JPS6375604A - ロ−タリエンコ−ダのギヤツプ測定方法 - Google Patents
ロ−タリエンコ−ダのギヤツプ測定方法Info
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- JPS6375604A JPS6375604A JP22167686A JP22167686A JPS6375604A JP S6375604 A JPS6375604 A JP S6375604A JP 22167686 A JP22167686 A JP 22167686A JP 22167686 A JP22167686 A JP 22167686A JP S6375604 A JPS6375604 A JP S6375604A
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- measuring
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- Pending
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 35
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 21
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回転位置検出等に使用されるロータリエンコー
ダのギャップ測定方法に関し、特に、非接触で高精度に
ギャップを測定するロータリエンコーダのギャップ測定
方法に関する。
ダのギャップ測定方法に関し、特に、非接触で高精度に
ギャップを測定するロータリエンコーダのギャップ測定
方法に関する。
ロータリエンコーダは回転位置の検出器とじて数値制御
装置及び自動制御機器等に広く使用されており、その位
置精度の向上に伴い高精度のじ２−タリエンコーダが求
められている。
装置及び自動制御機器等に広く使用されており、その位
置精度の向上に伴い高精度のじ２−タリエンコーダが求
められている。
高精度のロータリエンコーダの例として本出願人は特願
昭６１−０８６６５８を出願している。
昭６１−０８６６５８を出願している。
ロータリエンコーダの精度法める要因としては回転ガラ
スヨー１゛板のパターンの精度等があるが、他の重要な
１つの要因としてガラスコード板と受光部のギャップが
ある。
スヨー１゛板のパターンの精度等があるが、他の重要な
１つの要因としてガラスコード板と受光部のギャップが
ある。
このギャップを測定するために従来は隙間ゲージを使用
していた。
していた。
しかし、隙間ゲージでは「ゆるい」、「きつい」、「は
いらない」等の作業者の感覚にたより、同一作業者でも
時間的に多少異なった結果を示し、特に作業者が異なる
と当然バラツキを生じる。又、隙間ゲージを挿入する際
にガラスコード板及び受光部のパターンを損傷すること
もある。
いらない」等の作業者の感覚にたより、同一作業者でも
時間的に多少異なった結果を示し、特に作業者が異なる
と当然バラツキを生じる。又、隙間ゲージを挿入する際
にガラスコード板及び受光部のパターンを損傷すること
もある。
本発明の目的は上記問題点を解決し、非接触で高精度に
ギャップを測定するロータリエンコーダのギャップ測定
方法を提供することにある。
ギャップを測定するロータリエンコーダのギャップ測定
方法を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、ロータリエ
ンコーダの回転ガラスコード仮と受光部とのギャップを
測定するロータリエンコーダのギャップ測定方法におい
て、 前記ガラスコード板（２）に空白部（４）を有する測定
用の測定用パターン（３）を設け、第１図（ａ）に示す
ように、光学式距離測定器（１０）を使用して前記測定
用パターンに測定用光（１１）を当てて、該光学式距離
測定器と該測定用パターン間の第１の距離（ＬＡ）を測
定し、第１図（ｂ）に示すように、前記ガラスコード板
（２）を回転して、前記空白部（４）が光学式距離測定
器（１０）の測定位置にくるようにして、測定用光（１
１）を空白部（４）を通過させて、受光部（８）上の固
定ガラスコード板（７）の反射部（７１））に光を当て
て、前記光学式距離測定器と前記受光部との第２の距離
（ＬＢ）を測定し、前記第１の距離（ＬＡ）と前記第２
の距離（ＬＢ）の差（１，Ｂ−ＬＡ）から前記ロータリ
エンコーダの回転ガラスコード板と受光部とのギャップ
（ＬＧ）を測定することを特徴とするロータリエンコー
ダのギャップ測定方法を、 採用した。
ンコーダの回転ガラスコード仮と受光部とのギャップを
測定するロータリエンコーダのギャップ測定方法におい
て、 前記ガラスコード板（２）に空白部（４）を有する測定
用の測定用パターン（３）を設け、第１図（ａ）に示す
ように、光学式距離測定器（１０）を使用して前記測定
用パターンに測定用光（１１）を当てて、該光学式距離
測定器と該測定用パターン間の第１の距離（ＬＡ）を測
定し、第１図（ｂ）に示すように、前記ガラスコード板
（２）を回転して、前記空白部（４）が光学式距離測定
器（１０）の測定位置にくるようにして、測定用光（１
１）を空白部（４）を通過させて、受光部（８）上の固
定ガラスコード板（７）の反射部（７１））に光を当て
て、前記光学式距離測定器と前記受光部との第２の距離
（ＬＢ）を測定し、前記第１の距離（ＬＡ）と前記第２
の距離（ＬＢ）の差（１，Ｂ−ＬＡ）から前記ロータリ
エンコーダの回転ガラスコード板と受光部とのギャップ
（ＬＧ）を測定することを特徴とするロータリエンコー
ダのギャップ測定方法を、 採用した。
非接触で高精度にギャップを測定をするために、回転ガ
