JPS6376231A - カラ−ブラウン管の露光方法 - Google Patents
カラ−ブラウン管の露光方法Info
- Publication number
- JPS6376231A JPS6376231A JP61221297A JP22129786A JPS6376231A JP S6376231 A JPS6376231 A JP S6376231A JP 61221297 A JP61221297 A JP 61221297A JP 22129786 A JP22129786 A JP 22129786A JP S6376231 A JPS6376231 A JP S6376231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- exposure
- receiving element
- shutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラーブラウン管の蛍光面におけるブラック
マトリックス膜を製作する際の露光方法に関するもので
ある。
マトリックス膜を製作する際の露光方法に関するもので
ある。
−ａにシャドウマスク型カラーブラウン管においてブラ
ックマトリックス膜を得るためパネル内面にフォトレジ
ストを塗布しシャドウマスクを通して露光する方法が行
われている。相反則不軌性の大きいフォトレジストの特
徴として第５図に示す如く、露光光量とホール径の関係
は光源の光量（明るさ）がパラメータとして作用し、ホ
ール径を一定にするには光源の光量（明るさ）を一定に
する必要がある。
ックマトリックス膜を得るためパネル内面にフォトレジ
ストを塗布しシャドウマスクを通して露光する方法が行
われている。相反則不軌性の大きいフォトレジストの特
徴として第５図に示す如く、露光光量とホール径の関係
は光源の光量（明るさ）がパラメータとして作用し、ホ
ール径を一定にするには光源の光量（明るさ）を一定に
する必要がある。
第４図は従来の露光装置の概略を示すもので、ランプハ
ウス１の超高圧水銀灯（光源）２から発する光を露光に
用い露光光路には実際の電子ビームの軌跡と一致させる
ための補正レンズ４とパネル内面の各位置における照度
を補正するための調光フィルター５が配置されている。
ウス１の超高圧水銀灯（光源）２から発する光を露光に
用い露光光路には実際の電子ビームの軌跡と一致させる
ための補正レンズ４とパネル内面の各位置における照度
を補正するための調光フィルター５が配置されている。
受光素子７は光源２から発する光の一部を受光できる位
置にあり光量計８に接続されている。露光台６にシャド
ウマスク１１を装着したパネル１２を載せてランプハウ
ス１の上部のシャッター３を開動作させて露光するので
ある。露光動作は光量計８にあらかじめ露光光量値（光
源の光量値Ｘ時間、即ち光量の精算値）を設定しておき
、シャッター３を開くと同時に受光素子７かち得られた
光量を精算しながら露光光量値が設定値に達するまでシ
ャッター３を開かせて行う。露光光量値が設定値に達し
た時点でシャッター３は閉じ露光は終了する。
置にあり光量計８に接続されている。露光台６にシャド
ウマスク１１を装着したパネル１２を載せてランプハウ
ス１の上部のシャッター３を開動作させて露光するので
ある。露光動作は光量計８にあらかじめ露光光量値（光
源の光量値Ｘ時間、即ち光量の精算値）を設定しておき
、シャッター３を開くと同時に受光素子７かち得られた
光量を精算しながら露光光量値が設定値に達するまでシ
ャッター３を開かせて行う。露光光量値が設定値に達し
た時点でシャッター３は閉じ露光は終了する。
しかしながら、この場合の問題点は第３図の如く光源２
である超高圧水銀灯の経時変化による光量（明るさ）劣
化のため相反則不軌性の大きいフォトレジストでは一部
ホール径を得るためには最適露光光量値を頻繁に変えな
ければならないが、実際上はこのようなことは困難でホ
ール径のバラツキは避けられなかった。
である超高圧水銀灯の経時変化による光量（明るさ）劣
化のため相反則不軌性の大きいフォトレジストでは一部
ホール径を得るためには最適露光光量値を頻繁に変えな
ければならないが、実際上はこのようなことは困難でホ
ール径のバラツキは避けられなかった。
本発明は、カラーブラウン管のブラックマトリクス膜の
製作工程において、光源がら発する光量を、受光素子で
測定しながら露光光量を制御すると共に、受光素子で光
量を測定し、光源の電源へフィードバックして光源の光
量が一定幅内に入るようにする露光方法である。
製作工程において、光源がら発する光量を、受光素子で
測定しながら露光光量を制御すると共に、受光素子で光
量を測定し、光源の電源へフィードバックして光源の光
量が一定幅内に入るようにする露光方法である。
〔実施例〕
次に本発明の１実施例を図面に基すき詳細に説明する。
第１図は本発明に用いる露光装置の概略を示すもので、
光源２から発する光の一部を受光できる位置にある受光
素子７は光量計２３に接続されている。光量計２３では
