JPS637510A - 磁気記録用薄膜ヘツド - Google Patents
磁気記録用薄膜ヘツドInfo
- Publication number
- JPS637510A JPS637510A JP15050386A JP15050386A JPS637510A JP S637510 A JPS637510 A JP S637510A JP 15050386 A JP15050386 A JP 15050386A JP 15050386 A JP15050386 A JP 15050386A JP S637510 A JPS637510 A JP S637510A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- recording
- thin film
- gap
- magnetic
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は２例えば７０ツビーデイスク等に用いらｎる
トンネルイレーズ型の磁気記録用薄膜ヘッドに関するも
のである。
トンネルイレーズ型の磁気記録用薄膜ヘッドに関するも
のである。
第５図は記録再生に用いられる磁気記録用ヘッドお記録
の消去に用いらｎる消去用ヘッドとの組み合せからなる
従来のトンネルイレーズ型磁気記録用薄膜ヘッドの断面
図であり９図において（１）はヘッド基板、（２）はこ
の基板の一面ｌこ設けらｎた記録再生に用いらｎる薄膜
ヘッド素子、（３）は上記基板（１）の反対面に設けら
ｎた記録の消去に用いらｎる薄膜ヘッド素子であり２両
ヘッド（２１，（３１はそｎぞｎ次のように構成さｎて
いる。（４ａ） 、（４ｂ）は上記基板（１）上にスパ
ツメ、メツキ等の手法により形成さ乙た。パーマロイ、
Ｃｏ系アモルファスＩｎからなる上層磁性膜Ｆ
（５ａ）、（，５ｂ）はこの上層磁性膜上に形成された
。 Ａｌ２Ｏ３，！９１０２ 膜等からなる非磁性膜、
（６ａ）、（Ｓすはこの非磁性膜の上ｆこ形成され
た上記上層磁性膜（４す、 （４”Ｄ）と磁気的に接続
さ几ている上層磁性膜であり、上層磁性膜（４ａ）。
の消去に用いらｎる消去用ヘッドとの組み合せからなる
従来のトンネルイレーズ型磁気記録用薄膜ヘッドの断面
図であり９図において（１）はヘッド基板、（２）はこ
の基板の一面ｌこ設けらｎた記録再生に用いらｎる薄膜
ヘッド素子、（３）は上記基板（１）の反対面に設けら
ｎた記録の消去に用いらｎる薄膜ヘッド素子であり２両
ヘッド（２１，（３１はそｎぞｎ次のように構成さｎて
いる。（４ａ） 、（４ｂ）は上記基板（１）上にスパ
ツメ、メツキ等の手法により形成さ乙た。パーマロイ、
Ｃｏ系アモルファスＩｎからなる上層磁性膜Ｆ
（５ａ）、（，５ｂ）はこの上層磁性膜上に形成された
。 Ａｌ２Ｏ３，！９１０２ 膜等からなる非磁性膜、
（６ａ）、（Ｓすはこの非磁性膜の上ｆこ形成され
た上記上層磁性膜（４す、 （４”Ｄ）と磁気的に接続
さ几ている上層磁性膜であり、上層磁性膜（４ａ）。
（４ｂ）と同一の材料２手法により形成される。
（７ａ）、（７ｂ）は上記上層磁性膜＜、６ａ）、（６
ｂ） ｌこ巻回された。フォトレジスト＋ ５ｉ０２
等ｌこより形成される導体膜、ここではコイル導体、（
８す、（８ｂ）はこの導体膜を覆う絶縁膜、 （９ａ
）、（９ｂ）は上記非磁性ＭＪ、 （５ａ）、（、ｓｂ
） Ｈこより形成された記録再生用ギャップ及び消去用
ギャップ、（１はフロッピーディスク等の磁気記録媒体
であり、矢印はこの磁気記録媒体Ｑ１の移動方向を示す
ものである。
ｂ） ｌこ巻回された。フォトレジスト＋ ５ｉ０２
等ｌこより形成される導体膜、ここではコイル導体、（
８す、（８ｂ）はこの導体膜を覆う絶縁膜、 （９ａ
）、（９ｂ）は上記非磁性ＭＪ、 （５ａ）、（、ｓｂ
） Ｈこより形成された記録再生用ギャップ及び消去用
ギャップ、（１はフロッピーディスク等の磁気記録媒体
であり、矢印はこの磁気記録媒体Ｑ１の移動方向を示す
ものである。
第６図（１上記磁気記録用薄膜ヘツドの記録再生用ヘッ
ド素子（２）側の正面図、第７図は消去用ヘッド素子（
３）側の正面図、第８図は磁気記録媒体００側からみた
