JPS6380310A - Servo positioning device - Google Patents
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
本発明は、サーボ位置決め装置に係り、特に、NC工作
椴械、測定機、セツティングツール等に用いるのに好適
な、サーボモータの関与する駆動軸に沿って相対移動す
る2つの部材の相対位置を、速度イこ号及び位i (エ
サをサーボモータの制御回路にフィードバックすること
により自動制御するサーボ位置決め装置の改良に閂する
。The present invention relates to a servo positioning device, and in particular, the relative positioning of two members that move relatively along a drive shaft involving a servo motor, suitable for use in NC machine tools, measuring machines, setting tools, etc. This paper focuses on improving a servo positioning device that automatically controls speed and position i by feeding back feed to a servo motor control circuit.
【従来の技術]
NC工作殿械、測定礪、セツティングツール笠の分野に
おいて、サーボモータを用いて位置や速度の情報をフィ
ードバックすることにより、自うり的に工程を制御する
サーボamが普及してしている。
これらのサーボP4 mにおいても、加工や測定のの効
串化の要求に応じて、より高速化、當巴能(ヒが求めら
れている。
第6図は、高速化、眼措の簡略1ヒを目的として。
リニアサーボモータ12を用いてクローズトループで移
動テーブル10の位置決めを11うサーボシステムの祠
を示したものである。このサーボシステムにおいて、移
動テーブル10は図示しない案内機椙に拘束されている
が、X方向には、ロッド(2次導体)14とステータ1
6よりなるリニアサーボモータ12で駆動されている。
このサーボシステムにおいて、[’+27tのフィード
バックは、メインスケール18」−に形成された明暗の
縦縞状の周期的な目盛からなる格子19を用いて、該周
期的目盛に対応する目盛が形成されたインデックスケー
ル(図示省略)含にむ検出器20から、90’位相の異
なる2相の正弦波信号を出力し、これを計数回路22で
パルス化して、インクリメンタル方式で計数することに
よって行われる0図において、2・1はラッチ回路、2
6は比較回路、28は設定回路、30はCPU、32は
パスライン、34はモータ用ドライブ回路である。
一方、速度のフィードバックは、前記ステータ16に連
結された直線型速度センサ36からの信号を速度検出回
路38に入力して速度信号に変換した後、前記モータ用
ドライブ回路34に入力することによって行われる。前
記直線型速度センサ36は、交流タコメータを直線上に
展開したものとされている。
なお音速化は、リニアサーボモータを用いたサーボシス
テムだけでなく、スピンドル型のサーボモータを用いた
場合でも開発が進められている。
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら従来の装置においては、位置フィードバッ
ク要素が、インクリメンタル型の測長撮であるため、高
速で杉士すする場合に計数が追従できない場合がある。
又、工場の現j%は電源環境が悪く、途中でノイズが混
入し易いため、インクリメンタル型の場合には、誤差が
Wtnされて位置決め誤差が生ずる等の問題点を有して
いた。
なお、位置フィードバック要素として、ボールねじ1回
転内の侠い範囲ではアブソリュート型である、回転型ポ
テンションメータを用いれば上記の問題点は多少緩和さ
れるが、広範囲ではインクリメンタル型になるため、木
質的な解決策とはならない。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、応答速度に制限を受けることがなく、ノイズによ
る誤差も積算されることがないサーボ位ご決め装置を提
供することを目的とする。[Prior art] Servo AM, which automatically controls processes by feeding back position and speed information using a servo motor, has become popular in the fields of NC machining tools, measuring machines, and setting tool caps. I'm doing it. These servo P4m are also required to be faster and more efficient in response to demands for more efficient machining and measurement. This figure shows a servo system that positions a moving table 10 in a closed loop using a linear servo motor 12. In this servo system, the moving table 10 is restrained by a guide mechanism (not shown). However, in the X direction, the rod (secondary conductor) 14 and stator 1
It is driven by a linear servo motor 12 consisting of 6. In this servo system, the feedback of ['+27t is obtained by using a grating 19 formed on the main scale 18'-, which is made up of periodic scales in the form of vertical stripes of light and dark, and a scale corresponding to the periodic scale. A detector 20 including an index scale (not shown) outputs two-phase sine wave signals with different 90' phases, which are pulsed by a counting circuit 22 and counted in an incremental manner. In, 2.1 is a latch circuit, 2.
