JPH083409B2 - 光学的法線けがき検出装置 - Google Patents
光学的法線けがき検出装置Info
- Publication number
- JPH083409B2 JPH083409B2 JP30331986A JP30331986A JPH083409B2 JP H083409 B2 JPH083409 B2 JP H083409B2 JP 30331986 A JP30331986 A JP 30331986A JP 30331986 A JP30331986 A JP 30331986A JP H083409 B2 JPH083409 B2 JP H083409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- optical
- lens system
- center line
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、例えば金属薄板等からプレス成形した3次
元立体表面の自由曲面を計測して、その所定位置におけ
る被計測面の法線を求め同時にけがき線に位置合わせす
るための光学的法線けがき検出装置に関するものであ
る。
元立体表面の自由曲面を計測して、その所定位置におけ
る被計測面の法線を求め同時にけがき線に位置合わせす
るための光学的法線けがき検出装置に関するものであ
る。
従来技術 従来、金属薄板等からプレス成形した3次元立体表面
の自由曲面を計測して、その面の法線を求める場合に
は、回転不可能な計測軸に、この計測軸に発生する曲げ
および引っ張りの力を計測するセンサーを取り付け、さ
らにこの計測軸の先端に磁石を取り付けて、計測に際し
被計測面に上記計測軸を接近させたときに、この磁石が
被計測面に吸引されることによって発生する各センサー
の出力信号の大きさから法線誤差を算出するようにした
装置、あるいは回転不可能な計測軸の先端に3個または
それ以上の距離計測センサーを取り付け、計測に際し被
計測面にこの計測軸を接近させたときに、各センサーが
発生する出力信号の大きさから法線誤差を算出するよう
にした装置が使用されていた。
の自由曲面を計測して、その面の法線を求める場合に
は、回転不可能な計測軸に、この計測軸に発生する曲げ
および引っ張りの力を計測するセンサーを取り付け、さ
らにこの計測軸の先端に磁石を取り付けて、計測に際し
被計測面に上記計測軸を接近させたときに、この磁石が
被計測面に吸引されることによって発生する各センサー
の出力信号の大きさから法線誤差を算出するようにした
装置、あるいは回転不可能な計測軸の先端に3個または
それ以上の距離計測センサーを取り付け、計測に際し被
計測面にこの計測軸を接近させたときに、各センサーが
発生する出力信号の大きさから法線誤差を算出するよう
にした装置が使用されていた。
しかし、前者の装置では、計測軸に発生する曲げ力の
方向と大きさを確実に計測し得るような計測軸の構造を
得るために、特に正確な機械加工が必要であり、さらに
計測軸の先端に取り付けた磁石の特性から、被計測面の
急激に屈曲している部位や切断溝および端部等の近傍に
おける計測が不可能である。また、後者の装置では、計
測軸の先端に3個またはそれ以上のセンサーを取り付け
るので、計測軸の先端部の形状が大きくなってしまい、
前者の装置と同様に被計測面の急激に屈曲している部位
や切断溝および端部等の近傍における計測が不可能であ
り、しかも多数のセンサーを備えたことから、それに対
応して増幅器等が多数必要となり、コストが上昇してし
まう等の問題があった。
方向と大きさを確実に計測し得るような計測軸の構造を
得るために、特に正確な機械加工が必要であり、さらに
計測軸の先端に取り付けた磁石の特性から、被計測面の
急激に屈曲している部位や切断溝および端部等の近傍に
おける計測が不可能である。また、後者の装置では、計
測軸の先端に3個またはそれ以上のセンサーを取り付け
るので、計測軸の先端部の形状が大きくなってしまい、
前者の装置と同様に被計測面の急激に屈曲している部位
や切断溝および端部等の近傍における計測が不可能であ
り、しかも多数のセンサーを備えたことから、それに対
応して増幅器等が多数必要となり、コストが上昇してし