ヘッド素子＋２１． （３１の配置を示す図である。
ド素子（２）側の正面図、第７図は消去用ヘッド素子（
３）側の正面図、第８図は磁気記録媒体００側からみた
ヘッド素子＋２１． （３１の配置を示す図である。
従来のトンネルイレーズ型磁気記録用薄膜ヘッドに上記
のように構成さｎ、磁気記録媒体αＩＩこ記録再生用の
薄膜ヘッド（２）によりデータを記録し。
のように構成さｎ、磁気記録媒体αＩＩこ記録再生用の
薄膜ヘッド（２）によりデータを記録し。
その後方両側１こ配置さ几た消去用の薄膜ヘッド（３）
により、データとデータの間隔を保障するため記録の一
部を消去Ｔる。即ち、記録再生用ヘッド（２］のコイル
導体（７ａ）に電流を流すことによって磁束が発生し１
発生した磁束（ば下部コアを流ｎて磁気記録媒体ａＨ磁
化する。また記録されたデータは、記録再生用ヘッド（
２）の後方両側に配置された消去用ヘッド（３）（こよ
り、その両側が削りとられる。
により、データとデータの間隔を保障するため記録の一
部を消去Ｔる。即ち、記録再生用ヘッド（２］のコイル
導体（７ａ）に電流を流すことによって磁束が発生し１
発生した磁束（ば下部コアを流ｎて磁気記録媒体ａＨ磁
化する。また記録されたデータは、記録再生用ヘッド（
２）の後方両側に配置された消去用ヘッド（３）（こよ
り、その両側が削りとられる。
上記のような従来のトンネルイレーズ型磁気記録用薄膜
ヘッドでは、記録再生用ヘッド（２）と消去用ヘッド（
３）の両ヘッドがヘッド基板（１）の両面ｊζ設けらｎ
るため、ヘッド素子形成プロセスが複雑となり、またヘ
ッド基板（１）の両面に配置する記録再生用ヘッド（２
）と消去用ヘッド（３）との位置合せが面倒であるとい
う問題点があった。
ヘッドでは、記録再生用ヘッド（２）と消去用ヘッド（
３）の両ヘッドがヘッド基板（１）の両面ｊζ設けらｎ
るため、ヘッド素子形成プロセスが複雑となり、またヘ
ッド基板（１）の両面に配置する記録再生用ヘッド（２
）と消去用ヘッド（３）との位置合せが面倒であるとい
う問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためＥζなさ
れたもので、ヘッド素子の形成プロセスが簡単で、かつ
記録再生用ヘッドと消去用ヘッドの位置合せが容易な磁
気記録用薄膜ヘッドを得ることを目的とする。
れたもので、ヘッド素子の形成プロセスが簡単で、かつ
記録再生用ヘッドと消去用ヘッドの位置合せが容易な磁
気記録用薄膜ヘッドを得ることを目的とする。
この発明メζ係る磁気記録用薄膜ヘッドは、ヘッド基板
の同一面上に記録再生用ヘッドと消去用ヘッドを設け、
記録再生ギャップと消去用ギャップをヘッド基板Ｅこ垂
直ｆこ配置するものとした。
の同一面上に記録再生用ヘッドと消去用ヘッドを設け、
記録再生ギャップと消去用ギャップをヘッド基板Ｅこ垂
直ｆこ配置するものとした。
この発明による磁気記録用薄膜ヘッドは、ヘッド基板の
同一面上ｆζ記録再生用ヘッド素子お消去用ヘッド素子
を設けるものとしたから９両ヘッド素子を同時にかつ同
一プロセスで実現でき、また記録再生用ギャップと消去
用ギャップを任意の位置に容易１こ形成することができ
る。
同一面上ｆζ記録再生用ヘッド素子お消去用ヘッド素子
を設けるものとしたから９両ヘッド素子を同時にかつ同
一プロセスで実現でき、また記録再生用ギャップと消去
用ギャップを任意の位置に容易１こ形成することができ
る。
第１図はこの発明の一実施例に係る磁気記録用薄膜ヘッ
ドの斜視図、第２図はその正面図である。
ドの斜視図、第２図はその正面図である。
第１図、第２図において、 ＋２１． （３１はヘッド
基板（図示せず〕の同一面に設けられた記録再生用薄膜
ヘッド素子及び記録消去用薄膜ヘッド素子であり、そｎ
ぞｎ次のようｌζ構成さｎている。（４ａ）。
基板（図示せず〕の同一面に設けられた記録再生用薄膜
ヘッド素子及び記録消去用薄膜ヘッド素子であり、そｎ
ぞｎ次のようｌζ構成さｎている。（４ａ）。
（４ｂ）は基板上１こスパッタ、メツキ等の手法により
形成された上層磁性膜、 （６ａ）、（Ｓｂ）はこの
上層磁性膜の上部に形成された上層磁性膜と磁気的ｆζ
