下が起こり、プレス稼動率や製品歩留が著しく低下す
る欠点があった。更に、この変形した位置決め用ガイド
孔はＩＣ組立工程においてもリードフレームの走行及び
位置決めを不安定にし、結果的に製品コストを非常に高
くする原因のひとつになっていた。
ルで位置決めする際に真空による摩擦係数の増大や蒸着
熱の影響等により長尺基板条の位置決め用ガイド孔に変
形が生じることが避けられず、後にこの変形した位置決
め用ガイド孔ご用いてプレス打抜する場合に位置決め用
パイロットビンが位置決め用ガイド孔の変形部にひっか
かって長尺基板条の走行が不安定になったり、位置決め
用ガイド孔の変形により打抜位置が変化して打抜精度の
低下が起こり、プレス稼動率や製品歩留が著しく低下す
る欠点があった。更に、この変形した位置決め用ガイド
孔はＩＣ組立工程においてもリードフレームの走行及び
位置決めを不安定にし、結果的に製品コストを非常に高
くする原因のひとつになっていた。
又、位置決め用ガイド孔の位置によっては、スプロケッ
トロールでの変形による残留応力場が打抜後のリードフ
レームに影響を与え、リードの浮き沈みや片寄りを生じ
ることがあった。
トロールでの変形による残留応力場が打抜後のリードフ
レームに影響を与え、リードの浮き沈みや片寄りを生じ
ることがあった。
更にまた、長尺基板条の両側縁部の位置決め用ガイド孔
と中央部の蒸着用開口部とが離れているので、光学系測
定機を用いても蒸着中にスポット状Ａ７の蒸着位置を確
認することが困難である等の不都合もあった。
と中央部の蒸着用開口部とが離れているので、光学系測
定機を用いても蒸着中にスポット状Ａ７の蒸着位置を確
認することが困難である等の不都合もあった。
本発明は、上記した従来の事情に鑑み、蒸着工程での位
置決め用ガイド孔の変形が後の打抜工程等に及ぼす悪影
響をなくし、スポット状金属被覆を有する高品質のリー
ドフレームご製造する方法を提供すること２目的とする
。
置決め用ガイド孔の変形が後の打抜工程等に及ぼす悪影
響をなくし、スポット状金属被覆を有する高品質のリー
ドフレームご製造する方法を提供すること２目的とする
。
本発明のリードフレームの製造方法は、リードフレーム
用金属からなる長尺基板条に蒸着位置決め用ガイド孔と
打抜位置決め用ガイド孔とを別々に設け、該長尺基板条
に蒸着位置決め用ガイド孔と蒸着用開口部とを設けたマ
スク条な両者の蒸着位置決め用ガイド孔が一致するよう
に機械的に位置決めして重ね合せ、重ね合せたマスク条
の上から蒸着用開口部を通して長尺基板条に金属を蒸着
し、その後膣長尺基板条を打抜位置決め用ガイド孔によ
り位置決めしてリードフレームに打抜くと同時に蒸着位
置決め用ガイド孔を打抜除去することを特徴とする。
用金属からなる長尺基板条に蒸着位置決め用ガイド孔と
打抜位置決め用ガイド孔とを別々に設け、該長尺基板条
に蒸着位置決め用ガイド孔と蒸着用開口部とを設けたマ
スク条な両者の蒸着位置決め用ガイド孔が一致するよう
に機械的に位置決めして重ね合せ、重ね合せたマスク条
の上から蒸着用開口部を通して長尺基板条に金属を蒸着
し、その後膣長尺基板条を打抜位置決め用ガイド孔によ
り位置決めしてリードフレームに打抜くと同時に蒸着位
置決め用ガイド孔を打抜除去することを特徴とする。
第１図に示すように、リードフレーム用の厚さ０、ＩＭ
及び幅４０酩の４２％Ｎｉ −Ｆｅ合金からなる長尺基
板条１に、蒸着位置決め用ガイド孔２２蒸着金属の蒸気
が飛来し得る位置に並びに打抜位置決め用ガイド孔３を
従来と同様に両側縁部に別々に形成した。
及び幅４０酩の４２％Ｎｉ −Ｆｅ合金からなる長尺基
板条１に、蒸着位置決め用ガイド孔２２蒸着金属の蒸気
が飛来し得る位置に並びに打抜位置決め用ガイド孔３を
従来と同様に両側縁部に別々に形成した。
又、第２図に示すように、上記長尺基板条とほぼ同じ長
さの厚さ０．１：３＋ｌ！及び幅４０悶のｒｅからなる
マスク条４に、上記長尺基板条の蒸着位置決め用ガイド
孔２と同じ位置に蒸着位置決め用ガイド孔２′を形成し
、更にこの蒸着位置決め用ガイド孔２′から所定の位置
