JPS597836A - 垂直層流式無塵室 - Google Patents
垂直層流式無塵室Info
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- JPS597836A JPS597836A JP57117495A JP11749582A JPS597836A JP S597836 A JPS597836 A JP S597836A JP 57117495 A JP57117495 A JP 57117495A JP 11749582 A JP11749582 A JP 11749582A JP S597836 A JPS597836 A JP S597836A
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- Japan
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- air
- laminar flow
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Links
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は垂直層流式無塵室の構造の簡単化と低価額化に
関するものである。
関するものである。
ＬＳＩ装置など超小型半導体装置の製造においては従来
問題とならなかったような、製造環境（＝おける微少粒
径の浮遊粉塵の存在が問題となり、その性能に大きな影
響を及ぼす。そこで例えば装置 １図に示す断面図のように、送風機（１）に上り前置△ 濾過器（２）、高性能濾過器（３）を介して取−りこん
だ外気または調和空気（４）を、天井に設けた高性能濾
過器（５）と、床面に設けた吸込口（６）および前置濾
過器（７）を介して所謂層流（、Ｉ ｍ ／ Ｓ以下で
一様な風速分布の気流）として部屋（８）内に循環させ
る方式の無塵室を使用している。
問題とならなかったような、製造環境（＝おける微少粒
径の浮遊粉塵の存在が問題となり、その性能に大きな影
響を及ぼす。そこで例えば装置 １図に示す断面図のように、送風機（１）に上り前置△ 濾過器（２）、高性能濾過器（３）を介して取−りこん
だ外気または調和空気（４）を、天井に設けた高性能濾
過器（５）と、床面に設けた吸込口（６）および前置濾
過器（７）を介して所謂層流（、Ｉ ｍ ／ Ｓ以下で
一様な風速分布の気流）として部屋（８）内に循環させ
る方式の無塵室を使用している。
この方式のものは高性能濾過器（３）による取込み空気
の高度の無塵化と、高性能濾過器（５）による部屋（８
）内に持込まれた粉塵の高度の捕捉除去とにより、ＬＳ
Ｉ装置などの製造に適する極めて満足度の高い清浄空気
雰囲気を形成できる。しかしこの方式では運転費が著し
く高いという欠点がある。
の高度の無塵化と、高性能濾過器（５）による部屋（８
）内に持込まれた粉塵の高度の捕捉除去とにより、ＬＳ
Ｉ装置などの製造に適する極めて満足度の高い清浄空気
雰囲気を形成できる。しかしこの方式では運転費が著し
く高いという欠点がある。
そこで最近においては第１図の全面垂直層流方式のもの
に代えて第２図に示す断面図のような、垂直層流方式の
ものが使用されている。この方式は例えば部＠（８）を
左右の作業域（９）（９）と、中央の通路域ａ〔とに分
けた長いトンネル状とし、通路域ａＯ＋の天井には、風
量調節用ダンパ［１１１、前置濾過器Ｏｚ、′送風機（
１３） ：高性能濾過器０（イ）などを備えたフィルタ
チーＶンバＡを設けて、これにより無塵化した調和空気
（４）を天井全面から層流状態で通路域ａＯ＋に送りこ
む。また左右の作業域（９１ｃ＋ｊの上部には、そ−性
能のフィルタチャンバ１３．Ｂ’を設けて、通路域（１
０）内の空気をそれぞれ濾過し、これにより人の出入り
などにより通路内に持込まれた粉塵を除去しながら、従
来と同じ風速で作業域の天井全面から作業台（１７）
（＋７） Ｊ：に層流として送りこんで循環させるもの
である。なお（１８）（ｔｓ） は上部の仕切り板で
ある。
に代えて第２図に示す断面図のような、垂直層流方式の
ものが使用されている。この方式は例えば部＠（８）を
左右の作業域（９）（９）と、中央の通路域ａ〔とに分
けた長いトンネル状とし、通路域ａＯ＋の天井には、風