接続さｎている上層磁性膜であり、上記上層磁性膜（Ａ
ＦＬ）、（４ｂ）と同一の手法により形成される。
形成された上層磁性膜、 （６ａ）、（Ｓｂ）はこの
上層磁性膜の上部に形成された上層磁性膜と磁気的ｆζ
接続さｎている上層磁性膜であり、上記上層磁性膜（Ａ
ＦＬ）、（４ｂ）と同一の手法により形成される。
（７ａ）、（７ｂ）は上記上Ｎｉ１ｓ膜（６す、（５’
ｂ）に壱回された。フォトレジスト、 ８１０２等ｔ
こより形成される：４注膜、ここではコイル導体である
。（９す。
ｂ）に壱回された。フォトレジスト、 ８１０２等ｔ
こより形成される：４注膜、ここではコイル導体である
。（９す。
（９ｂ）は上記上濁磁ａｉ Ｃ，６＆） 、（６ｂ、ｌ
／ζ設けらｎた記録再生用ギャップ及び消去用ギャッ
プであり。
／ζ設けらｎた記録再生用ギャップ及び消去用ギャッ
プであり。
上層磁性膜（６ａ）ベロｂ）上ｆこ例えば乾式エツチン
グまたは湿式エツチング等Ｉこよる溝加工を施して形成
する。ここで、マスクを用いてエッヂング工程によりギ
ャップを形成するから、ギャップの位置を上層磁性膜（
６ａ）、（６ｂ）上の任意の個所に容易に形成すること
ができる。なお、第１図、第２図では図示を省略したが
、従来装置と同様に、導体膜（７ａ）、（７ｂ）は絶縁
膜で覆われるものとする。
グまたは湿式エツチング等Ｉこよる溝加工を施して形成
する。ここで、マスクを用いてエッヂング工程によりギ
ャップを形成するから、ギャップの位置を上層磁性膜（
６ａ）、（６ｂ）上の任意の個所に容易に形成すること
ができる。なお、第１図、第２図では図示を省略したが
、従来装置と同様に、導体膜（７ａ）、（７ｂ）は絶縁
膜で覆われるものとする。
上記のようｆこ構成されたこの発明Ｅこよる磁気記録用
薄膜ヘッドは、従来のヘッドが垂＠ｊこ用いられるのに
対し、磁気記録媒体の移動面に平行に用いることになる
が、記録再生の方式）ば従来のヘッドと同様である。ま
た、この発明のヘッドでは。
薄膜ヘッドは、従来のヘッドが垂＠ｊこ用いられるのに
対し、磁気記録媒体の移動面に平行に用いることになる
が、記録再生の方式）ば従来のヘッドと同様である。ま
た、この発明のヘッドでは。
磁性膜（４ａ）、（４ｂ）、（６ａ）ベロｂ）がマスク
を用いてエツチング（こより形成されるが、記録再生用
及び消去用のヘッドが基板の同一面上Ｅこ設けられるた
め両ヘッド素子を同一エンチング工程中ｌこ同時に形成
でき、したがって位置ず几なく、容易なプロセスで形成
できる。
を用いてエツチング（こより形成されるが、記録再生用
及び消去用のヘッドが基板の同一面上Ｅこ設けられるた
め両ヘッド素子を同一エンチング工程中ｌこ同時に形成
でき、したがって位置ず几なく、容易なプロセスで形成
できる。
なお上記実施例では、記録再生用ギャップ（９ａ）と消
去用ギャップ（９ｂ）とを平行ｆこ配置するものとした
が、第３図に示すように両ギャップ（９ａ）。
去用ギャップ（９ｂ）とを平行ｆこ配置するものとした
が、第３図に示すように両ギャップ（９ａ）。
（９ｂ）にアジマスを付けることも容易に実現できる。
第４図はこの発明の他の実施例を示すものであり、下部
磁性膜（４）を形成し、絶縁膜（８１で覆わｎたコイル
導体（７）を形成した後、レジストαυ等でテーパを設
け、レジスト（Ｉｌｌ上に上Ｍ磁性膜（６）を形成する
。さらに、Ａｌ２Ｏ５等からなる保護層をスパツク等で
形成することにより、磁気記録媒体α０接触部の摩耗を
防止し得る水平型の薄膜ヘッドを得ることができる。
磁性膜（４）を形成し、絶縁膜（８１で覆わｎたコイル
導体（７）を形成した後、レジストαυ等でテーパを設
け、レジスト（Ｉｌｌ上に上Ｍ磁性膜（６）を形成する
。さらに、Ａｌ２Ｏ５等からなる保護層をスパツク等で
形成することにより、磁気記録媒体α０接触部の摩耗を
防止し得る水平型の薄膜ヘッドを得ることができる。
以上のようにこの発明によｒ′Ｌｉ１１′、記録再生用
の薄膜ヘッド素子と消去用の薄膜ヘッド素子をヘッド基
板の同一面上に設けるものとしたから、ヘッド素子形成
プロセスが容易となり、また両ヘッドの位置ず几がなく
、さらｌこはギャップを任意位置に設置できるという効
果が期待できる。
