JPS6375386A - ハイブリツド真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はハイブリッド真空ポンプに関するものである。

（従来の技術） 高真空領域で高い排気性能を有するターボ分子ポンプと
低真空領域で高い排気性能を有するねじ溝真空ポンプと
を具えた複合型真空ポンプの従来例を第３図により説明
すると、　（Ｏｌａ）がターボ分子ポンプの多段の動翼
、　（Ｏｌｂ）が同各動翼（Ｏｌａ）をもつターボ分子
ポンプの回転体、　（Ｏｌｅ）がねし溝真空ポンプの回
転体、　（Ｏｌｄ）がねし溝真空ポンプの回転軸（回転
体）　、　（０２ａ）がターボ分子ポンプのケーシング
、　（０２ｂ）がねじ溝真空ポンプのゲージング、　（
０２ｃ）が内周面にねじ溝をもつねし溝真空ポンプの中
空静止体である。なお上記各動翼（Ｏｌａ）と上記回転
体（Ｏｌｂ）〜（ＯＭ）とは金属製で、上記回転体（Ｏ
ｌｂ）　（Ｏｌｄ）が一体に作られ、上記ケーシング（
０２ａ）　（０２ｂ）が一体に作られている。また（０
３）が上部ラジアル軸受（油潤滑式玉軸受）、（０４）
が下部ラジアル軸受（油潤滑式玉軸受）、（０５）がス
ラスト軸受（油潤滑式玉軸受）で、同上下のラジアル軸
受（０３）　（０４）と同スラスト軸受（０５）とによ
り上記駆動Ｎ（Ｏｌａ）及び回転体（Ｏｌｈ）　〜（Ｏ
ｌｄ）が上記ケーシング（０２ａ）　（０２ｂ）内に回
転可能に支持されている。また（０６）が駆動モータ、
　（０７）がターボ分子ポンプの多段の静翼で、各動翼
（Ｏｌａ）及び回転体（０ｌｂ）〜（Ｏｌｄ）を駆動モ
ータ（０６）により高速回転させ・矢印（ＡＩ）−矢印
（Ａ　ｚ）方向に排気して、　（ＡＩ）側に高真空を発
生させる。このとき、　　（Ａｘ）側では大気圧近傍の
圧力で排気している。

（発明が解決しようとする問題点） 前記第３図に示す従来の複合型真空ポンプでは。

ねじ溝真空ポンプの回転体（Ｏｌｅ）が軸受支持点に対
してオーバハングになり１回転体（Ｏｌｂ）〜（０１ｄ
）の振幅が増大して１回転側が静止側に接触する慣れが
あり１回転側と静止側との間のクリアランス、ねじ溝真
空ポンプについて云えば９回転体（Ｏｌｅ）と中空静止
体（０２ｃ）との間のクリアランスδを大きくとる必要
がある。即ち、ねじ溝真空ポンプの軸方向長さをｌとす
ると、排気特性、特に圧縮比は１／δ２に比例するので
、圧縮比を大きくして、大気圧近傍で排気するためには
、ねじ溝真空ポンプの軸方向長さｐを著しく長くしなけ
ればならないが、ねじ溝真空ポンプの軸方向長さｌを長
くすると９回転体（Ｏｌｅ）が一層オーバハング構造に
なり２回転体（Ｏｌｂ）〜（Ｏｌｄ）の回転安定性が低
下して２回転体（Ｏｌｒ、）が中空静止体（０２ｃ）に
接触する惧れがあるので１回転体（Ｏｌｅ）と中空静止
体（０２ｃ）　との間のクリアランスδを大きくとる必
要がある。しかしクリアランスδを大きくとると、圧縮
比が小さくなって、排気特性が低下するという問題があ
った。

（問題点を解決するための手段） 本発明は前記の問題点に対処するもので、多段の動翼を
もつ回転体と同回転体を回転可能に支持する軸受と同回
転体を駆動する駆動モータとを具えたターボ分子ポンプ
、及び内周面にねじ溝をもつ中空静止体と同中空静止体
内に挿入した回転体と同回転体を回転可能に支持する軸
受と同回転体を駆動する駆動モータとを具えたねじ溝真
空ポンプを有し、同ターボ分子ポンプと同ねじ溝真空ポ
ンプとをケーシング内に別々に設けたことを特徴とする
ハイブリッド真空ポンプに係わり、その目的とする処は
、排気特性を向上できるハイブリッド真空ポンプを供す
る点にある。

（作用） 本発明のハイブリッド真空ポンプは前記のように多段の
動翼をもつ回転体と同回転体を回転可能に支持する軸受
と同回転体を駆動する駆動モータとを具えたターボ分子
ポンプと、内周面にねじ溝をもつ中空静止体と同中空静
止体内に挿入した回転体と同回転体を回転可能に支持す
る軸受と同回転体を駆動する駆動モータとを具えたねじ
溝真空ポンプとをケーシング内に別々に設けており、軸
受支持点に対してオーバハングになるねじ溝真空ポンプ
の回転体（第３図の（ｌｃ）参照）が不要で。

