JPS637868A - 板に積層するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、塗布ローラを用いて薄い剛直な板にＨＰＡ
するための、板を捕捉し且つ保持するための搬送装置を
有する装置に関する。

この装置は特に導体板を製造する際に板状の基材にフォ
トラッカまたは流体フォトレジスト材料を塗布するのに
使用される。

通常この種の板は水平に配置された塗布ローラによって
稜層され、水平状態で乾燥域をも通過する。しかしこの
方法は同時に両側が積層される導体板の場合には容易で
はない。従ってドイツ連邦共和国特許３１４９５８８で
は、板を垂直にして処理することを提案している。即ち
板は垂直にされて塗布ステーションとこれに続く乾燥域
を連続的に通過する。

この仕方にはまたこの仕方の欠点がある。即ちこの公知
の装置はープラント全体には組み込めないか或いは組み
込みがいろいろ困難である。なんとなれば導体板の一次
処理は水平位置で行なわれるからである。

従ってこの発明の課題は、水平位置で板の両側に施す積
層を可能にし、特に積屓の一様な塗布を目指すものであ
る。

この課麗は次のようなこの発明の特徴によって達成され
る。即ち水平な塗布ローラ上にワイパーをａ置し、これ
らのワイパー間の間隔を板の幅より狭くし、積層しない
縁部を両側に残し、塗布口−ラの直後に二本のコンペヤ
チェーシを配置し、これらのコンベヤチェーンはほぼ前
記ワイパーの間隔に対応していて、従ってコンベヤチェ
ーンが板の無積層の縁部を捕捉する。

このような構成によって導板は塗布ステーンヨンと直接
接続される乾燥域を連続的に通過することができる。板
の水平状態搬送は板の両側の一様な処置を可能にし、片
側のみ積層した板の場合にも一定の層形成を可能にする
。なんとなればワイパーは同時に板側面の材料堆積を阻
正するからである。

この発明の一態様では、積層を更に改善してあり、塗布
ローラの走入領域に光電子増倍管を設け、光電子増倍管
と光電子増倍管によって制御される上部塗布ローラとの
間隔を、板の前後の縁部を積層なしに残すように定めて
ある。このような周期駆動によって不規則な層厚の材料
堆積が防止される。こうしないとローラ下縁と導板の端
面との接触の際にそのような材料堆積が起こる。

一実施例を示した図について更に詳記する。

装置は板２０を機械の中心に向ける整向装置２を有する
取入口−ラコンベヤｌを有する。吸引帯３によって板２
０は二本の塗布ローラ５と６の間の間隙に給送される。

塗布ローラはそれぞれ配量ローラ７、８と共に作用する
。

二木の塗布ローラはその縁部領域にワイパーＩＱを備え
ている。ワイパー間の間隔Ｘは加工された導板２０の幅
Ａより僅かに短いので、板２０に塗布するとき両側に非
積層縁部２０Ａと２０Ｂとが残る。第３図に板２０の積
層された郎分を斜線で示してある。

塗布ローラ５、６に直ぐ接近して二本の平行するコンベ
ヤチェーンｌ！、１１’を配設してある。

その間隔ｙはほぼ二本のワイパー間の間隔Ｘに相当し、
従って捕捉要素は板２０を塗布ローラ５、６が去った後
積層されてない縁部２ＯＡ，２０Ｂの所で捕捉すること
ができ且つ乾燥ステーション１２、ｌ２゜に搬送する。

乾燥ステーシジンには多数の空気ノズルが板の両側に配
置されており、これらの空気ノズルは暖気を両側から一
様に板に吹き付け、積層物質を乾燥させる。

ローラの走大領域には光電子増倍管４を設けてあり、光
電子増倍管は圧搾空気シリンダ９、９゜を介して上の塗
布ローラ５の昇降運動を制御する。

制御工程はその場合次のように経過する。即ち仮２０の
端面縁部の通過の後初めて塗布ローラ５か板の軌道上に
降ろされ、その速度は、板の給送速度に応じて．、前縁
部がローラ中心部を通過したら、上の塗布ローラ５と板
の上面とか接触するような速度である。板の後縁部が光
電子増倍管を再び解放すると、上の塗布ローラ５が板端
郎の直前で持ち上げられる。

【図面の簡単な説明】

第！図は装置の側面図、第２図は第１図の装置の平面図
、第３図は装置の塗布領域の詳細図である。 図中符号 ４・・・光電子増倍管、５、６・・・塗布口−ラ、１０
・・・ワイパー、１１，１１゜・・・コンベヤチェーン
、２０−−−板、２ＯＡ，２０Ｂ・・・無猜層縁部、Ｘ
・・・ＩＯと１０の間隔、ｙ・・・１ｌと１１’の間隔
、２・・・光電子管と塗布ローラの間隔、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）薄い剛直な板に塗布ローラで積層するための、板を
   捕捉し且つ保持するための搬送装置を有する装置におい
   て、水平な塗布ローラ（５、６）にワイパー（１０）を
   載置してあり、ワイパー間の間隔（ｘ）は板の幅（Ａ）
   より短く設定することができ、従って積層のない縁部（
   ２０Ａ、２０Ｂ）が両側に残り、塗布ローラ（５、６）
   の直後に二本のコンベヤチェーン（１１、１１’）を設
   けてあり、コンベヤチェーンの間隔はほぼワイパー（１
   ０）の間隔（ｘ）に相当し、従ってコンベヤチェーン（
   １１、１１’）は板（２０）を積層のない縁部（２０Ａ
   、２０Ｂ）で捕捉するように構成したことを特徴とする
   、装置 ２）コンベヤチェーン（１１、１１’）の個々の継目板
   を連行部材として形成してあり、これらの連行部材は圧
   縮ばねによって板を捕捉する、特許請求の範囲１）に記
   載の装置。 ３）コンベヤチェーン（１１、１１’）がシュートによ
   って支持されている、特許請求の範囲１）に記載の装置
   。 ４）塗布ローラ（５、６）の走入領域に光電子増倍管（
   ４）を設けてあり、この光電子増倍管と光電子増倍管に
   よって制御され、持上げ可能な上部塗布ローラ（５）と
   の間隔を、板の前後縁部が積層なしに残るように定めて
   ある、特許請求の範囲１）に記載の装置。