あらかじめ光源２の光量（明るさ）の上限、下限、及び
その光量（明るさ）での最適露光光量値を設定しておき
光源２の光量（明るさ）が下限に達すると光源２の電源
２４へ信号を出し電圧を上昇させて光源２の光量（明る
さ）を上限に達するまでアップさせ第２図の如く光源２
の光量（明るさ）を一定幅にコントロールする。シャド
ウマスク１１を装着したパネル１２を露光台６に載せて
、調光フィルター５の上部に設けたシャッター３を開動
作させて露光する。シャッター３の開動作と同時に受光
素子７より得られた明るさを光量計２３で積算し、設定
値に達したらシャッター３を閉動作させて露光を終了す
る。
光源２から発する光の一部を受光できる位置にある受光
素子７は光量計２３に接続されている。光量計２３では
あらかじめ光源２の光量（明るさ）の上限、下限、及び
その光量（明るさ）での最適露光光量値を設定しておき
光源２の光量（明るさ）が下限に達すると光源２の電源
２４へ信号を出し電圧を上昇させて光源２の光量（明る
さ）を上限に達するまでアップさせ第２図の如く光源２
の光量（明るさ）を一定幅にコントロールする。シャド
ウマスク１１を装着したパネル１２を露光台６に載せて
、調光フィルター５の上部に設けたシャッター３を開動
作させて露光する。シャッター３の開動作と同時に受光
素子７より得られた明るさを光量計２３で積算し、設定
値に達したらシャッター３を閉動作させて露光を終了す
る。
以上のように本発明によれば、ブラックマトリクス膜の
製作工程において相反則不軌性の大きいホトレジストの
場合でも、ホール径を±３μｍ程度のバラツキ範囲で製
作できる露光方法が得られる。
製作工程において相反則不軌性の大きいホトレジストの
場合でも、ホール径を±３μｍ程度のバラツキ範囲で製
作できる露光方法が得られる。
第１図は本発明に用いる露光装置の概略図、第２図は本
発明による露光装置での光源の光量の経時変化を示すグ
ラフ、第３図は従来の露光装置での光源の光量の経時変
化を示すグラフ、第４図は従来の露光装置の概略図、第
５図は相反則不軌性の大きいフォト・レジストを使った
場合のホール径と露光光量の関係図である。 １・・・ランプハウス、２・・・光源、３・・・シャッ
ター、４・・・補正レンズ、５・・・調光フィルター、
６・・・露光台、７・・・受光素子、８，２３・・・光
量計、１１・・・シャドウマスク、１２・・・パネル、
２４・・・電源。 単２ 図 鵠 牢３ 回
発明による露光装置での光源の光量の経時変化を示すグ
ラフ、第３図は従来の露光装置での光源の光量の経時変
化を示すグラフ、第４図は従来の露光装置の概略図、第
５図は相反則不軌性の大きいフォト・レジストを使った
場合のホール径と露光光量の関係図である。 １・・・ランプハウス、２・・・光源、３・・・シャッ
ター、４・・・補正レンズ、５・・・調光フィルター、
６・・・露光台、７・・・受光素子、８，２３・・・光
量計、１１・・・シャドウマスク、１２・・・パネル、
２４・・・電源。 単２ 図 鵠 牢３ 回
Claims (1)
- カラーブラウン管のブラックマトリクス膜の製作工程に
おいて、光源から発する光量を、受光素子で測定しなが
ら露光光量（光量×時間）を制御すると共に、前記受光
素子で光量を測定し、光源の電源へフィードバックして
光源の光量を一定幅内に保つことを特徴とするカラーブ
ラウン管の露光方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61221297A JPS6376231A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | カラ−ブラウン管の露光方法 |
| KR870010315A KR880004528A (ko) | 1986-09-18 | 1987-09-17 | 칼라 브라운관의 노광방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61221297A JPS6376231A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | カラ−ブラウン管の露光方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6376231A true JPS6376231A (ja) | 1988-04-06 |
Family
ID=16764578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61221297A Pending JPS6376231A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | カラ−ブラウン管の露光方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6376231A (ja) |
