JPS637680A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS637680A JPS637680A JP15089286A JP15089286A JPS637680A JP S637680 A JPS637680 A JP S637680A JP 15089286 A JP15089286 A JP 15089286A JP 15089286 A JP15089286 A JP 15089286A JP S637680 A JPS637680 A JP S637680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- blower
- main body
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はエキシマレーザ等のガスレーザ装置に関し、
特にレーザ本体の振動を防止するための改良に関する。
特にレーザ本体の振動を防止するための改良に関する。
エキシマレーザは、高効率、高出力の発振が可能である
ことから近年広く開発が進められてきており、特にその
非コヒーレントな性質からフォトリソグラフィー等への
利用が注目されている。
ことから近年広く開発が進められてきており、特にその
非コヒーレントな性質からフォトリソグラフィー等への
利用が注目されている。
このようなエキシマレーザをはじめとするガスレーザ装
置では通常気密容器内にレーザガスを封入し、この気密
容器内に貫流ファン、熱交換器等を設けることによりレ
ーザガスを気密容器内で循環させなからレーザ発振を行
なう方法がとられている。
置では通常気密容器内にレーザガスを封入し、この気密
容器内に貫流ファン、熱交換器等を設けることによりレ
ーザガスを気密容器内で循環させなからレーザ発振を行
なう方法がとられている。
しかし、かかる従来技術においては、ガス循環のため貫
流ファンが、レーザ発振部を備えた気密容器に内設され
ているので、前記貫流ファンの回動により気密容器に振
動が発生し、レーザ出力に悪影響を及ぼすという問題点
がある。
流ファンが、レーザ発振部を備えた気密容器に内設され
ているので、前記貫流ファンの回動により気密容器に振
動が発生し、レーザ出力に悪影響を及ぼすという問題点
がある。
そこでこの発明では、ガス媒体を励起させてレーザ光を
発生するレーザ本体とガスを循環させるためのガス循環
装置とを分離し、これらをダクトを介して接続するとと
もに、前記ダクトの途中にガス媒体の脈動を吸収するア
キュームレータ等の脈動吸収装置を設けるようにする。
発生するレーザ本体とガスを循環させるためのガス循環
装置とを分離し、これらをダクトを介して接続するとと
もに、前記ダクトの途中にガス媒体の脈動を吸収するア
キュームレータ等の脈動吸収装置を設けるようにする。
かかる構成では、レーザ本体とガス循環装置とを分離す
ることによりガス循環装置の振動が直接レーザ本体に伝
わるのを防止するとともに、前記脈動吸収装置でガス循
環装置の振動により発生するガス媒体のガス圧の脈動を
吸収するようにする。
ることによりガス循環装置の振動が直接レーザ本体に伝
わるのを防止するとともに、前記脈動吸収装置でガス循
環装置の振動により発生するガス媒体のガス圧の脈動を
吸収するようにする。
第１図にこの発明をエキシマレーザに適用した場合の一
実施例を示す。
実施例を示す。
このエキシマレーザ装置においては、放電電極、共振器
等を備えてレーザ光を発生させるレーザ主装置１と、蓄
電器、サイラトロン等を備えた充電回路２とで構成され
るレーザ本体３から、ガス循環のためのブロア４および
ガス冷却のだめの熱交換器５等を分離し、これらを供給
ダクト６および排出ダクト７を介して接続するようにし
ている。
等を備えてレーザ光を発生させるレーザ主装置１と、蓄
電器、サイラトロン等を備えた充電回路２とで構成され
るレーザ本体３から、ガス循環のためのブロア４および
ガス冷却のだめの熱交換器５等を分離し、これらを供給
ダクト６および排出ダクト７を介して接続するようにし
ている。
このようなガス循環系をハロゲン（Ｆｅ、ＨＣΩ）と希
ガス（Ａ ｒ 、 Ｋ ｒ 、 Ｘ ｅ ）とバッ
ファガス（Ｈｅ、Ｎｅ）との混合ガスが循環する。この
混合ガスはガス交換器８によって組成が一定に保たれて
いる。９は電源であり、１０はガスを純化するガス純化
装置である。
ガス（Ａ ｒ 、 Ｋ ｒ 、 Ｘ ｅ ）とバッ
ファガス（Ｈｅ、Ｎｅ）との混合ガスが循環する。この
混合ガスはガス交換器８によって組成が一定に保たれて
いる。９は電源であり、１０はガスを純化するガス純化
装置である。
かかる構成においては、ブロア４をレーザ本体から分離
するようにしてブロア４の振動がレーザ本体３に直接伝
わるのを防止するようにしている。
するようにしてブロア４の振動がレーザ本体３に直接伝
わるのを防止するようにしている。