量調節用ダンパ［１１１、前置濾過器Ｏｚ、′送風機（
１３） ：高性能濾過器０（イ）などを備えたフィルタ
チーＶンバＡを設けて、これにより無塵化した調和空気
（４）を天井全面から層流状態で通路域ａＯ＋に送りこ
む。また左右の作業域（９１ｃ＋ｊの上部には、そ−性
能のフィルタチャンバ１３．Ｂ’を設けて、通路域（１
０）内の空気をそれぞれ濾過し、これにより人の出入り
などにより通路内に持込まれた粉塵を除去しながら、従
来と同じ風速で作業域の天井全面から作業台（１７）
（＋７） Ｊ：に層流として送りこんで循環させるもの
である。なお（１８）（ｔｓ） は上部の仕切り板で
ある。
ところでこの方式では通路域００）内の空気が作業域（
９）＋９） ＩＪ９ ＋二人りこまないようにすること
が必要であるため、フィルタチャンバＡによる空気の送
りこみ速度を作業域のそれより小さい風速、例えば％程
度となるように選ぶ。そのため部屋の容積が同一の場合
第１図に示した全面層流方式のものと比べて風量゛が少
なくてすむことがら、それだけ省エネルギ化を図ること
ができ運転費を低減できる利点がある。
９）＋９） ＩＪ９ ＋二人りこまないようにすること
が必要であるため、フィルタチャンバＡによる空気の送
りこみ速度を作業域のそれより小さい風速、例えば％程
度となるように選ぶ。そのため部屋の容積が同一の場合
第１図に示した全面層流方式のものと比べて風量゛が少
なくてすむことがら、それだけ省エネルギ化を図ること
ができ運転費を低減できる利点がある。
しかし一方この形式では上記のように、通路域用濾過器
（ＩＪと作業域用の濾過器ｆ１６１ （Ｉｆｉ）とで、
吹出し風速を異ならせて処理風けが異なるようにしてい
るため、作業域の瀞過器の方が通路域のものに比して粉
塵による目詰りが大きい。従って作業域と通路域の風速
比を常に一定に保つことができず、ダンパ０１）による
通路域用ｄζ過器０４）への送りこみ風量の調節が必要
である。またこの形式のものでは通路域用フィルタチャ
ンバへの外に、作業域用のフィルタチャンバＢ、Ｈの製
作と取付けを要することから設備費が高価となる。更に
この方式では調和空気と循環空気とを別系統で供給する
ことになるため、第１図に示した無塵室のように作業域
と通路域との温度と湿度の条件を同一にすることができ
ない欠点がある。
（ＩＪと作業域用の濾過器ｆ１６１ （Ｉｆｉ）とで、
吹出し風速を異ならせて処理風けが異なるようにしてい
るため、作業域の瀞過器の方が通路域のものに比して粉
塵による目詰りが大きい。従って作業域と通路域の風速
比を常に一定に保つことができず、ダンパ０１）による
通路域用ｄζ過器０４）への送りこみ風量の調節が必要
である。またこの形式のものでは通路域用フィルタチャ
ンバへの外に、作業域用のフィルタチャンバＢ、Ｈの製
作と取付けを要することから設備費が高価となる。更に
この方式では調和空気と循環空気とを別系統で供給する
ことになるため、第１図に示した無塵室のように作業域
と通路域との温度と湿度の条件を同一にすることができ
ない欠点がある。
本発明は上記の欠点を一掃した垂直層流式無塵室の提供
を目的とするものであって、次に図面を用いてその詳細
を説明する。
を目的とするものであって、次に図面を用いてその詳細
を説明する。
第３図および第４図は本発明の一実施例を示す断面図で
あって、その特徴とするところは次の点にある。即ち通
路域用高性能濾過器０（イ）と作業域用高性能−過器ａ
６）（＋６＋とを同一ボックス（１９）内の同一平面上
に設けたフィルタチャンバＤを天井部に設けると同時に
、通路域用高性能濾過器Ｑ４１の濾過面積を、作業域用
高性能濾過器Ｑ６１ ｆｌＢ＋のそれより小さい、例え
ば％として処理空気量を％とする。また例えば第３図の
ようにフィルタチャンバＤの左右両側に設けた同一の送
風機（ｌ■（１つを用いて、送風（２２） （２２）か
ら、調和空気（４）および帰還空気（２３）（２３）を
左右均等に取入れるようにするか、または第４図のよう
に１台の送風機００により、調和空気（４）と、床面吸
込口（６）からの帰還空気（２３） （２３）ヲタクト
（２４） （２４）を介してフィルタチャンバＤ内に中
央」二部から送りこむように形成する。
あって、その特徴とするところは次の点にある。即ち通
路域用高性能濾過器０（イ）と作業域用高性能−過器ａ
６）（＋６＋とを同一ボックス（１９）内の同一平面上