まう等の問題があった。
発明の目的 したがって、本発明の目的は、回転駆動する部分を簡
単、かつ小型に構成して、被計測面の急激に屈曲してい
る部位等の近傍においても、その表面の法線を計測でき
るようにすることである。
単、かつ小型に構成して、被計測面の急激に屈曲してい
る部位等の近傍においても、その表面の法線を計測でき
るようにすることである。
発明の概要 上記の目的を達成するために、本発明は、複合レンズ
系を回転させ、その回転位相に対応する信号を出力する
手段を設け、複合レンズ系により結像された被計測面の
けがき線を撮像することにより検出装置とけがき線との
位置偏差を検出し、位置合わせするとともに、複合レン
ズ系を通して被計測面上でその回転中心より所定の偏心
量の位置で被計測面までの距離を計測する光学的距離計
測手段を設け、計測時に被計測面にその計測軸を接近さ
せてから、複合レンズ系の回転によってこの光学的距離
計測の計測点を旋回させることにより、被計測面との距
離に応じて発生する距離計測信号と前記回転位相に対応
する信号とから法線誤差の方向およびその大きさを演算
により算出するようにしている。
系を回転させ、その回転位相に対応する信号を出力する
手段を設け、複合レンズ系により結像された被計測面の
けがき線を撮像することにより検出装置とけがき線との
位置偏差を検出し、位置合わせするとともに、複合レン
ズ系を通して被計測面上でその回転中心より所定の偏心
量の位置で被計測面までの距離を計測する光学的距離計
測手段を設け、計測時に被計測面にその計測軸を接近さ
せてから、複合レンズ系の回転によってこの光学的距離
計測の計測点を旋回させることにより、被計測面との距
離に応じて発生する距離計測信号と前記回転位相に対応
する信号とから法線誤差の方向およびその大きさを演算
により算出するようにしている。
実施例の構成 以下に、本発明の好適な実施例が図面に基づいて説明
される。
される。
第1図において、本発明による光学的法線けがき検出
装置1は、フレーム2に例えば締め付け具2aにより固定
された本体3と、被計測面Sに対してほぼ垂直な中心線
Aの周りに回転し得るように前記本体3の内側に軸受3a
および軸受3bによって支持されている複合レンズ枠4と
を備えている。複合レンズ枠4は、その上方端部に回転
駆動用のタイミングプーリ5を備えており、このタイミ
ングプーリ5には、本体3の外側に固定的に配設された
駆動手段としてのモータ6のタイミングプーリ6aに装着
されたタイミングベルト7が巻き掛けられている。さら
に、モータ6には、位相検出手段としてロータリエンコ
ーダ8が連結されており、このロータリエンコーダ8は
モータ6の回転位相を検出して信号を計算器9に出力す
るようになっている。複合レンズ枠4には、中心線Aに
対して垂直な凸レンズ4aと、その周りでくさび状の円筒
レンズ4bとからなる複合レンズ4cが取り付けられてい
る。
装置1は、フレーム2に例えば締め付け具2aにより固定
された本体3と、被計測面Sに対してほぼ垂直な中心線
Aの周りに回転し得るように前記本体3の内側に軸受3a
および軸受3bによって支持されている複合レンズ枠4と
を備えている。複合レンズ枠4は、その上方端部に回転
駆動用のタイミングプーリ5を備えており、このタイミ
ングプーリ5には、本体3の外側に固定的に配設された
駆動手段としてのモータ6のタイミングプーリ6aに装着
されたタイミングベルト7が巻き掛けられている。さら
に、モータ6には、位相検出手段としてロータリエンコ
ーダ8が連結されており、このロータリエンコーダ8は
モータ6の回転位相を検出して信号を計算器9に出力す
るようになっている。複合レンズ枠4には、中心線Aに
対して垂直な凸レンズ4aと、その周りでくさび状の円筒
レンズ4bとからなる複合レンズ4cが取り付けられてい
る。
さらに本体3の上部には、光学的距離計測手段とし
て、距離検出器10が取り付けられている。この距離検出
器10は、中心線A上で凸レンズ4aに対向する受像面11a
を有する光ファイバー束11と、この光ファイバー束11の
受像面11aを挟んで互いに反対側に配置され円筒レンズ4
bに対向する照光部として半導体レーザ等の発光素子12
と、受光部として半導体位置センサー等の受光素子13と