しかし、この場合、ブロア４の振動がダクト６゜７内を
ガス圧の脈動という形で伝わり、レーザ本体に対して振
動を与えることになる。
ガス圧の脈動という形で伝わり、レーザ本体に対して振
動を与えることになる。
このため、この実施例では、ブロア４の吸入側および吐
出側の双方に夫々アキュームレータ（蓄圧装置）２０お
よび３０を配設し、これらアキュームレータ２０，３０
よりガス圧の脈動を吸収するようにしている。
出側の双方に夫々アキュームレータ（蓄圧装置）２０お
よび３０を配設し、これらアキュームレータ２０，３０
よりガス圧の脈動を吸収するようにしている。
第２図にアキュームレータ３０の構成例を示す。
このアユームレータ３０は略球形状をしており、ブロア
４から流入される脈動を伴ったガスをベローズ（じゃば
ら）チューズ３１を介してアキュームレータタンク３０
内に導入する。ブロア４からの脈動はダクト自体にも振
動を与えるので、これを防止するためにアキュームレー
タ３０をベローズチューブ３１を介してブロア４側のダ
クトに接続するようにした。また、流入口３２からタン
ク内に伝わってきたガス圧の脈動はタンク内で拡散・吸
収され、その吐出口３３付近では該脈動は充分に小さく
なる。このようにして脈動か吸収されたガスが吐出口３
３から送出される。
４から流入される脈動を伴ったガスをベローズ（じゃば
ら）チューズ３１を介してアキュームレータタンク３０
内に導入する。ブロア４からの脈動はダクト自体にも振
動を与えるので、これを防止するためにアキュームレー
タ３０をベローズチューブ３１を介してブロア４側のダ
クトに接続するようにした。また、流入口３２からタン
ク内に伝わってきたガス圧の脈動はタンク内で拡散・吸
収され、その吐出口３３付近では該脈動は充分に小さく
なる。このようにして脈動か吸収されたガスが吐出口３
３から送出される。
この場合、アキュームレータ３０をガス純化装置１０と
接続し、アキュームレータ３０内で流速が低下したガス
をガス純化装置１０に導入するようにした。すなわち、
レーザ本体３とブロア４等のガス循環装置を別置し、こ
れらをダクトを介して結合するガス循環方式においては
、システム内をガスが高速に流れることになり、このシ
ステムに容量の小さなガス純化装置１０を設置する場合
、通常はダクトにバイパス路を設け、ガス流の一部をガ
ス純化装置１０に導く方法が考えられる。しかし、この
実施例のように、アキュームレータ３０を介してガス純
化装置１０を接続するようにすると、アキュームレータ
３０内でガス流速が低下するので容量の小さいガス純化
装置１０との接続が可能となる。すなわち、アキューム
レータ３０は前記方法のバイパス路の働きを兼ねること
になる。尚、第２図に示す構成においては、アキューム
レータ３０内で最もガスのよどむ位置にガス純化装置１
０の吸入口３４を設置し、また純化されたガスが速やか
に送り出されるように、ガス純化装置１０の吐出口３５
をアキュームレータ３０の吐出口３３の付近に設置する
ようにした。
接続し、アキュームレータ３０内で流速が低下したガス
をガス純化装置１０に導入するようにした。すなわち、
レーザ本体３とブロア４等のガス循環装置を別置し、こ
れらをダクトを介して結合するガス循環方式においては
、システム内をガスが高速に流れることになり、このシ
ステムに容量の小さなガス純化装置１０を設置する場合
、通常はダクトにバイパス路を設け、ガス流の一部をガ
ス純化装置１０に導く方法が考えられる。しかし、この
実施例のように、アキュームレータ３０を介してガス純
化装置１０を接続するようにすると、アキュームレータ
３０内でガス流速が低下するので容量の小さいガス純化
装置１０との接続が可能となる。すなわち、アキューム
レータ３０は前記方法のバイパス路の働きを兼ねること
になる。尚、第２図に示す構成においては、アキューム
レータ３０内で最もガスのよどむ位置にガス純化装置１
０の吸入口３４を設置し、また純化されたガスが速やか
に送り出されるように、ガス純化装置１０の吐出口３５
をアキュームレータ３０の吐出口３３の付近に設置する
ようにした。
ブロア４の吸入側に設置されたアキュームレータ２０も
第２図に示す構成と同じものであり、そのフロア側には
ダクトの振動を吸収するためにべローズチューブか設け
られている。
第２図に示す構成と同じものであり、そのフロア側には
ダクトの振動を吸収するためにべローズチューブか設け
られている。
このように、この実施例ではレーザ本体３からブロア４
を分離し、これらをダクト６．７を介して結合するとと
もに、ブロア４の前後にアキュームレータ２０及び３０
を設置することにより、ブロア４の振動によって発生す
る循環ガスのガス圧の脈動を吸収するとともに、同アキ
ュームレータ２０および３０の各ブロア側に設けたベロ
ーズチューブ３１によりブロア４の振動によるダクトの
振動を吸収するようにしたので、ガス循環装置の振動に