に設けたフィルタチャンバＤを天井部に設けると同時に
、通路域用高性能濾過器Ｑ４１の濾過面積を、作業域用
高性能濾過器Ｑ６１ ｆｌＢ＋のそれより小さい、例え
ば％として処理空気量を％とする。また例えば第３図の
ようにフィルタチャンバＤの左右両側に設けた同一の送
風機（ｌ■（１つを用いて、送風（２２） （２２）か
ら、調和空気（４）および帰還空気（２３）（２３）を
左右均等に取入れるようにするか、または第４図のよう
に１台の送風機００により、調和空気（４）と、床面吸
込口（６）からの帰還空気（２３） （２３）ヲタクト
（２４） （２４）を介してフィルタチャンバＤ内に中
央」二部から送りこむように形成する。
そして左右の作業域用高性能濾過器（１６） （１６）
から同量の層流空気を送り出し、また処理空気量を濾過
器（１６） （１６）の％とした通路域用濾過器０４）
から、％の風速で層流空気を送り出すようにしたもので
ある。
から同量の層流空気を送り出し、また処理空気量を濾過
器（１６） （１６）の％とした通路域用濾過器０４）
から、％の風速で層流空気を送り出すようにしたもので
ある。
このようにすれは前記したように第１図の全面垂直層流
式のものに比して運転費を低減しながら第２図の垂直層
流式の欠点を除去した無塵室の実現が可能となる。即ち
第２１２１に示した従来のものでは通路域と作業域に対
して、別のフィルタチャンバＡ、１３．Ｂを形成してそ
れぞれ別箇に取付けるようにしているが、本発明では同
一のボックス内に作業域用と通路域用の各濾過器（＋４
） （１６＋０６）を収容したフィルタチャンバＤを形
成して取付けるようにしている。従ってその製作と収（
，１けに要する費用を低価額とすることができる。、し
かも本発明では各濾過器（１４１（Ｉｆ） Ｆ１Ｇ＋を
収容したボックス内に、調和空気と帰還空気とを取込ん
で混合したのも各濾過器に加えるようにしているので、
作業域と通路域の温湿度条件を均一に保つことができる
。また第２図の方式では、前記したよ１うに風量調節用
ダンパ（１１）、送風機０３）により、通路域用瀘過器
ｏ４）への送りこみ風量を調節して、通路への送り出し
風速を作業域のそれより低くして、作業域に通路域がら
空気が入らないようにしている。このため通路域と作業
域の濾過器の目詰り状態の相異を生じて風速比のバラン
スが稼動生変るおそれがある。このためダンハ０１）に
よる風量の調節を必要とするので、それだけ操作が面倒
となる。これに対し本発明では、通路域用々Ｃ過器（１
荀の濾過面積を作業域のそれに比して小さくするように
して、必要とする通路域と作業域の風速比を得るように
している。例えば通路域用濾過器０４１の濾過面積を％
とじたとき、その通気抵抗は２倍となり各濾過器０（イ
）（１６＋ （［）の上流側は同一圧力であるので、通
路域用濾過器０４）の通過風速は％となる。こトで各濾
過器（１４１（＋６＋ ＋１６）の濾過紙の単位面積当
りの通過風量は同一であるので、それぞれにおける目詰
りの速度は同一となる。従って４従来のように送込風量
の調節装置を必要としたり、その操作を必要とすること
なく常に風速比を一定に保つことができ、従来の欠点は
一掃される。
式のものに比して運転費を低減しながら第２図の垂直層
流式の欠点を除去した無塵室の実現が可能となる。即ち
第２１２１に示した従来のものでは通路域と作業域に対
して、別のフィルタチャンバＡ、１３．Ｂを形成してそ
れぞれ別箇に取付けるようにしているが、本発明では同
一のボックス内に作業域用と通路域用の各濾過器（＋４
） （１６＋０６）を収容したフィルタチャンバＤを形
成して取付けるようにしている。従ってその製作と収（
，１けに要する費用を低価額とすることができる。、し
かも本発明では各濾過器（１４１（Ｉｆ） Ｆ１Ｇ＋を
収容したボックス内に、調和空気と帰還空気とを取込ん
で混合したのも各濾過器に加えるようにしているので、
作業域と通路域の温湿度条件を均一に保つことができる
。また第２図の方式では、前記したよ１うに風量調節用
ダンパ（１１）、送風機０３）により、通路域用瀘過器
ｏ４）への送りこみ風量を調節して、通路への送り出し
風速を作業域のそれより低くして、作業域に通路域がら
空気が入らないようにしている。このため通路域と作業
域の濾過器の目詰り状態の相異を生じて風速比のバラン
スが稼動生変るおそれがある。このためダンハ０１）に