を備えている。光ファイバー束11の他方の端面11bは、
フレーム2内を通って離れた位置に導かれ、結像光学系
14を介して、撮像手段としてのCCDカメラ15の撮像面15a
に対向している。CCDカメラ15の出力コード15bは、上記
の計算器9に接続されている。光ファイバー束11の受像
面11aは、被計測面Sの凸レンズ4aによる結像位置に配
置されており、また発光素子12から投光レンズ12aを介
して照射した測定用の光線L1は、被計測面Sの中心線A
上の点Oに向かって進むが、くさび状の円筒レンズ4bを
通ることにより屈折して、被計測面Sの中心線Aから所
定の偏差量Rだけ偏心した位置の計測点P1に入射する。
この計測点P1で反射した光線L2は、再び円筒レンズ4bを
通って受光レンズ13aを介して受光素子13に入射するよ
うになっており、受光素子13の受光信号は、コード13b
を介して計算器9に入力される。このような光学的配置
によって、複合レンズ枠4がモータ6により回転駆動さ
れた場合、円筒レンズ4bが回転して光線L1および光線L2
に対する偏心方向を変化させ、これによって計測点P1が
中心線Aの周りに半径(偏心量)Rで旋回されることに
なる。
て、距離検出器10が取り付けられている。この距離検出
器10は、中心線A上で凸レンズ4aに対向する受像面11a
を有する光ファイバー束11と、この光ファイバー束11の
受像面11aを挟んで互いに反対側に配置され円筒レンズ4
bに対向する照光部として半導体レーザ等の発光素子12
と、受光部として半導体位置センサー等の受光素子13と
を備えている。光ファイバー束11の他方の端面11bは、
フレーム2内を通って離れた位置に導かれ、結像光学系
14を介して、撮像手段としてのCCDカメラ15の撮像面15a
に対向している。CCDカメラ15の出力コード15bは、上記
の計算器9に接続されている。光ファイバー束11の受像
面11aは、被計測面Sの凸レンズ4aによる結像位置に配
置されており、また発光素子12から投光レンズ12aを介
して照射した測定用の光線L1は、被計測面Sの中心線A
上の点Oに向かって進むが、くさび状の円筒レンズ4bを
通ることにより屈折して、被計測面Sの中心線Aから所
定の偏差量Rだけ偏心した位置の計測点P1に入射する。
この計測点P1で反射した光線L2は、再び円筒レンズ4bを
通って受光レンズ13aを介して受光素子13に入射するよ
うになっており、受光素子13の受光信号は、コード13b
を介して計算器9に入力される。このような光学的配置
によって、複合レンズ枠4がモータ6により回転駆動さ
れた場合、円筒レンズ4bが回転して光線L1および光線L2
に対する偏心方向を変化させ、これによって計測点P1が
中心線Aの周りに半径(偏心量)Rで旋回されることに
なる。
なお、本体3の下端には下方に向かって延びたほぼ円
筒状の透明カバー3cが備えられ、またモータ6の駆動軸
6aはカバー3dにより覆われている。
筒状の透明カバー3cが備えられ、またモータ6の駆動軸
6aはカバー3dにより覆われている。
実施例の作用 次に、以上のように構成された本発明の実施例の作用
を説明する。
を説明する。
まず、光学的法線けがき検出装置1を第1図のように
被計測面Sに接近させ、その中心線Aが被計測面Sに対
してほぼ垂直な姿勢で、被計測面Sに施されたけがき線
Mに対向するような位置に設定し、この状態でフレーム
2を被計測面Sに対して仮固定する。なお、この検出装
置1の中心線Aは、例えば加工機のヘッド軸と一致して
いる。
被計測面Sに接近させ、その中心線Aが被計測面Sに対
してほぼ垂直な姿勢で、被計測面Sに施されたけがき線
Mに対向するような位置に設定し、この状態でフレーム
2を被計測面Sに対して仮固定する。なお、この検出装
置1の中心線Aは、例えば加工機のヘッド軸と一致して
いる。
このとき、CCDカメラ15の視野(撮像画面)は、例え
ば第2図に示すようになっており、この画像信号を計算
器9により処理することによって、上記けがき線Mの中
心線Aに対する位置、すなわち中心線A(視野原点O)
と垂線の足の接線とのずれ量δおよび回転角ωを算出す
る。そして、算出されたずれ量δおよび回転角ωと、光
学的法線けがき検出装置1による現在の検出点すなわち