に蒸着用開口部５ひ形成した。
さの厚さ０．１：３＋ｌ！及び幅４０悶のｒｅからなる
マスク条４に、上記長尺基板条の蒸着位置決め用ガイド
孔２と同じ位置に蒸着位置決め用ガイド孔２′を形成し
、更にこの蒸着位置決め用ガイド孔２′から所定の位置
に蒸着用開口部５ひ形成した。
このマスク条４と上記長尺基板条１とを、全仕分真空室
内に配置した第３図に示す位置決め蒸着装置により、夫
々マスク条供給リール６及び長尺基板条供給リール７か
ら引き出しガイドロール８？経て重ね合せ、スプロケッ
トロール９で両者の蒸着位置決め用ガイド孔２．２′を
一致させて位置決めした。スプロケットロール９で両売
１．４を連続的に移動させながら、電子銃１０でルツボ
１１内のＡｌを蒸発させ、重ね合せたマスク条４の上か
ら蒸着用開口部５号通して長尺基板条１にＡｌを蒸着さ
せた。蒸着後のマスク条４と長尺基板条ｌとは夫々マス
ク条巻取リール１２及び長尺基板条巻取リール１３に巻
取った。尚、蒸発したＡｌは防着板１４により必要なス
ペース以外に拡散しないようになっている。
内に配置した第３図に示す位置決め蒸着装置により、夫
々マスク条供給リール６及び長尺基板条供給リール７か
ら引き出しガイドロール８？経て重ね合せ、スプロケッ
トロール９で両者の蒸着位置決め用ガイド孔２．２′を
一致させて位置決めした。スプロケットロール９で両売
１．４を連続的に移動させながら、電子銃１０でルツボ
１１内のＡｌを蒸発させ、重ね合せたマスク条４の上か
ら蒸着用開口部５号通して長尺基板条１にＡｌを蒸着さ
せた。蒸着後のマスク条４と長尺基板条ｌとは夫々マス
ク条巻取リール１２及び長尺基板条巻取リール１３に巻
取った。尚、蒸発したＡｌは防着板１４により必要なス
ペース以外に拡散しないようになっている。
蒸着後の長尺基板条１には、第４図に示すように、所定
位置にスポット状にＡｔ被覆１５が形成されるが、同時
に蒸着位置決め用ガイド孔２に変形部１６を生じ、変形
部１６の長手方向反対側にもＡｌ付着１７が形成された
。その結果、光学系測定機は勿論のこと目視によっても
、蒸着位置決め用ガイド孔２とＡｌ付着１７とで蒸着位
置が正規であるか否かを蒸着中のマスク条４の分離後に
確認することができた。
位置にスポット状にＡｔ被覆１５が形成されるが、同時
に蒸着位置決め用ガイド孔２に変形部１６を生じ、変形
部１６の長手方向反対側にもＡｌ付着１７が形成された
。その結果、光学系測定機は勿論のこと目視によっても
、蒸着位置決め用ガイド孔２とＡｌ付着１７とで蒸着位
置が正規であるか否かを蒸着中のマスク条４の分離後に
確認することができた。
その後、長尺基板条１を変形していない打抜位置決め用
ガイド孔３を用いてパイロットピンで位置決めし、第５
図に示すように、リードフレーム１８に打抜くと同時に
変形した蒸着位置決め用ガイド孔２Ｐその周縁から０．
１ｍｍ以上離れた位置まで打抜除去することによって変
形した蒸着位置決め用ガイド孔２及びＡ４付着１７を除
去できた。
ガイド孔３を用いてパイロットピンで位置決めし、第５
図に示すように、リードフレーム１８に打抜くと同時に
変形した蒸着位置決め用ガイド孔２Ｐその周縁から０．
１ｍｍ以上離れた位置まで打抜除去することによって変
形した蒸着位置決め用ガイド孔２及びＡ４付着１７を除
去できた。
本方法では、長尺基板条１に蒸着位置決め用ガイド孔２
と打抜位置決め用ガイド孔３とを別々に設け、蒸着の際
には蒸着位置決め用ガイド孔２のみをスプロケットロー
ル９での位置決めに用いるので、蒸着位置決め用ガイド
孔２のみが変形し打抜位置決め用ガイド孔３は変形する
ことがない。
と打抜位置決め用ガイド孔３とを別々に設け、蒸着の際
には蒸着位置決め用ガイド孔２のみをスプロケットロー
ル９での位置決めに用いるので、蒸着位置決め用ガイド
孔２のみが変形し打抜位置決め用ガイド孔３は変形する
ことがない。
長尺基板条１をプレスでリードフレーム１８に打抜く際
には、この変形していない打抜位置決め用ガイド孔３を
用いて位置決めするので、長尺基板条１の走行が安定し
且つ打抜精度も向上する。