6 is a comparison circuit, 28 is a setting circuit, 30 is a CPU, 32 is a pass line, and 34 is a motor drive circuit. On the other hand, speed feedback is performed by inputting a signal from a linear speed sensor 36 connected to the stator 16 to a speed detection circuit 38, converting it into a speed signal, and then inputting it to the motor drive circuit 34. be exposed. The linear speed sensor 36 is an AC tachometer developed in a straight line. In order to increase the speed of sound, development is progressing not only in servo systems using linear servo motors, but also in cases where spindle-type servo motors are used. [Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional device, since the position feedback element is an incremental type length measurement, the counting may not be able to follow up when performing a high-speed suction. In addition, the current power supply environment in the factory is poor, and noise is likely to mix in during the process, so in the case of an incremental type, there are problems such as errors are reduced to Wtn and positioning errors occur. The above problem can be alleviated somewhat by using a rotary potentiometer, which is an absolute type within a narrow range within one rotation of a ball screw, as a position feedback element, but since it is an incremental type over a wide range, It is not a practical solution. The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a servo positioning device in which the response speed is not limited and errors due to noise are not accumulated. do.
本発明は、サーボモータの関与する駆動軸に沿って相対
移動する2つの部材の相対位置を、速度信号及び位置信
号をサーボモータの′:#制御回路にフィードバックす
ることにより自動制御するサーボ位置決め装置において
、一方の部材に、駆動軸に沿って非周期的パターンから
なる目盛を形成したスケールを配し、他方の部材に、前
記非周期的パターンから変位量を読取る検出器を配し、
その検出した値を位置信号として用いることにより、前
記目的を達成したものである。
又、本発明の実施R様は、前記非周期的パターンを、一
定ピッチで配設された基準エツジと該基準エツジを識別
する位置パターンとから構成したものである。
又、本発明の他の実施態様は、前記サーボモータを、前
記駆!IJ軸を2次導体とするリニアサーボモータとし
たものである。The present invention is a servo positioning device that automatically controls the relative positions of two members that move relative to each other along a drive shaft in which a servo motor is involved by feeding back a speed signal and a position signal to a ':# control circuit of a servo motor. A scale having a scale formed of an aperiodic pattern along the drive shaft is disposed on one member, and a detector for reading the amount of displacement from the aperiodic pattern is disposed on the other member,
The above object is achieved by using the detected value as a position signal. Further, in embodiment R of the present invention, the aperiodic pattern is composed of reference edges arranged at a constant pitch and a position pattern for identifying the reference edges. Further, in another embodiment of the present invention, the servo motor is driven by the servo motor. This is a linear servo motor with the IJ axis as the secondary conductor.
本発明においては、従来のインクリメンタル方式の変位
検出器による位置フィードバックに代えて、アブソリュ
ート方式の変位検出器で位置のフィードバックを行うよ
うにしている。従って、応答速度の制限がなく、又、ノ
イズが混入しても、誤差がWtnされて位置決め誤差が
生ずることがない。
又、前記非周期的パターンを、一定ピッチで配設された
基準エツジと該基準エツジを識別する位置パターンとか
ら構成した場合には、構成が簡略である。
又、前記サーボモータを、前記駆動軸を2次導体とする
リニアサーボモータとした場合には、本発明の効果が特
に大きい。In the present invention, instead of position feedback using a conventional incremental displacement detector, position feedback is performed using an absolute displacement detector. Therefore, there is no limit to the response speed, and even if noise is mixed in, the error will not be reduced to Wtn and a positioning error will not occur. Furthermore, if the aperiodic pattern is composed of reference edges arranged at a constant pitch and a position pattern for identifying the reference edges, the structure is simple. Furthermore, when the servo motor is a linear servo motor in which the drive shaft is a secondary conductor, the effects of the present invention are particularly great.