ラスコード仮に測定用のパターンを設けて、光学式距離
測定器で回転ガラスコード板迄の第１の距離測定し、次
に回転ガラスコード板を回転させて、測定用光を空白部
を透過させ、固定ガラスコード板迄の第２の距離を測定
して、その差からギャップを測定するようにした。
ラスコード仮に測定用のパターンを設けて、光学式距離
測定器で回転ガラスコード板迄の第１の距離測定し、次
に回転ガラスコード板を回転させて、測定用光を空白部
を透過させ、固定ガラスコード板迄の第２の距離を測定
して、その差からギャップを測定するようにした。
以下本発明の一実施例を図面に基ずいて説明する。
第２図に本発明の一実施例のパルスコーダの斜視図を示
す。図において、■は回転軸であり、一般に測定すべき
図示されていない回転体に結合されている。２は回転軸
に固定された回転ガラスコード板である。３はギャップ
を測定するための測定用パターンであり、回転ガラスコ
ード板２の下面に帯状クロムを蒸着することにより形成
されており、その一部が切り欠かかれた測定用空白部４
を有する。５は回転を検出するためのコードパターンで
あり、測定パターンと同様に回転ガラスコード板２の下
面にクロムを蒸着して形成され、その表面に反射防止用
の酸化クロムを薄着しである。
す。図において、■は回転軸であり、一般に測定すべき
図示されていない回転体に結合されている。２は回転軸
に固定された回転ガラスコード板である。３はギャップ
を測定するための測定用パターンであり、回転ガラスコ
ード板２の下面に帯状クロムを蒸着することにより形成
されており、その一部が切り欠かかれた測定用空白部４
を有する。５は回転を検出するためのコードパターンで
あり、測定パターンと同様に回転ガラスコード板２の下
面にクロムを蒸着して形成され、その表面に反射防止用
の酸化クロムを薄着しである。
６は発光ダイオードを内蔵した発光部であり、コードパ
ターン５に光を当てる。７は固定ガラスコード板であり
、コードパターン５と同様にその表面に受光用パターン
７ａがクロムの蒸着によって形成され、その表面は反射
防止用に酸化クロム＋１９が蒸着されている。但し、そ
の一部はギャップ測定用の光を反射するために反射防止
用の酸化りロムのない反射部７ｂを有する。固定ガラス
コード仮７は受光部８への光を規制する。受光部８はフ
ォ１−ダイオード又はフォトトランジスタ光素子を内蔵
しており、発光部６からの光を回転ガラスコード板２の
コードパターン５をとうして受光して、回転ガラスコー
ド板２の回転による光の変化量を検出して、これを電気
信号に変換して出力する。受光部８は見易くするために
外に引き出して描いであるが、実際は矢印Ｃで示すよう
に回転ｉ４１ １に近い内側、発光部６の真下にくる位
置に設けられている。
ターン５に光を当てる。７は固定ガラスコード板であり
、コードパターン５と同様にその表面に受光用パターン
７ａがクロムの蒸着によって形成され、その表面は反射
防止用に酸化クロム＋１９が蒸着されている。但し、そ
の一部はギャップ測定用の光を反射するために反射防止
用の酸化りロムのない反射部７ｂを有する。固定ガラス
コード仮７は受光部８への光を規制する。受光部８はフ
ォ１−ダイオード又はフォトトランジスタ光素子を内蔵
しており、発光部６からの光を回転ガラスコード板２の
コードパターン５をとうして受光して、回転ガラスコー
ド板２の回転による光の変化量を検出して、これを電気
信号に変換して出力する。受光部８は見易くするために
外に引き出して描いであるが、実際は矢印Ｃで示すよう
に回転ｉ４１ １に近い内側、発光部６の真下にくる位
置に設けられている。
次にギヤノブの測定方法について述べる。第１図（ａ）
及び（ｂ）は第２図の線Ｘ−Ｘで切断した切断図である
。但し、発光部６は省略しである。
及び（ｂ）は第２図の線Ｘ−Ｘで切断した切断図である
。但し、発光部６は省略しである。
第１図（ａ）に示すように、光学式距離測定器１０をバ
ルスコーダの上部に固定し、光学式距離測定器の発光す
る測定光１１が測定用パターン３に当たるように回転ガ
ラスコード仮２の位置を決める。光学式距離測定器１０
によって測定用パターン３からの反射光によって、第１
の距離ＬＡを測定する。
ルスコーダの上部に固定し、光学式距離測定器の発光す
る測定光１１が測定用パターン３に当たるように回転ガ
ラスコード仮２の位置を決める。光学式距離測定器１０
によって測定用パターン３からの反射光によって、第１
の距離ＬＡを測定する。
次に第１図（ｂ）に示すように、回転ガラスコード板２
を回転させ、光学式距離測定器１０の測定用光１１が測
定用空白部４にくるようにする。
を回転させ、光学式距離測定器１０の測定用光１１が測
定用空白部４にくるようにする。
このとき測定用光１１は回転ガラスコード板２を透過し
て固定ガラスコード仮７上の反射防止膜のない反射部７
ｂで反射する。光学式距離測定器１０によって、この反
射光から第２の距離ＬＢを測定する。
て固定ガラスコード仮７上の反射防止膜のない反射部７
ｂで反射する。光学式距離測定器１０によって、この反
射光から第２の距離ＬＢを測定する。
この第２の距離Ｌ Ｂから第１の距１４’Ｊ− Ｌ Ａ
を引けば求めるギャップの値ＬＧが与えられる。
を引けば求めるギャップの値ＬＧが与えられる。
一般的にこのギャップの間隔Ｌ Ｇは数１００ミクロン
であり、要求される精度は数ミク［１ンであるので光学
式距β，ＩＩ測定器１０は型光の発光ダイオ−１”等を
使用した精度１ミクロン程度の光学式距離測定器を使用
することができる。
であり、要求される精度は数ミク［１ンであるので光学
式距β，ＩＩ測定器１０は型光の発光ダイオ−１”等を
使用した精度１ミクロン程度の光学式距離測定器を使用
することができる。