よる風量の調節を必要とするので、それだけ操作が面倒
となる。これに対し本発明では、通路域用々Ｃ過器（１
荀の濾過面積を作業域のそれに比して小さくするように
して、必要とする通路域と作業域の風速比を得るように
している。例えば通路域用濾過器０４１の濾過面積を％
とじたとき、その通気抵抗は２倍となり各濾過器０（イ
）（１６＋ （［）の上流側は同一圧力であるので、通
路域用濾過器０４）の通過風速は％となる。こトで各濾
過器（１４１（＋６＋ ＋１６）の濾過紙の単位面積当
りの通過風量は同一であるので、それぞれにおける目詰
りの速度は同一となる。従って４従来のように送込風量
の調節装置を必要としたり、その操作を必要とすること
なく常に風速比を一定に保つことができ、従来の欠点は
一掃される。
なお通路域用濾過器（１４の濾過面積の調節は、例えば
濾過器が第５図（ａ）（ｂ）（Ｃ）に示す断面図のよう
に、図示しない間隔保持体を挾んで波形状に折曲げられ
た濾紙（２５）を枠体（２６）内に接着して作られたも
のである場合には、第５図（ａ）に示す作業域用濾過器
の濾過方向の長さｌ工を、第５図（ｂ）に示すように折
曲げピッチｐ□を同じとしたま′＞１１より小さい１２
とするか、第５図（Ｃ）に示すように折曲げピッチ幅を
ｐ□より大きい１）２とすればよい。
濾過器が第５図（ａ）（ｂ）（Ｃ）に示す断面図のよう
に、図示しない間隔保持体を挾んで波形状に折曲げられ
た濾紙（２５）を枠体（２６）内に接着して作られたも
のである場合には、第５図（ａ）に示す作業域用濾過器
の濾過方向の長さｌ工を、第５図（ｂ）に示すように折
曲げピッチｐ□を同じとしたま′＞１１より小さい１２
とするか、第５図（Ｃ）に示すように折曲げピッチ幅を
ｐ□より大きい１）２とすればよい。
また以上においては部屋内を左右の作業域と中央の通路
域に３分した場合について説明したが、例えば第６図に
示す断面図のように、作業域と通路域に２分した場合な
ど任意複数域に分割した場合にも適用しうろことはいう
までもない。
域に３分した場合について説明したが、例えば第６図に
示す断面図のように、作業域と通路域に２分した場合な
ど任意複数域に分割した場合にも適用しうろことはいう
までもない。
以」二の説明から明らかなように、本発明によれば運転
費と設備費が安いばかりでなく、室内における温湿度が
各域においてはゾ同一であり、しかも作業域と通路域の
風速比を、調整装置やその操作を必要とすることなく、
常に一定に保持できるなどの各種の利点を有する〕１１
．部層流式の無塵室を提供しうるもので、実用」二の効
果は極めて大きい。
費と設備費が安いばかりでなく、室内における温湿度が
各域においてはゾ同一であり、しかも作業域と通路域の
風速比を、調整装置やその操作を必要とすることなく、
常に一定に保持できるなどの各種の利点を有する〕１１
．部層流式の無塵室を提供しうるもので、実用」二の効
果は極めて大きい。
第１図は従来の垂直層流式無塵室の断面図、第２図は他
の改良された垂直層流式無塵室の断面図、第３図、第４
図は本発明の一実施例を示す断面図、第５図（ａ）（ｂ
）（Ｃ）は濾過器の濾過面積の調節方法を示す断面図、
第６図は本発明の他の実施例の断面図である。 （８）・・・・部屋、 （９）、（９）・・・・作業域
、 θ０）・・・・通路域、（１１）・・・・風力調節
用ダンパ、 （＋２１・・・・前置濾過器、（１３）・
・・・送風機、 ０４・・・・通路域用高性能濾過器、
Ａ、 、 Ｂ 、 Ｂ・・・・フィルタチャンバ、Ｑ７
） ０７）・・・・作業台、 （ｔｓ） （ｔ８）・
・・・仕切り板、（１９）・・・・ボックス、 Ｄ・・
・・フィルタチャンバ、（２０） （２０）・・・争送
風機ボックス、（２１） （２１）・・・・調和空気入
口、（２２） （２２’）・・・・帰還空気入口、 （
４）・・・・調和空気、（２３） （２３）・・・・帰
還空気、 （２４） （２４）・・・・ダクト、（２
５）・・・・濾紙、 （２６）・・・・枠体。 特許用１如大 株式会社 忍足研究所第１図 ！Ｐ５２図 ４ 第 ３図 第４図 閂 掲５図 （ａ） （ｂ） ↑
の改良された垂直層流式無塵室の断面図、第３図、第４
図は本発明の一実施例を示す断面図、第５図（ａ）（ｂ
）（Ｃ）は濾過器の濾過面積の調節方法を示す断面図、
第６図は本発明の他の実施例の断面図である。 （８）・・・・部屋、 （９）、（９）・・・・作業域
