JPS637628B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS637628B2 JPS637628B2 JP57138312A JP13831282A JPS637628B2 JP S637628 B2 JPS637628 B2 JP S637628B2 JP 57138312 A JP57138312 A JP 57138312A JP 13831282 A JP13831282 A JP 13831282A JP S637628 B2 JPS637628 B2 JP S637628B2
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- JP
- Japan
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- tank
- temperature
- screening
- chamber
- exhaust
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000012216 screening Methods 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2642—Testing semiconductor operation lifetime or reliability, e.g. by accelerated life tests
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置とくに半導体ICのスクリ
ーニング装置に関する。
ーニング装置に関する。
半導体ICは、製造技術の進歩と共に、高集積
化高速化を指向しており、一般にはICの消費電
力の増大を伴つている。
化高速化を指向しており、一般にはICの消費電
力の増大を伴つている。
かかるICは、一定の温度環境の中で、バイア
ス電圧を印加又は規定の動作を実行させながら一
定時間放置する事によつて、脆弱製品の破壊を加
速し初期不良を除去する為のスクリーニング試験
が実施される。
ス電圧を印加又は規定の動作を実行させながら一
定時間放置する事によつて、脆弱製品の破壊を加
速し初期不良を除去する為のスクリーニング試験
が実施される。
試験環境実現の為には、恒温槽を利用するのが
一般的であり、槽内温度環境は、外部と耐熱隔離
された構造となつている。
一般的であり、槽内温度環境は、外部と耐熱隔離
された構造となつている。
電力消費の大きなICを、かかる環境でスクリ
ーニングする場合、ICの発熱によつて、槽内温
度制御が不可能となり熱暴走を来し、製品破壊に
到り重大な損失を発生する場合もあり、槽内IC
の総発熱量を小さくする為に、IC実装数を減す
か、大型恒温槽を利用する事が必要となる。
ーニングする場合、ICの発熱によつて、槽内温
度制御が不可能となり熱暴走を来し、製品破壊に
到り重大な損失を発生する場合もあり、槽内IC
の総発熱量を小さくする為に、IC実装数を減す
か、大型恒温槽を利用する事が必要となる。
本発明の目的は、かかる問題を解消し、且つス
クリーニング時間完了後、自動的に槽内ヒータを
切断すると共に、熱したICを加速空冷する事に
よつて次作業の待ち時間を低減する装置を提供す
るものである。
クリーニング時間完了後、自動的に槽内ヒータを
切断すると共に、熱したICを加速空冷する事に
よつて次作業の待ち時間を低減する装置を提供す
るものである。
本発明の特徴は、たとえば耐熱隔離材に吸気、
排気孔を設け、サーボ機構によりその孔をアナロ
グ的に開閉し、槽内温度の過熱上昇を防止する手
段と、プリセツト可能なタイマーによりスクリー
ニング時間完了を検出し、自動的に槽内温度を下
降せしめる手段とを具備した点にある。
排気孔を設け、サーボ機構によりその孔をアナロ
グ的に開閉し、槽内温度の過熱上昇を防止する手
段と、プリセツト可能なタイマーによりスクリー
ニング時間完了を検出し、自動的に槽内温度を下
降せしめる手段とを具備した点にある。
次に図を参照して装置の機能を説明する。第１
図は従来の恒温槽である。１は撹拌用フアンであ
り、槽内温度分布を均一にする為槽内空気の撹拌
をモータ動力により実現している。２は耐熱且つ
熱伝導率の低い材料で外気を遮断している。３は
槽内温度を高める為のヒーターで、その電力は温
度コントローラにより規定された温度を維持すべ
く制御される。５は槽内温度検出の為の熱電対で
ある。１２は槽内発熱と放出する為の孔であり、
この放出熱量と槽内ICの発熱量は、この孔によ
る放出熱量を越えると温度制御が不可能となる。
又この孔は徒らに大きくするとエネルギーのロス
となる関係から、適当な大きさに止めざるを得な
い。
図は従来の恒温槽である。１は撹拌用フアンであ
り、槽内温度分布を均一にする為槽内空気の撹拌
をモータ動力により実現している。２は耐熱且つ
熱伝導率の低い材料で外気を遮断している。３は
槽内温度を高める為のヒーターで、その電力は温
度コントローラにより規定された温度を維持すべ
く制御される。５は槽内温度検出の為の熱電対で
ある。１２は槽内発熱と放出する為の孔であり、
この放出熱量と槽内ICの発熱量は、この孔によ
る放出熱量を越えると温度制御が不可能となる。
又この孔は徒らに大きくするとエネルギーのロス
となる関係から、適当な大きさに止めざるを得な
い。
第２図は本発明の実施例の装置であり、７は温
度コントローラ４で制御不能な温度を検出する為
の熱電対である。この熱起電力はサーボモータ制
御部８の駆動信号となり、サーボモータを作動し