以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。
本発明の第1実施例においては、第1図に示す如く、従
来と同様のリニアサーボモータ12のロッド14と平行
にメインスケール18が配設されている。該メインスケ
ール18には、従来と同様の周期的目盛からなる第1格
子19と、非周期的な絶対目盛からなる第2格子60が
設けられている。
前記第1格子19は、所定ピッチの明暗の縞状パターン
からなり、従来と同様の第1検出器20には、対応する
パターンのインデックススケールが設けられている。従
って、移動テーブル10の変位に従って、2相の所定ピ
ッチの正弦波信号a1、blが出力される。この正弦波
信号a+、blは、「ハ変換回路62に入力されて、速
度に比例する速度信号qが生成され、モータ用ドライブ
回路34にフィードバックされている。
前記「ハ変換回路62は、例えば第2図に詳細に示す如
く、正弦波信号a1、blをそれぞれ2値化して2値信
号a2、blとするシュミット回路64.66と、移動
テーブル10の進行方向を弁別するための、JKフリッ
プフロップ70.72及びANDゲーデー4.76から
なる方向弁別回路68と、方向弁別回路68出力(a3
、b3)を長さの等しいパルスa、、b、に変換するた
めのパルス化回路78.80と、該パルスa、、b4を
直流信号に変換するための、整流ダイオード84.86
を含む整流回路82と、その差!lJ信号を増幅して速
度出力qとする差動増幅器88とから構成されている。
なお、差動増幅器88に、フィルタ効果を持たせても良
い。
このf/v変換回路62における、移動テーブル10が
右方向−停止−左方向に動く場合の各信号のタイムチャ
ートは第3図に示す如くである。即ち、2相の正弦波信
号a、、b、は、シュミット回路64.66で2値化さ
れて2ftg信号a2、blとなる0次いで方向弁別口
1@ 68によって移動テーブル10の進行方向に応じ
てパルスa3又はb3に変換される0次にパルス化回路
78.80によって長さの等しいパルスa4、b4に変
換され、それぞれ整流回路82で直流イス号に変換され
、その差出り増幅値が速度出力(1になる。原理的には
、移動テーブル10が一方向に早く移動すると、パルス
a4又はb<の周波数が高くなり整流値も大きくなるこ
とを利用し、移動方向に応じて速度出力には正負になる
。
又、前記メインスケール18上に形成された第2格子6
0は、第・1図に詳細に示す如く、一定ピッチPで配置
された基準エツジ90At含む線1幅1゛の基準パター
ン90と、該基準パターン相互を藏別するための、基準
パターン90の間に配置された、B−IJえは図の左側
の基準パターンが左側から何番目のパターンであるかを
示す、線幅srnビットのバイナリパターンからなる位
置パターン92とからなっている。この第2格子60に
相対して配設される第2検出器94には、第4図に示さ
れるような、少くとも2本の基準エツジ90Aの係を同
時に受光可能な受光長りを有する、画素ピッチ℃、画L
QNのラインセンサ96が含まれており、基準パターン
90の識別と、ラインセンサ96の例えば左端の画素9
6Aから基準パターンまでの長さYに基づいて、第1図
の原点から現在位置までの距離を分sg:1μmで検出
できるよう ゛にされている。第2図のピッチPを5n
1、位置パターン92を9ビツトまで設ければ、約2.