、 θ０）・・・・通路域、（１１）・・・・風力調節
用ダンパ、 （＋２１・・・・前置濾過器、（１３）・
・・・送風機、 ０４・・・・通路域用高性能濾過器、
Ａ、 、 Ｂ 、 Ｂ・・・・フィルタチャンバ、Ｑ７
） ０７）・・・・作業台、 （ｔｓ） （ｔ８）・
・・・仕切り板、（１９）・・・・ボックス、 Ｄ・・
・・フィルタチャンバ、（２０） （２０）・・・争送
風機ボックス、（２１） （２１）・・・・調和空気入
口、（２２） （２２’）・・・・帰還空気入口、 （
４）・・・・調和空気、（２３） （２３）・・・・帰
還空気、 （２４） （２４）・・・・ダクト、（２
５）・・・・濾紙、 （２６）・・・・枠体。 特許用１如大 株式会社 忍足研究所第１図 ！Ｐ５２図 ４ 第 ３図 第４図 閂 掲５図 （ａ） （ｂ） ↑
Claims (1)
- 作業域用濾過器とこれより小さい濾過面積をもつ通路域
用−過器を同一フィルタボックス内（二収容し、このフ
ィルタボックス内に外気或いは調和空気と帰還空気を送
りこみ、これら濾過器により作業域および通路域の上部
から無塵化空気を吹出すようにしたことを特徴とする垂
直層流式無塵室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57117495A JPS597836A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 垂直層流式無塵室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57117495A JPS597836A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 垂直層流式無塵室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS597836A true JPS597836A (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=14713141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57117495A Pending JPS597836A (ja) | 1982-07-06 | 1982-07-06 | 垂直層流式無塵室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597836A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235625A (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-20 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPS6375733U (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-20 | ||
| JPH02103328A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-16 | Shin Nippon Kucho Kk | クリーンルーム |
| JPH02138805U (ja) * | 1990-03-17 | 1990-11-20 | ||
| CN104048356A (zh) * | 2013-03-13 | 2014-09-17 | 江苏心日源建筑节能科技有限公司 | 洁净室系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
| JPS58129123A (ja) * | 1982-01-27 | 1983-08-02 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
-
1982
- 1982-07-06 JP JP57117495A patent/JPS597836A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
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