吸気、排気用スライドブタを左右に移動する事に
よつて、吸気量、排気量の制御が行われる。もち
ろん吸気フアン、排気フアンを付加すればその効
率は強化される。この吸排気機構により、槽内発
熱が比較的大きな場合でも、槽内温度を期待の制
御領域にコントロール出来る事は明白であり、第
１図に比較し数倍のIC実装を可能とするもので
ある。又１１はプリセツトタイマーであり、スク
リーニング時間を設定しておけばスタートからの
時間計数により、スクリーニング完了と同時に温
度コントローラ４のヒータ電力を零とし、且つ、
サーボモータ制御部への駆動信号として作動し吸
気、排気孔を満開し、槽内温度を急速に低下させ
るものである。
度コントローラ４で制御不能な温度を検出する為
の熱電対である。この熱起電力はサーボモータ制
御部８の駆動信号となり、サーボモータを作動し
吸気、排気用スライドブタを左右に移動する事に
よつて、吸気量、排気量の制御が行われる。もち
ろん吸気フアン、排気フアンを付加すればその効
率は強化される。この吸排気機構により、槽内発
熱が比較的大きな場合でも、槽内温度を期待の制
御領域にコントロール出来る事は明白であり、第
１図に比較し数倍のIC実装を可能とするもので
ある。又１１はプリセツトタイマーであり、スク
リーニング時間を設定しておけばスタートからの
時間計数により、スクリーニング完了と同時に温
度コントローラ４のヒータ電力を零とし、且つ、
サーボモータ制御部への駆動信号として作動し吸
気、排気孔を満開し、槽内温度を急速に低下させ
るものである。
このように本発明によるスクリーニング装置に
よればICスクリーニング個数を増大し且つ、ス
クリーニング完了後の製品出炉作業が迅速に実施
可能となり生産性向上に大きな効果が期待される
ものである。
よればICスクリーニング個数を増大し且つ、ス
クリーニング完了後の製品出炉作業が迅速に実施
可能となり生産性向上に大きな効果が期待される
ものである。
第１図は従来のスクリーニング装置の恒温槽本
体の概略図であり、第２図は本発明の実施例によ
る恒温槽の概略図を示すものである。 尚、図に於いて、１……槽内撹拌用フアン、２
……耐熱隔離材、３……ヒータブロツク、４……
温度コントローラ、５……熱電対、６……撹拌用
モータ、７……吸排温度検出熱電対、８……サー
ボモータ制御部、９……サーボモータ、１０……
吸気、排気用スライドブタ、１１……タイマー、
１２……排気孔である。
体の概略図であり、第２図は本発明の実施例によ
る恒温槽の概略図を示すものである。 尚、図に於いて、１……槽内撹拌用フアン、２
……耐熱隔離材、３……ヒータブロツク、４……
温度コントローラ、５……熱電対、６……撹拌用
モータ、７……吸排温度検出熱電対、８……サー
ボモータ制御部、９……サーボモータ、１０……
吸気、排気用スライドブタ、１１……タイマー、
１２……排気孔である。
Claims (1)
- １ 恒温槽に吸気排気孔を設けその孔径をアナロ
グ的に開閉し槽内温度を所定の値とする手段と、
時間計によつて強制空冷を作動する機能とを具備
したことを特徴とする半導体装置のスクリーニン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138312A JPS5928347A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | 半導体装置のスクリ−ニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138312A JPS5928347A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | 半導体装置のスクリ−ニング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5928347A JPS5928347A (ja) | 1984-02-15 |
| JPS637628B2 true JPS637628B2 (ja) | 1988-02-17 |
Family
ID=15218941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57138312A Granted JPS5928347A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | 半導体装置のスクリ−ニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5928347A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0127106Y2 (ja) * | 1984-09-20 | 1989-08-14 | ||
| JPS6341782U (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-18 | ||
| CN110824339A (zh) * | 2019-10-22 | 2020-02-21 | 苏州盛科科技有限公司 | 一种交换芯片老化筛选测试的恒温控制装置及方法 |
-
1982
- 1982-08-09 JP JP57138312A patent/JPS5928347A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5928347A (ja) | 1984-02-15 |
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