51の範囲まで絶対値を検出することができる。
この第2検出器94の出力による距離検出は、アブソリ
ュート検出回路98で行われ、その値が位R18号とし
てCPU30に直接取込まれる。このアブソリュート検
出回路98は、インクリメンタル型と異なり、計で;値
が求まるまでに100μsec程度の時間が必要である
ため、演算が終る毎に、ラッチ回路2・1に値を保持し
ている。
なお、一定ピッチで配設された基準エツジと該基準エツ
ジを識別する位置パターンを利用した絶 ′対位置検出
に関しては、出願人が既に特願昭61−157581で
提案しているので、詳細は、この先願を参照されたい。
この第1実施例は、本発明を、駆動軸を2次秤体とする
リニアサーボモータ12に適用しており、本発明が特に
効果的である。
なお、本発明の適用範囲はこれに限定されず、第5図に
示す第2実施例のように、スピンドル型のサーボモータ
100でボールねじ102を駆動し、移動テーブル10
の位置決めを行うNCサーボ装置に本発明を適用して、
その位置フィードバック要素として第1実施例と同様の
アブソリュート型測長器を用いることも可能である0図
において、104はギヤボックスである。他の点につい
ては前記第1実施例と同様であるので説明は省略する。
前記実施例においては、いずれも、アブソリュート方式
の第2格子60及び第2検出器94として、光学式スケ
ールが用いられていたが、アブソリュート方式の測長器
はこれに限定されず、11程度の範囲を10μm程度の
分解能で測長できるものであれば、例えば静電容量式ス
ケール等、他のスケールを用いることも可能である。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, a main scale 18 is arranged parallel to a rod 14 of a linear servo motor 12 similar to the conventional one. The main scale 18 is provided with a first grating 19 consisting of a periodic scale similar to the conventional one, and a second grating 60 consisting of an aperiodic absolute scale. The first grating 19 consists of a bright and dark striped pattern with a predetermined pitch, and the first detector 20, similar to the conventional one, is provided with an index scale of a corresponding pattern. Therefore, according to the displacement of the moving table 10, two-phase sine wave signals a1 and bl of a predetermined pitch are output. The sine wave signals a+ and bl are input to a conversion circuit 62 to generate a speed signal q proportional to the speed, which is fed back to the motor drive circuit 34. As shown in detail in FIG. 2, there are Schmitt circuits 64 and 66 that binarize the sine wave signals a1 and bl into binary signals a2 and bl, respectively, and a JK flip-flop for discriminating the traveling direction of the moving table 10. A direction discrimination circuit 68 consisting of a 70.72 and an AND 4.76
, b3) into pulses a,, b, of equal length, and a rectifier diode 84,86 for converting the pulses a,, b4 into DC signals.
The rectifier circuit 82 including the difference! It is comprised of a differential amplifier 88 that amplifies the lJ signal and outputs the speed output q. Note that the differential amplifier 88 may have a filter effect. A time chart of each signal in the f/v conversion circuit 62 when the moving table 10 moves from right to stop to left is as shown in FIG. That is, the two-phase sine wave signals a, , b are binarized by Schmitt circuits 64 and 66 to become 2ftg signals a2 and bl. The zero order pulses are converted into pulses a3 or b3 by the pulsing circuits 78 and 80, which are converted into pulses a4 and b4 of equal length by the rectifying circuit 82, respectively, and the difference amplification value is the speed. Output (becomes 1.In principle, when the moving table 10 moves quickly in one direction, the frequency of pulse a4 or b< becomes higher and the rectification value also becomes larger. are positive and negative. Also, the second grating 6 formed on the main scale 18
0, as shown in detail in FIG. 1, includes a reference pattern 90 with a width of 1 inch per line including reference edges 90At arranged at a constant pitch P, and a reference pattern 90 for distinguishing the reference patterns from each other. The B-IJ pattern placed in between is composed of a position pattern 92 consisting of a binary pattern with a line width of srn bits, which indicates the number of patterns from the left side of the reference pattern on the left side of the figure. The second detector 94 disposed opposite to the second grating 60 has a light receiving length capable of simultaneously receiving light from at least two reference edges 90A, as shown in FIG. , pixel pitch ℃, image L
A QN line sensor 96 is included, and is used to identify the reference pattern 90 and to identify, for example, the leftmost pixel 9 of the line sensor 96.
Based on the length Y from 6A to the reference pattern, the distance from the origin to the current position in FIG. 1 can be detected in minutes sg: 1 μm. The pitch P in Figure 2 is 5n.
1. If the position pattern 92 is provided up to 9 bits, approximately 2.
Absolute values can be detected up to a range of 51. Distance detection based on the output of the second detector 94 is performed by an absolute detection circuit 98, and the value thereof is directly input to the CPU 30 as position R18. Unlike the incremental type, this absolute detection circuit 98 requires about 100 μsec in total to determine the value, so the value is held in the latch circuits 2 and 1 every time the calculation is completed. Regarding absolute position detection using reference edges arranged at a constant pitch and a position pattern for identifying the reference edges, the applicant has already proposed in Japanese Patent Application No. 157581/1983, so details are not provided. , see this earlier application. In this first embodiment, the present invention is applied to a linear servo motor 12 whose drive shaft is a secondary scale body, and the present invention is particularly effective. Note that the scope of application of the present invention is not limited to this, and as in a second embodiment shown in FIG.