には、この変形していない打抜位置決め用ガイド孔３を
用いて位置決めするので、長尺基板条１の走行が安定し
且つ打抜精度も向上する。
更に、変形した蒸着位置決め用ガイド孔２は長尺基板条
１をリードフレーム１８に打抜く際ニ同時に打抜され除
去されるので、これがリードフレーム１８に残ることは
ない。長尺基板条１を打抜くとさ、蒸着位置決め用ガイ
ド孔２をその周縁から０．１１１１１１以上離れた以上
型で打抜除去すれば、変形部１６及びｋｌ付着１７２充
分除去できるだけでなく、スプロケットロール９での変
形による残留応力場が打抜後のリードフレーム１８に残
らず、リードの浮き沈みや片寄りのない一層高品質のリ
ードフレームが得られる。
１をリードフレーム１８に打抜く際ニ同時に打抜され除
去されるので、これがリードフレーム１８に残ることは
ない。長尺基板条１を打抜くとさ、蒸着位置決め用ガイ
ド孔２をその周縁から０．１１１１１１以上離れた以上
型で打抜除去すれば、変形部１６及びｋｌ付着１７２充
分除去できるだけでなく、スプロケットロール９での変
形による残留応力場が打抜後のリードフレーム１８に残
らず、リードの浮き沈みや片寄りのない一層高品質のリ
ードフレームが得られる。
更にまた、長尺基板条ｌの蒸着位置決め用ガイド孔２を
蒸着金属の蒸気が飛来しうる位置に形成することによっ
て、変形した蒸着位置決め用ガイド孔２の周縁部、又は
スプロケットロールでの送り状態によっては変形部１６
又は変形部１６の長手方向反対側にもＡｌ付着１７が形
成され、光学系測定機は勿論のこと目視によっても、蒸
着位置決め用ガイド孔２とＡｔ付着１７とで蒸着位置が
正規であるか否か乙蒸着中のマスク条４の分離後に確認
することができる。
蒸着金属の蒸気が飛来しうる位置に形成することによっ
て、変形した蒸着位置決め用ガイド孔２の周縁部、又は
スプロケットロールでの送り状態によっては変形部１６
又は変形部１６の長手方向反対側にもＡｌ付着１７が形
成され、光学系測定機は勿論のこと目視によっても、蒸
着位置決め用ガイド孔２とＡｔ付着１７とで蒸着位置が
正規であるか否か乙蒸着中のマスク条４の分離後に確認
することができる。
尚、上記実施例ではＩＣ用リードフレームについて説明
したが、本発明はリードフレームとしての機能を有する
エレクトロニクス材料も包含し、蒸着材料や蒸着装置等
についても何ら制限されるものではない。
したが、本発明はリードフレームとしての機能を有する
エレクトロニクス材料も包含し、蒸着材料や蒸着装置等
についても何ら制限されるものではない。
又、長尺基板条に各ガイド孔を形成する際に他の開口等
を強度的に許される範囲で形成することもできる。
を強度的に許される範囲で形成することもできる。
本発明によれば、蒸着工程での位置決め用ガイド孔の変
形が後の打抜工程等に悪影響ひ及ぼすことがなく、位置
精度の優れたスポット状金属被覆な有する高品質のリー
ドフレームを簡単且つ能率的に製造することができる。
形が後の打抜工程等に悪影響ひ及ぼすことがなく、位置
精度の優れたスポット状金属被覆な有する高品質のリー
ドフレームを簡単且つ能率的に製造することができる。
第１図は本方法に用いる長尺基板条の平面図であり、第
２図は本方法に用いるマスク条の平面図であり、第３図
は位置決め及び蒸着装置の概略側面図であり、第４図は
本方法による蒸着後の長尺基板条の平面図であり、第５
図は得られたリードフレームの平面図である。 １・・長尺基板条 ２．２′・・蒸着位置決め用ガイド
孔 ３・・打抜位誼決め用ガイド孔 ４・・マスク条 ５・・蒸着用開口部 ９・・スプロケットロール １５・・Ａｔ被覆１６・・
変形部 １７・・Ａｔ付着 １８・・リードフレーム
２図は本方法に用いるマスク条の平面図であり、第３図
は位置決め及び蒸着装置の概略側面図であり、第４図は
本方法による蒸着後の長尺基板条の平面図であり、第５
図は得られたリードフレームの平面図である。 １・・長尺基板条 ２．２′・・蒸着位置決め用ガイド
孔 ３・・打抜位誼決め用ガイド孔 ４・・マスク条 ５・・蒸着用開口部 ９・・スプロケットロール １５・・Ａｔ被覆１６・・
