JPS6375733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6375733U JPS6375733U JP17003586U JP17003586U JPS6375733U JP S6375733 U JPS6375733 U JP S6375733U JP 17003586 U JP17003586 U JP 17003586U JP 17003586 U JP17003586 U JP 17003586U JP S6375733 U JPS6375733 U JP S6375733U
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- JP
- Japan
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- low pressure
- pressure loss
- loss filter
- window
- partition
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は本考案のクリーンルーム用パーテイシ
ヨンの１実施例を示す縦断正面図、第２図は従来
例を示す縦断正面図である。 １，４…高性能エアフイルター、２…床面、３
…フアン、５…チヤンバー、６…循環フアン、７
…エアフイルター、８…高性能エアフイルター、
８ａ…低圧損フイルター、９…支持枠、１０…窓
、１０ａ…引戸、１１…遮蔽板、１２…後パネル
、１３…前パネル、１４…照明具、１５…アクリ
ル透明板。
ヨンの１実施例を示す縦断正面図、第２図は従来
例を示す縦断正面図である。 １，４…高性能エアフイルター、２…床面、３
…フアン、５…チヤンバー、６…循環フアン、７
…エアフイルター、８…高性能エアフイルター、
８ａ…低圧損フイルター、９…支持枠、１０…窓
、１０ａ…引戸、１１…遮蔽板、１２…後パネル
、１３…前パネル、１４…照明具、１５…アクリ
ル透明板。
Claims (1)
- 天井部全面に配設するフイルターのうち特定部
分を低圧損フイルターとし、該低圧損フイルター
の下方を窓付きの後パネルとこれに並行する垂壁
状の前パネルとで仕切り、特別区画を形成したこ
とを特徴とするクリーンルーム用パーテイシヨン
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986170035U JPH0311650Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986170035U JPH0311650Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6375733U true JPS6375733U (ja) | 1988-05-20 |
| JPH0311650Y2 JPH0311650Y2 (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=31104396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986170035U Expired JPH0311650Y2 (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0311650Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989328A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
| JPH0989329A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
| JPS6099943A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-03 | Hitachi Ltd | クリ−ンル−ム |
-
1986
- 1986-11-04 JP JP1986170035U patent/JPH0311650Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597836A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Oshitari Kenkyusho:Kk | 垂直層流式無塵室 |
| JPS6099943A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-03 | Hitachi Ltd | クリ−ンル−ム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989328A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
| JPH0989329A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0311650Y2 (ja) | 1991-03-20 |