光学的法線けがき検出装置1の中心線Aと被計測面Sと
の交わる点の座標(X、Y、Z)および光学的法線けが
き検出装置1の姿勢、すなわち計測方向を示すデータと
から、ずれ量δをx、y、z方向の各成分に分解し、適
宜な駆動機構によりフレーム2を移動させてけがき線M
に対する位置を修正する。
ば第2図に示すようになっており、この画像信号を計算
器9により処理することによって、上記けがき線Mの中
心線Aに対する位置、すなわち中心線A(視野原点O)
と垂線の足の接線とのずれ量δおよび回転角ωを算出す
る。そして、算出されたずれ量δおよび回転角ωと、光
学的法線けがき検出装置1による現在の検出点すなわち
光学的法線けがき検出装置1の中心線Aと被計測面Sと
の交わる点の座標(X、Y、Z)および光学的法線けが
き検出装置1の姿勢、すなわち計測方向を示すデータと
から、ずれ量δをx、y、z方向の各成分に分解し、適
宜な駆動機構によりフレーム2を移動させてけがき線M
に対する位置を修正する。
その後モータ6を回転せしめることにより、タイミン
グベルト7を介して複合レンズ枠4を回転駆動せしめ
る。この複合レンズ枠4の回転駆動により、複合レンズ
4cのうち、中央の凸レンズ4aは、その光軸つまりこれに
一致する中心線Aを中心として回転するだけのため、光
ファイバー束11の受像面11aにおける結像に影響を与え
ないが、円筒レンズ4bは、発光素子12からの光線L1の被
計測面Sへの計測点P1を中心線Aに関して一定の偏心量
Rを維持しながら旋回させることになる。この計測点P1
の運動軌道は、被計測面Sの平面内で中心線Aを中心と
する半径Rの円軌道である。
グベルト7を介して複合レンズ枠4を回転駆動せしめ
る。この複合レンズ枠4の回転駆動により、複合レンズ
4cのうち、中央の凸レンズ4aは、その光軸つまりこれに
一致する中心線Aを中心として回転するだけのため、光
ファイバー束11の受像面11aにおける結像に影響を与え
ないが、円筒レンズ4bは、発光素子12からの光線L1の被
計測面Sへの計測点P1を中心線Aに関して一定の偏心量
Rを維持しながら旋回させることになる。この計測点P1
の運動軌道は、被計測面Sの平面内で中心線Aを中心と
する半径Rの円軌道である。
このとき、被計測面Sが中心線Aに対する垂直な平面
に対して3次元的に平行であれば、複合レンズ枠4の下
端の基準面から、中心線Aに沿った被計測面Sまでの距
離Dは、複合レンズ枠4の回転中に、常に一定である。
しかし、被計測面Sが中心線Aに対して垂直でないなら
ば、距離Dは、1回転中に周期的に変化する。距離検出
器10は、その距離Dの変化を受光素子13の像の移動によ
る受光量の変化として電気的なアナログ量に変換し、計
算器9に送る。
に対して3次元的に平行であれば、複合レンズ枠4の下
端の基準面から、中心線Aに沿った被計測面Sまでの距
離Dは、複合レンズ枠4の回転中に、常に一定である。
しかし、被計測面Sが中心線Aに対して垂直でないなら
ば、距離Dは、1回転中に周期的に変化する。距離検出
器10は、その距離Dの変化を受光素子13の像の移動によ
る受光量の変化として電気的なアナログ量に変換し、計
算器9に送る。
そこで、計算器9は、ロータリエンコーダ8からの信
号により、複合レンズ枠4の回転中の位相角θを逐次演
算するとともに、そのときの受光素子13からの信号の大
きさにより、複合レンズ枠4の基準面から計測すべき被
計測面Sまでの距離Dを算出して位相角θおそびそのと
きの距離Dを順次読み込み、第3図(a)に示すような
関係の正弦曲線を導き出し、この関係に基づき正弦曲線
の最大値Dmaxおよび最小値Dminを与える位相角θmaxお
よび位相角θminを求め、またこの位相角値から90度ず
れた位相角θ0における距離D0を求める。なお、距離D0
は、複合レンズ枠4から被計測面Sまでの平均距離を表
す。ここで位相角θmax、θminは、被計測面Sの傾斜方
向を表し、それらの差(Dmax−Dmin)は、傾斜量を表
す。
号により、複合レンズ枠4の回転中の位相角θを逐次演
算するとともに、そのときの受光素子13からの信号の大
きさにより、複合レンズ枠4の基準面から計測すべき被
計測面Sまでの距離Dを算出して位相角θおそびそのと