低真空用ねし溝真空ポンプの軸方向長さを長くしても２
回転安定性が低下せず１回転体と中空静止体との間に僅
かなりリアランスを形成すればよく。

ｉ／δ２に比例する圧縮比が大きくなって、排気特性が
向上する。

（実施例） 次に本発明のハイブリッド真空ポンプを第１図に示す一
実施例により説明する。まず高真空用ターボ分子ポンプ
側について説明すると、　（ｌａ）が多段の動翼、　（
ｌｂ）が同各動翼（１ａ）をもつ回転体、（３）が上部
ラジアル軸受（油潤滑式玉軸受）、（４）が下部ラジア
ル軸受（油潤滑式玉軸受）、（５）がスラスト軸受（油
潤滑式玉軸受）、（６）が駆動モータ、（７）がターボ
分子ポンプの多段の静Ｈ，（８）　（９）がケーシング
で、上記上下のラジアル軸受（３）　（４）と上記スラ
スト軸受（５）とにより上記各動翼（１ａ）及び回転体
（ｌｂ）が上記ケーシング（８）　（９）内に回転可能
に支持されている。次に低真空用ねし溝真空ポンプにつ
いて説明すると、（２）が回転体、　（１０）が上部ラ
ジアル軸受（油潤滑式玉軸受）、（１１）が下部ラジア
ル軸受（油潤滑式玉軸受）、（１２）がスラスト軸受（
油潤滑式玉軸受）、　（１３）が駆動モータ８（１４）
が内周面にねじ溝をもつ中空静止体、　（１５）がケー
シングで、上記上下のラジアル軸受（１０）　（１１）
と上記スラスト軸受（１２）とにより上記回転体（２）
が上記ケーシング（１５）内に回転可能に支持されてい
る。

次に前記第１図に示すハイブリッド真空ポンプの作用を
具体的に説明する。高真空用ターボ分子ポンプの勅ｍ（
ｌａ）及び回転体（１ｂ）を駆動モータ（６）により高
速回転させ、低真空用ねじ溝真空ポンプの回転体（２）
を駆動モータ（１３）により高速回転させ、矢印（八〇
−（Ａ２）−＜Δａ）＝（ＡＪ方向に排気して、（ＡＩ
）側に高真空を発生させる。このとき。

（Ａ４）側では大気圧近傍の圧力で排気している。

第２図は、低真空用ねし溝真空ポンプの中空静止体（１
４ａ）　（１４ｂ）を上下２段に配設し、駆動モータに
コンパクトなヒステリシスモータ（１３）　ヲ（１１し
た他の実施例で、高真空用ターボ分子ポンプの動翼（１
ａ）及び回転体（１ｂ）を駆動モータ（６）により高速
回転させ、低真空用ねじ溝真空ポンプの回転体（２）を
ヒステリシスモータ（１３）により高速回転させ、矢印
（八、）−（八２）＝（八３）　−（Ａ４）方向に排気
して。

（八、）側に高真空を発生させるようになっている。

なお前記各実施例ではねし溝真空ポンプが１軸の構成に
なっているが、２軸以上の構成にしてもよい。

（発明の効果） 本発明のハイブリッド真空ポンプは前記のように多段の
動翼をもつ回転体と同回転体を回転可能に支持する軸受
と同回転体を駆動するモータとを具えたターボ分子ポン
プと、内周面にねじ溝をもつ中空静止体と同中空静止体
内に挿入した回転体と同回転体を回転可能に支持する軸
受と同回転体を駆動するモータとを具えたねじ溝真空ポ
ンプとをケーシング内に別々に設けており、軸受支持点
に対してオーバハングになるねし溝真空ポンプの回転体
（第３図の（１ｃ）参照）が不要で、低真空用ねじ溝真
空ポンプの軸方向長さを長くしても８回転安定性が低下
せず２４回転体と中空静止体との間に僅かなりリアラン
スを形成すればよく、圧縮比を大きくできて、排気特性
を向上できる効果がある。

以上本発明を実施例により説明したが、勿論本発明はこ
のような実施例だけに局限されるものでなく１本発明の
精神を逸脱しない範囲で種々の設計の改変を施しうるち
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わるハイブリッド真空ポンプの一実
施例を示す縦断側面図、第２図は他の実施例を示す縦断
側面図、第３図は従来の複合型真空ポンプを示す縦断側
面図である。 （１ａ）・・・ターボ分子ポンプの多段の動翼、　（ｌ
ｂ）・・・回転体、　（３）　（４）（５）・・・軸受
、（６）・・・駆動モータ、（２）・・・ねじ溝真空ポ
ンプの回転体、　（１０）（１１）・・・軸受、　（１
３）・・・駆動モータ、　（１／Ｉ）・・・中空静止体
。 復代理人弁理士岡本重文外２名 第３図 Ｑ５

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多段の動翼をもつ回転体と同回転体を回転可能に支持す
   る軸受と同回転体を駆動する駆動モータとを具えたター
   ボ分子ポンプ、及び内周面にねじ溝をもつ中空静止体と
   同中空静止体内に挿入した回転体と同回転体を回転可能
   に支持する軸受と同回転体を駆動する駆動モータとを具
   えたねじ溝真空ポンプを有し、同ターボ分子ポンプと同
   ねじ溝真空ポンプとをケーシング内に別々に設けたこと
   を特徴とするハイブリッド真空ポンプ。