| KR (1) | KR880004528A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5524318A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-21 | Hitachi Ltd | Exposure device for color braun tube |
| JPS5825037A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-15 | Hitachi Ltd | 露光光量制御方法 |
| JPS58189944A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Nec Corp | カラ−ブラウン管の露光装置 |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP61221297A patent/JPS6376231A/ja active Pending
-
1987
- 1987-09-17 KR KR870010315A patent/KR880004528A/ko not_active Ceased
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5524318A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-21 | Hitachi Ltd | Exposure device for color braun tube |
| JPS5825037A (ja) * | 1981-08-05 | 1983-02-15 | Hitachi Ltd | 露光光量制御方法 |
| JPS58189944A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Nec Corp | カラ−ブラウン管の露光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR880004528A (ko) | 1988-06-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3949226A (en) | Automatic light intensity controller for CRT lighthouse | |
| SU465004A3 (ru) | Фотографический способ печати структуры экрана дл масочной электроннолучевой трубки | |
| JPS598937B2 (ja) | カラ−ブラウン管の露光装置における照度制御方法 | |
| JPS6376231A (ja) | カラ−ブラウン管の露光方法 | |
| JPWO2002067051A1 (ja) | 光学装置用光源 | |
| JPH0367436A (ja) | カラーブラウン管の露光方法 | |
| JP3119099B2 (ja) | 露光装置および蛍光面露光方法 | |
| JPS62154526A (ja) | カラ−ブラウン管の露光装置 | |
| JPS58189944A (ja) | カラ−ブラウン管の露光装置 | |
| US4050080A (en) | CRT screen exposure device utilizing improved light means | |
| JPS62234836A (ja) | カラ−ブラウン管の露光方法 | |
| JPS61264629A (ja) | カラ−ブラウン管の露光装置 | |
| KR100232581B1 (ko) | 사각 패턴에 의한 노광 방법 및 그 장치 | |
| KR200175588Y1 (ko) | 판넬 노광 장치용 노광 필터 | |
| KR0150393B1 (ko) | 노광장치 | |
| KR910006046B1 (ko) | 칼라 브라운관 제작용 노광방법 | |
| US4020494A (en) | CRT screen exposure device having improved optical alignment | |
| KR200145251Y1 (ko) | 노광 광원의 위치결정장치 | |
| KR200218682Y1 (ko) | 음극선관 제조용 노광장치 | |
| KR940006444Y1 (ko) | 칼라수상관용 노광장치 | |
| JPS62188125A (ja) | カラ−ブラウン管の露光装置 | |
| JPH0337935A (ja) | カラーブラウン管の蛍光体パターン形成方法 | |
| KR920008789B1 (ko) | 평면 칼라브라운관의 노광방법 | |
| JPS6217925A (ja) | 露光方法 | |
| JPH06333501A (ja) | カラー受像管の蛍光面露光方法および露光装置 |