変形部 １７・・Ａｔ付着 １８・・リードフレーム
Claims (3)
- （１）リードフレーム用金属からなる長尺基板条に蒸着
位置決め用ガイド孔と打抜位置決め用ガイド孔とを別々
に設け、該長尺基板条に蒸着位置決め用ガイド孔と蒸着
用開口部とを設けたマスク条を両者の蒸着位置決め用ガ
イド孔が一致するように機械的に位置決めして重ね合せ
、重ね合せたマスク条の上から蒸着用開口部を通して長
尺基板条に金属を蒸着し、その後、該長尺基板条を打抜
位置決め用ガイド孔により位置決めしてリードフレーム
に打抜くと同時に蒸着位置決め用ガイド孔を打抜除去す
ることを特徴とするリードフレームの製造方法。 - （２）長尺基板条を打抜くとき、蒸着位置決め用ガイド
孔をその周縁から０．１ｍｍ以上離れた位置まで打抜除
去することを特徴とする、特許請求の範囲（１）項記載
のリードフレームの製造方法。 - （３）長尺基板条の蒸着位置決め用ガイド孔を蒸着金属
蒸気が飛来し得る位置に形成することを特徴とする、特
許請求の範囲（１）項記載のリードフレームの製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21836586A JPS6373654A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21836586A JPS6373654A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6373654A true JPS6373654A (ja) | 1988-04-04 |
Family
ID=16718747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21836586A Pending JPS6373654A (ja) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6373654A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5211757A (en) * | 1990-05-11 | 1993-05-18 | Thomson - Csf | Device for positioning masking strips in a metallizing machine |
| JP2012134043A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Nitto Denko Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置 |
-
1986
- 1986-09-17 JP JP21836586A patent/JPS6373654A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5211757A (en) * | 1990-05-11 | 1993-05-18 | Thomson - Csf | Device for positioning masking strips in a metallizing machine |
| JP2012134043A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Nitto Denko Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置 |
| US8859032B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-10-14 | Nitto Denko Corporation | Organic el device manufacturing method and apparatus |
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