よるレーザ本体３の振動を適格に防止することができる
。
を分離し、これらをダクト６．７を介して結合するとと
もに、ブロア４の前後にアキュームレータ２０及び３０
を設置することにより、ブロア４の振動によって発生す
る循環ガスのガス圧の脈動を吸収するとともに、同アキ
ュームレータ２０および３０の各ブロア側に設けたベロ
ーズチューブ３１によりブロア４の振動によるダクトの
振動を吸収するようにしたので、ガス循環装置の振動に
よるレーザ本体３の振動を適格に防止することができる
。
なお、上記実施例では２個のアキュームレータを設置す
るようにしたが、１個のアキュームレータでブロア前後
の脈動を吸収させるようにしてもよい。
るようにしたが、１個のアキュームレータでブロア前後
の脈動を吸収させるようにしてもよい。
また、本発明はエキシマレーザ以外のＣＯ２レーザ等、
ガス循環を行なう全てのガスレーザ装置に適用可能であ
る。
ガス循環を行なう全てのガスレーザ装置に適用可能であ
る。
以上説明したようにこの発明によれば、レーザ本体とガ
ス循環装置とを分離し、これらをダクトを介して接続す
るとともに、ダクトの途中にガス媒体の脈動を吸収する
アキュームレータ等の装置を設けるようにしたので、ガ
ス循環装置の振動によるレーザ本体の振動を適格に防止
することができる。
ス循環装置とを分離し、これらをダクトを介して接続す
るとともに、ダクトの途中にガス媒体の脈動を吸収する
アキュームレータ等の装置を設けるようにしたので、ガ
ス循環装置の振動によるレーザ本体の振動を適格に防止
することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は同実施例におけるアキュームレータの構成例を示す概
略断面図である。 ｌ・・・レーザ主装置、２・・・充電回路、３・・・レ
ーザ本体、４・・・ブロア、５・・・熱交換器、６・・
・供給ダクト、７・・・排出ダクト、８・・・ガス交換
器、９・・・電源、１０・・・ガス純化装置、２０．３
０・・・アキュームレータ、３１・・・ベローズチュー
ブ。 第２図
は同実施例におけるアキュームレータの構成例を示す概
略断面図である。 ｌ・・・レーザ主装置、２・・・充電回路、３・・・レ
ーザ本体、４・・・ブロア、５・・・熱交換器、６・・
・供給ダクト、７・・・排出ダクト、８・・・ガス交換
器、９・・・電源、１０・・・ガス純化装置、２０．３
０・・・アキュームレータ、３１・・・ベローズチュー
ブ。 第２図
Claims (3)
- （１）ガス媒体を励起させてレーザ光を発生させるレー
ザ本体からガスを循環させるためのガス循環装置を分離
し、前記レーザ本体とガス循環装置とをダクトを介して
接続するとともに、前記ダクトの途中にガス媒体の脈動
を吸収する脈動吸収装置を設けたガスレーザ装置。 - （２）前記脈動吸収装置は、前記ガス循環装置の吸入側
および吐出側のダクトに夫々設置される特許請求の範囲
第（１）項記載のガスレーザ装置。 - （３）前記脈動吸収装置はアキュームレータであり、該
アキュームレータのガス循環装置側にはベローズチュー
ブが設けられている特許請求の範囲第（１）項記載のガ
スレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15089286A JPS637680A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15089286A JPS637680A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637680A true JPS637680A (ja) | 1988-01-13 |
Family
ID=15506658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15089286A Pending JPS637680A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637680A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285686A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 気体レーザ装置 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP15089286A patent/JPS637680A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02285686A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 気体レーザ装置 |
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