きの距離Dを順次読み込み、第3図(a)に示すような
関係の正弦曲線を導き出し、この関係に基づき正弦曲線
の最大値Dmaxおよび最小値Dminを与える位相角θmaxお
よび位相角θminを求め、またこの位相角値から90度ず
れた位相角θ0における距離D0を求める。なお、距離D0
は、複合レンズ枠4から被計測面Sまでの平均距離を表
す。ここで位相角θmax、θminは、被計測面Sの傾斜方
向を表し、それらの差(Dmax−Dmin)は、傾斜量を表
す。
なお、理論上、傾斜角αは、下記の式で求められる。
α=arctan〔(Dmax−Dmin)/2R〕 このようにして、計算器9は、複合レンズ枠4の中心
線Aと被計測面Sの法線との間の誤差、すなわち傾斜方
向および傾斜量を演算して、この誤差を修正するような
方向、つまり複合レンズ枠4の中心線Aを被計測面Sの
法線に一致せしめるような方向の情報を光学的法線けが
き検出装置1の出力として図示しない加工機の姿勢制御
装置等に出力する。
線Aと被計測面Sの法線との間の誤差、すなわち傾斜方
向および傾斜量を演算して、この誤差を修正するような
方向、つまり複合レンズ枠4の中心線Aを被計測面Sの
法線に一致せしめるような方向の情報を光学的法線けが
き検出装置1の出力として図示しない加工機の姿勢制御
装置等に出力する。
さて、第3図(B)は、凸コーナの被計測面Sに対す
る関係を示すグラフであり、最大値Dmax1は平面部分
に、そして最大値Dmax2は、屈曲コーナ部分に対応し、
最小値Dminは現れない。したがって、この場合は傾斜量
は 2×(Dmax1−D0) により得られる。
る関係を示すグラフであり、最大値Dmax1は平面部分
に、そして最大値Dmax2は、屈曲コーナ部分に対応し、
最小値Dminは現れない。したがって、この場合は傾斜量
は 2×(Dmax1−D0) により得られる。
また、第3図(C)は、凹コーナの被計測面Sのグラ
フであり、最小値Dmin1は平面部分に、そして最小値D
min2は屈曲部分に対応するが、この場合、最大値Dmaxは
現れない。この場合、傾斜量は、 2×(D0−Dmin1) から求められる。
フであり、最小値Dmin1は平面部分に、そして最小値D
min2は屈曲部分に対応するが、この場合、最大値Dmaxは
現れない。この場合、傾斜量は、 2×(D0−Dmin1) から求められる。
発明の効果 上述のように、本発明によれば、複合レンズ系を回転
させ、その回転位相に対応する信号を出力する手段を設
け、複合レンズ系により結像された被計測面のけがき線
を撮像することにより、中心線とけがき線との位置誤差
を検出するとともに、複合レンズ系を通して被計測面上
でその回転中心より所定の偏心量の位置で被計測面まで
の距離を計測する光学的距離計測手段を設け、計測時に
被計測面にこの計測軸を接近させてから、複合レンズ系
の回転によって、この光学的距離計測の計測点を旋回さ
せることにより、基準面と被計測面との距離に応じて発
生する距離計測信号と前記回転位相に対応する信号とか
ら法線誤差の方向およびその大きさを演算により算出す
るようにしたので、検出装置の先端部が小型に形成さ
れ、かつその構成が簡単であるから、被計測面の近傍が
急激に屈曲していたり切断溝を有していたり、また材料
の端部である場合にも従来あった容量式あるいは磁力式
等の法線検出装置に比較して非常に小さな半径の計測範
囲においてすなわち実質的に計測点の位置において被計
測面の傾斜の測定が可能であり、しかもその製作コスト
が低減せしめられ得る等の効果がある。
させ、その回転位相に対応する信号を出力する手段を設
け、複合レンズ系により結像された被計測面のけがき線
を撮像することにより、中心線とけがき線との位置誤差
を検出するとともに、複合レンズ系を通して被計測面上
でその回転中心より所定の偏心量の位置で被計測面まで
の距離を計測する光学的距離計測手段を設け、計測時に
被計測面にこの計測軸を接近させてから、複合レンズ系
の回転によって、この光学的距離計測の計測点を旋回さ
せることにより、基準面と被計測面との距離に応じて発
生する距離計測信号と前記回転位相に対応する信号とか
ら法線誤差の方向およびその大きさを演算により算出す
るようにしたので、検出装置の先端部が小型に形成さ
