JPS638262A - 炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法 - Google Patents
炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法Info
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は耐熱性、耐摩耗性及び耐腐食性等に優れた特性
を有し、耐熱高温材料及び軸封部の封止用摺動材料とし
て期待される超緻密化した炭化珪素焼結体からなる摺動
部材およびその製造方法に関する。
を有し、耐熱高温材料及び軸封部の封止用摺動材料とし
て期待される超緻密化した炭化珪素焼結体からなる摺動
部材およびその製造方法に関する。
（従来の技術）
炭化珪素焼結体は耐熱性、耐摩耗性及び耐腐食性等に優
れた特性を有し、したがって、高温かつ高応力の条件が
要求される例えばガスタービンの摺動構成部材として、
また摩耗量が小さく、高い熱伝導率を要求される例えば
軸受やメカニカルシール等の摺動部材として活用される
。
れた特性を有し、したがって、高温かつ高応力の条件が
要求される例えばガスタービンの摺動構成部材として、
また摩耗量が小さく、高い熱伝導率を要求される例えば
軸受やメカニカルシール等の摺動部材として活用される
。
炭化珪素焼結体からなる摺動部材は炭化珪素に焼結助材
としてホウ素及び炭素を添加してなる組成物を不活性雰
囲気中において、２０００℃以上の高温かつ常圧で焼結
する常圧焼結法によって得られる。
としてホウ素及び炭素を添加してなる組成物を不活性雰
囲気中において、２０００℃以上の高温かつ常圧で焼結
する常圧焼結法によって得られる。
しかし、常圧焼結法では気孔や不純物（主として焼結剤
）が粒界に偏析することから、その特性は、曲げ強度が
４０〜８０Ｋｇ／ ｍ ｒｒＩ′、密度が９５％ 〜９
８χ、熱伝導率が０．２ ｃａ文／ｃｕｅｓ番℃程度に
制限される。
）が粒界に偏析することから、その特性は、曲げ強度が
４０〜８０Ｋｇ／ ｍ ｒｒＩ′、密度が９５％ 〜９
８χ、熱伝導率が０．２ ｃａ文／ｃｕｅｓ番℃程度に
制限される。
しかし、この程度の曲げ強度では、少なくとも７０Ｋｇ
／ｍゴの曲げ強度を要求されるガスタービン摺動構成部
材のような熱機関部品として強度的に不満足である。ま
た、メカニカルシールや軸受等の摺動部材において、耐
摩耗性とともに要求される熱伝導率の点でも、炭化珪素
の単結晶が高い熱伝導率１．２ ｃａｌ／ｃ鳳・Ｓ・℃
を有しているにもかかわらず、気孔や不純物及び粒界等
が熱伝導をつかさどる格子振動の伝搬を妨げることによ
り前述の値に低下する。しかも、巨大粒成長にともない
耐摩耗性の低下を招くおそれがある。
／ｍゴの曲げ強度を要求されるガスタービン摺動構成部
材のような熱機関部品として強度的に不満足である。ま
た、メカニカルシールや軸受等の摺動部材において、耐
摩耗性とともに要求される熱伝導率の点でも、炭化珪素
の単結晶が高い熱伝導率１．２ ｃａｌ／ｃ鳳・Ｓ・℃
を有しているにもかかわらず、気孔や不純物及び粒界等
が熱伝導をつかさどる格子振動の伝搬を妨げることによ
り前述の値に低下する。しかも、巨大粒成長にともない
耐摩耗性の低下を招くおそれがある。
したがって、炭化珪素焼結体の強度、ｖ、度、熱伝導率
、耐摩耗性等の向上を図るために、高温加圧焼結法が奨
拘られるけれども、この方法は生産性に劣り大量生産に
適しない、また焼結体の形状に制約をうけるため、例え
ばガスタービンロータのような羽根部を有する複雑な形
状の焼結体を得ることが困難である。
、耐摩耗性等の向上を図るために、高温加圧焼結法が奨
拘られるけれども、この方法は生産性に劣り大量生産に
適しない、また焼結体の形状に制約をうけるため、例え
ばガスタービンロータのような羽根部を有する複雑な形
状の焼結体を得ることが困難である。
そこで、ＨＩＰ処理（熱間静水圧プレス法）により高強
度、高密度及び高熱伝導率を有し、かつ耐摩耗性に優れ
た焼結体を得る技術が特開昭８０−２５５６７２号公報
により提案された。
度、高密度及び高熱伝導率を有し、かつ耐摩耗性に優れ
た焼結体を得る技術が特開昭８０−２５５６７２号公報
により提案された。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、前記従来の旧Ｐ処理では１８５０〜２０００℃
の温度で！００気圧以上の処理条件が要求される。
の温度で！００気圧以上の処理条件が要求される。
このような高温を要求される）ＩＩＰ ％理では、極め
て高い高温強度を有するＨＩＰ処理炉が必要であり、処
理装置の価格が高価格化する。
て高い高温強度を有するＨＩＰ処理炉が必要であり、処
理装置の価格が高価格化する。
また、２０００℃付近の高温領誠の温度測定には、高価
なＷＲｅ系の熱電対が用いられるけれども、熱劣化が激
しく数サイクル程度の使用で使用不能になり、それにと
もなうトラブルやメンテナンス上の弊害を招き１元来、
比較的高いとされているＨＩＰ処理のランニングコスト
をさらに高める要因になっている。
なＷＲｅ系の熱電対が用いられるけれども、熱劣化が激