の薄膜ヘッド素子と消去用の薄膜ヘッド素子をヘッド基
板の同一面上に設けるものとしたから、ヘッド素子形成
プロセスが容易となり、また両ヘッドの位置ず几がなく
、さらｌこはギャップを任意位置に設置できるという効
果が期待できる。
第１図はこの発明の一実施例に係る磁気記録用薄膜ヘッ
ドの斜視図で、第２図はその正面図、第３図はこの発明
の他の実施例を示す正面図、第４図はこの発明のさらに
他の実施例を示す断面図。 第５図は従来装置を示す断面図であり、第６図はその記
録再生用ヘッド素子側の正面図、第７図は消去用ヘッド
素子側の正面図、第８図は磁気記録媒体側からみたヘッ
ド素子の配Ｒｉ示す図である。 図において、（２）は記録再生用薄膜ヘッド素子。 （３）は記録消去用薄膜ヘッド素子、 （４１、（４ａ
）、（４ｂ）は上層磁性膜、 （６１，（６ａ）、（、
，６ｂ）は上層母性膜、（７）（７ａ）、（７１））は
導体膜、 （９１，（９ａ）、（９ｂ）はギャップ。 （１１は磁気記録媒体であり、各図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。
ドの斜視図で、第２図はその正面図、第３図はこの発明
の他の実施例を示す正面図、第４図はこの発明のさらに
他の実施例を示す断面図。 第５図は従来装置を示す断面図であり、第６図はその記
録再生用ヘッド素子側の正面図、第７図は消去用ヘッド
素子側の正面図、第８図は磁気記録媒体側からみたヘッ
ド素子の配Ｒｉ示す図である。 図において、（２）は記録再生用薄膜ヘッド素子。 （３）は記録消去用薄膜ヘッド素子、 （４１、（４ａ
）、（４ｂ）は上層磁性膜、 （６１，（６ａ）、（、
，６ｂ）は上層母性膜、（７）（７ａ）、（７１））は
導体膜、 （９１，（９ａ）、（９ｂ）はギャップ。 （１１は磁気記録媒体であり、各図中同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。
Claims (1)
- ヘッド基板上に形成された下層磁性膜と、この下層磁性
膜の上部に形成されたこれと磁気的に接続されている上
層磁性膜と、この上層磁性膜に巻回された導体膜と、上
記上層磁性膜に形成されたギャップとからなる記録再生
用薄膜ヘッド素子及び記録消去用薄膜ヘッド素子を有し
、これら両ヘッド素子が上記ヘッド基板の同一面上でか
つ対向する磁気記録媒体の移動方向と平行になるように
配置されていることを特徴とする磁気記録用薄膜ヘッド
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15050386A JPS637510A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | 磁気記録用薄膜ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15050386A JPS637510A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | 磁気記録用薄膜ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637510A true JPS637510A (ja) | 1988-01-13 |
Family
ID=15498286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15050386A Pending JPS637510A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | 磁気記録用薄膜ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637510A (ja) |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP15050386A patent/JPS637510A/ja active Pending
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