れ、かつその構成が簡単であるから、被計測面の近傍が
急激に屈曲していたり切断溝を有していたり、また材料
の端部である場合にも従来あった容量式あるいは磁力式
等の法線検出装置に比較して非常に小さな半径の計測範
囲においてすなわち実質的に計測点の位置において被計
測面の傾斜の測定が可能であり、しかもその製作コスト
が低減せしめられ得る等の効果がある。
第1図は本発明による光学的法線けがき検出装置の一実
施例の要部を示す縦断面図、第2図は第1図の装置にお
けるCCDカメラによる撮像画面の一例を示す概略図、第
3図は(a)(b)(c)種々の形状の被計測面の場合
の第1図の装置により得られる計測軸の回転位相角と距
離との関係を示すグラフである。 1……光学的法線けがき検出装置、2……フレーム、3
……本体、3a……軸受、4……複合レンズ枠、6……モ
ータ、7……タイミングベルト、8……ロータリエンコ
ーダ、9……計算器、10……距離検出器、11……光ファ
イバー束、12……発光素子、13……受光素子、15……CC
Dカメラ。
施例の要部を示す縦断面図、第2図は第1図の装置にお
けるCCDカメラによる撮像画面の一例を示す概略図、第
3図は(a)(b)(c)種々の形状の被計測面の場合
の第1図の装置により得られる計測軸の回転位相角と距
離との関係を示すグラフである。 1……光学的法線けがき検出装置、2……フレーム、3
……本体、3a……軸受、4……複合レンズ枠、6……モ
ータ、7……タイミングベルト、8……ロータリエンコ
ーダ、9……計算器、10……距離検出器、11……光ファ
イバー束、12……発光素子、13……受光素子、15……CC
Dカメラ。
Claims (4)
- 【請求項1】けがき線を施してある被計測面に対してほ
ぼ垂直な中心線を回転軸として回転可能に支持された複
合レンズ系と、この複合レンズ系を回転駆動せしめると
ともにその回転位相を検出する駆動検出手段と、前記複
合レンズ系によって結像されたけがき線の映像を適切な
位置で観測する撮像手段と、前記複合レンズ系を通して
被計測面までの距離を計測する光学的距離計測手段とか
ら構成されており、前記撮像手段からの信号を画像処理
して中心線とけがき線との位置誤差を検出し、前記複合
レンズ系の回転に伴って変化する距離計測信号と回転位
相との関係パターンを計測処理することにより中心線の
被計測面に施されたけがき線における法線に対する傾斜
方向および傾斜量ならびに基準面から被計測面までの距
離を算出することを特徴とする光学的法線けがき検出装
置。 - 【請求項2】前記複合レンズ系と、回転中心部の凸レン
ズと、その周りでくさび状の円筒レンズとで構成されて
いて、この凸レンズにより被計測面のけがき線を複合レ
ンズ系の後方に結像させ、複合レンズ系の回転により前
記光学的距離計測の計測点を中心線の周りに旋回させる
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学的法
線けがき検出装置。 - 【請求項3】前記光学的距離計測手段を、中心線に対し
て所定の角度だけ傾斜した方角から照射する照光部と、
この一点から反射する光線を前記中心線の反対側所定角
度でとらえる受光部とで構成することを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の光学的法線けがき検出装置。 - 【請求項4】前記撮像手段を、光ファイバー束と電子カ
メラおよび必要なレンズ系とから構成することを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の光学的法線けがき検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30331986A JPH083409B2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 光学的法線けがき検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30331986A JPH083409B2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 光学的法線けがき検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154908A JPS63154908A (ja) | 1988-06-28 |