By applying the present invention to an NC servo device that performs positioning,
It is also possible to use an absolute type length measuring device similar to that of the first embodiment as the position feedback element. In FIG. 0, 104 is a gear box. The other points are the same as those of the first embodiment, so the explanation will be omitted. In each of the above embodiments, an optical scale was used as the second grating 60 and the second detector 94 of the absolute method, but the absolute method length measuring device is not limited to this, and the length measuring device of about 11 is used. It is also possible to use other scales, such as a capacitive scale, as long as the range can be measured with a resolution of about 10 μm.
以」二説明した通り、本発明によれば、アブソリュート
方式の位置フィードバック要素を用いているので、応答
速度のホ11限がない、又、ノイズが混入しても、誤差
がr算されて位置決y)誤差が生ずることがない等の殴
れた効果を有する。As explained below, according to the present invention, since an absolute type position feedback element is used, there is no limit to the response speed, and even if noise is mixed, the error is calculated and the position is determined. y) It has the advantage of eliminating the possibility of errors.
第1図は、本発明に係るサーボ位置決め装置の第1実施
例の全体構成を示すブロック線図、第2図は、第1実施
例で用いられているf/v変換回路の梢成例を示す回路
図、第3図は、第2図に示したf/v変換回路の各部信
号波形の例を示す線図、第4図は、第1実施例で用いら
れている第2格子と第2検出器の構成を示す拡大展開図
、第5図は、第2実施例の仝体措成を示すブロック線図
、第6図は、従来のクローズドルーズによるサーボ位置
決め装置の一例の構成を示すブロック線図である。
10・・・移動テーブル、
12・・・リニアサーボモータ、
14・・・ロッド(2次導体)、
16・・・ステータ、
18・・・メインスケール、
19.60川格子、
20.94・・・検出器、
98・・・アブソリュート検出回路、
100・・・サーボモータ。FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a first embodiment of a servo positioning device according to the present invention, and FIG. 2 shows an example of the top configuration of an f/v conversion circuit used in the first embodiment. FIG. 3 is a diagram showing examples of signal waveforms of each part of the f/v conversion circuit shown in FIG. 2, and FIG. 2. FIG. 5 is a block diagram showing the structure of the second embodiment. FIG. 6 is a diagram showing the structure of an example of a conventional closed loop servo positioning device. It is a block diagram. 10...Moving table, 12...Linear servo motor, 14...Rod (secondary conductor), 16...Stator, 18...Main scale, 19.60 River grid, 20.94...・Detector, 98... Absolute detection circuit, 100... Servo motor.
Claims (3)
する2つの部材の相対位置を、速度信号及び位置信号を
サーボモータの制御回路にフィードバックすることによ
り自動制御するサーボ位置決め装置において、 一方の部材に、駆動軸に沿つて非周期的パターンからな
る目盛を形成したスケールを配し、他方の部材に、前記
非周期的パターンから変位量を読取る検出器を配し、 その検出した値を位置信号として用いることを特徴とす
るサーボ位置決め装置。(1) In a servo positioning device that automatically controls the relative positions of two members that move relative to each other along a drive shaft involving a servo motor by feeding back a speed signal and a position signal to the control circuit of the servo motor, one A scale with a scale formed of a non-periodic pattern is placed on one member, and a detector that reads the amount of displacement from the non-periodic pattern is placed on the other member, and the detected value is used as a position indicator. A servo positioning device characterized by being used as a signal.
た基準エッジと該基準エッジを識別する位置パターンと
から構成されている特許請求の範囲第1項記載のサーボ
位置決め装置。(2) The servo positioning device according to claim 1, wherein the non-periodic pattern is composed of reference edges arranged at a constant pitch and a position pattern for identifying the reference edges.
るリニアサーボモータである特許請求の範囲第1項又は
第2項記載のサーボ位置決め装置。(3) The servo positioning device according to claim 1 or 2, wherein the servo motor is a linear servo motor in which the drive shaft is a secondary conductor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22529786A JPS6380310A (en) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | Servo positioning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22529786A JPS6380310A (en) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | Servo positioning device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6380310A true JPS6380310A (en) | 1988-04-11 |
Family
ID=16827130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22529786A Pending JPS6380310A (en) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | Servo positioning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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- 1986-09-24 JP JP22529786A patent/JPS6380310A/en active Pending
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