又、最初に第２の距離Ｌ １Ｂを測定して、次に回転軸
１を一定角度回転して第１の距離ＬＡを測定して、再度
回転軸１を一定角度回転して第１の距■ＬＡを測定し、
この動作を操り返せば回転ガラスコニＦ仮２の面振れを
測定することができる。
１を一定角度回転して第１の距離ＬＡを測定して、再度
回転軸１を一定角度回転して第１の距■ＬＡを測定し、
この動作を操り返せば回転ガラスコニＦ仮２の面振れを
測定することができる。
さらに、光学式距離測定器１０をパーソナルコンヒュー
タ等と結合して測定を自動的に行い順次これをプリント
アウトすることもできる。
タ等と結合して測定を自動的に行い順次これをプリント
アウトすることもできる。
又、回転軸１を小型サーボモータで駆動して・一定角度
回転させながら測定を自動的に行うことにより、面振れ
を自動的に測定することも可能である。
回転させながら測定を自動的に行うことにより、面振れ
を自動的に測定することも可能である。
以上説明したように本発明では、回転ガラスコード仮に
測定用のパターンを設けて、光学式距離測定器で回転ガ
ラスコード仮名の第１の距離と、受光部名の第２の距離
を測定して、その差からギャップを測定するようにした
ので、高精度で非接Ｍの；測定をすることができる。
測定用のパターンを設けて、光学式距離測定器で回転ガ
ラスコード仮名の第１の距離と、受光部名の第２の距離
を測定して、その差からギャップを測定するようにした
ので、高精度で非接Ｍの；測定をすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）及び第１図（ｂ）は本発明の一実施例の第
２図の線Ｘ−Ｘで切断した切断図、第２図は本発明の一
実施例のパルスコーダの斜視図である。 ２・−・− 回転ガラスコード仮 ３−・− 測定用パターン ４−−−−測定用空白部 ７− 固定ガラスコード仮 ７ｂ − 反射部
２図の線Ｘ−Ｘで切断した切断図、第２図は本発明の一
実施例のパルスコーダの斜視図である。 ２・−・− 回転ガラスコード仮 ３−・− 測定用パターン ４−−−−測定用空白部 ７− 固定ガラスコード仮 ７ｂ − 反射部
Claims (2)
- （１）ロータリエンコーダの回転ガラスコード板と受光
部とのギャップを測定するロータリエンコーダのギャッ
プ測定方法において、 前記ガラスコード板に空白部を有する測定用の測定用パ
ターンを設け、 光学式距離測定器を使用して前記測定用パターンに光を
当てて、該光学式距離測定器と該測定用パターン間の第
１の距離を測定し、 前記ガラスコード板を回転して、前記空白部が前記光学
式距離測定器の測定位置にくるようにして、光を前記空
白部を通過させて、受光部に光を当てて、前記光学式距
離測定器と前記受光部との第２の距離を測定し、 前記第１の距離と前記第２の距離の差から前記ロータリ
エンコーダの回転ガラスコード板と前記受光部とのギャ
ップを測定するようにしたことを特徴とするロータリエ
ンコーダのギャップ測定方法。 - （２）前記第１の距離を前記回転ガラスコード板を一定
角度回させ、一定角度毎に測定して、回転ガラスコード
板の面振れを測定するようにしたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のロータリエンコーダのギャップ
測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22167686A JPS6375604A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | ロ−タリエンコ−ダのギヤツプ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22167686A JPS6375604A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | ロ−タリエンコ−ダのギヤツプ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375604A true JPS6375604A (ja) | 1988-04-06 |
Family
ID=16770525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22167686A Pending JPS6375604A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | ロ−タリエンコ−ダのギヤツプ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6375604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103438813A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-12-11 | 东莞美维电路有限公司 | 多层印刷线路板层间位置偏移的测量方法及测量标尺 |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP22167686A patent/JPS6375604A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103438813A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-12-11 | 东莞美维电路有限公司 | 多层印刷线路板层间位置偏移的测量方法及测量标尺 |
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