| JPH083409B2 true JPH083409B2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=17919535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30331986A Expired - Lifetime JPH083409B2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 光学的法線けがき検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083409B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114061485A (zh) * | 2021-11-17 | 2022-02-18 | 桂林欧瑞德科技有限责任公司 | 一种自动调整激光入射角的控制装置及其使用方法 |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP30331986A patent/JPH083409B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63154908A (ja) | 1988-06-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4907035A (en) | Universal edged-based wafer alignment apparatus | |
| KR20100133409A (ko) | 기준구 검출 장치, 기준구 위치 검출 장치 및 3차원 좌표 측정 장치 | |
| US3554646A (en) | Optical distance gage | |
| JPS6186604A (ja) | 光学的位置読取り装置 | |
| JPH022082B2 (ja) | ||
| JP2956657B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| EP3696499B1 (en) | Surveying system having a rotating mirror | |
| JPH083409B2 (ja) | 光学的法線けがき検出装置 | |
| JPH11243129A (ja) | 半導体ウエハ位置検出装置 | |
| JPH06100467B2 (ja) | 近接センサ | |
| JPH10267624A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH0861917A (ja) | 位置検知装置 | |
| JP2784481B2 (ja) | 移動物体の2次元位置および方向計測装置 | |
| JP3176734B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
| JP2769002B2 (ja) | カメラレンズの光軸測定方法 | |
| JP2679236B2 (ja) | 非接触式形状測定装置 | |
| JPH0783828A (ja) | 角度可変絶対反射率測定装置 | |
| JP2000121340A (ja) | 面傾斜角度測定機 | |
| JPS63187103A (ja) | 三次元形状の非接触計測方法 | |
| JPH09280819A (ja) | 回転精度測定システム | |
| JPS62287107A (ja) | 中心位置測定装置 | |
| JPH0716238Y2 (ja) | 指針の読み取り装置 | |
| JPS61189405A (ja) | 非接触形状測定装置 | |
| JPH05180642A (ja) | 平面物体の真直度測定機 | |
| JPH11125540A (ja) | 回転角度検出エンコーダ |