しく数サイクル程度の使用で使用不能になり、それにと
もなうトラブルやメンテナンス上の弊害を招き１元来、
比較的高いとされているＨＩＰ処理のランニングコスト
をさらに高める要因になっている。
そのために、炭化珪素焼結体の旧Ｐ処理を可及的低温で
行うことが要請されるけれども、焼結助材としてホウ素
や炭素系のものを用いる場合は、拡散クリープによって
緻密化されるところから。
行うことが要請されるけれども、焼結助材としてホウ素
や炭素系のものを用いる場合は、拡散クリープによって
緻密化されるところから。
１８５０℃以上、好ましくは２０００℃以上の高温で処
理せざるを得ない。
理せざるを得ない。
本発明者らは、前記従来技術の背景に鑑み鋭意研究の結
果、炭化珪素にホウ素、アルミニウム又はアルミニウム
化合物及び非結合炭素とからなる焼結助剤を添加した混
合物からなる組成を一定組成範囲とするとともに、これ
らを一定温度範囲において前焼成することで、密度９５
％以上の炭化珪素前焼成体を得たのち、この炭化珪素前
焼成体を１６５０〜１８５０℃未満の低温領域で１００
０気圧以上の圧力を加えて、ＨＩＰ処理することにより
、相対密度１００％に近い超微密化した高強度な炭化珪
素焼結体からなる摺動部材が得られることを見出した。
果、炭化珪素にホウ素、アルミニウム又はアルミニウム
化合物及び非結合炭素とからなる焼結助剤を添加した混
合物からなる組成を一定組成範囲とするとともに、これ
らを一定温度範囲において前焼成することで、密度９５
％以上の炭化珪素前焼成体を得たのち、この炭化珪素前
焼成体を１６５０〜１８５０℃未満の低温領域で１００
０気圧以上の圧力を加えて、ＨＩＰ処理することにより
、相対密度１００％に近い超微密化した高強度な炭化珪
素焼結体からなる摺動部材が得られることを見出した。
（問題点を解決するための手段）
本発明に係る炭化珪素焼結体からなる摺動部材では、炭
化珪素に０．０３〜４重量２のホウ素、 Ｏ，ＯＳ〜２
重量工のアルミニウム又はアルミニウム化合物及び０．
５〜１５重量２の非結合炭素を添加した混合物からなる
成形体を焼結させ、さらに）ＩＩＰ処理したことを要旨
とする炭化珪素焼結体からなる摺動部材であり、アルミ
ニウム又はアルミニウム化合物を添加することによって
、低温）１１Ｐ処理を可能とならしめこれによって相対
密度ｔｏｏｘに近い超′／＆密化した摺動部材が得られ
る。
化珪素に０．０３〜４重量２のホウ素、 Ｏ，ＯＳ〜２
重量工のアルミニウム又はアルミニウム化合物及び０．
５〜１５重量２の非結合炭素を添加した混合物からなる
成形体を焼結させ、さらに）ＩＩＰ処理したことを要旨
とする炭化珪素焼結体からなる摺動部材であり、アルミ
ニウム又はアルミニウム化合物を添加することによって
、低温）１１Ｐ処理を可能とならしめこれによって相対
密度ｔｏｏｘに近い超′／＆密化した摺動部材が得られ
る。
また、本発明に係る炭化珪素焼結体の製造方法は、炭化
珪素に０．０３〜４重量ｔのホウ素、 ０．０５〜２重
量２のアルミニウム又はアルミニウム化合物及び０．５
〜１５重量２の非結合炭素を添加した混合物からなる成
形体を形成し、この成形体を不活性雰囲気中１７５０〜
１８５０℃の温度で前焼成体密度が９５２以上になるよ
うに前焼成し、その後不活性雰囲気中１６５０〜１８５
０度未満の温度と１０００気圧以上の圧力でＨＩＰ処理
するようにしている。
珪素に０．０３〜４重量ｔのホウ素、 ０．０５〜２重
量２のアルミニウム又はアルミニウム化合物及び０．５
〜１５重量２の非結合炭素を添加した混合物からなる成
形体を形成し、この成形体を不活性雰囲気中１７５０〜
１８５０℃の温度で前焼成体密度が９５２以上になるよ
うに前焼成し、その後不活性雰囲気中１６５０〜１８５
０度未満の温度と１０００気圧以上の圧力でＨＩＰ処理
するようにしている。
（作 用）
本発明においては、炭化珪素粒内へのアルミニウム又は
アルミニウム化合物の固溶拡散と、１０００気圧以上の
高圧力によって拡散クリープが促進され、低温ＨＩＰ処
理にもかかわらず相対密度が１００２に近い超微密化し
た高強度の炭化珪素焼結体からなる摺動部材が得られる
。
アルミニウム化合物の固溶拡散と、１０００気圧以上の
高圧力によって拡散クリープが促進され、低温ＨＩＰ処
理にもかかわらず相対密度が１００２に近い超微密化し
た高強度の炭化珪素焼結体からなる摺動部材が得られる
。
（実施例）
平均粒径ＩＪＬ１１以下のα型もしくＩよβ型炭イヒ珪
素の微粉末を原料として、この原料に対し焼結助剤とし
てのホウ素を０．０３〜４重量２ （好まし゛〈１士０
ｏ０５〜０．１５重量％）、アルミニウム又はアルミニ
ウム化合物を０．０５〜２重量２ （好ましくは０．１
〜０．５重量２）及び非結合炭素を０．５〜１５重量２
の範囲の量だけ添加し、充分に混合して成形用原料を得
る。
素の微粉末を原料として、この原料に対し焼結助剤とし
てのホウ素を０．０３〜４重量２ （好まし゛〈１士０
ｏ０５〜０．１５重量％）、アルミニウム又はアルミニ
ウム化合物を０．０５〜２重量２ （好ましくは０．１
〜０．５重量２）及び非結合炭素を０．５〜１５重量２
の範囲の量だけ添加し、充分に混合して成形用原料を得
る。
しかるのち、この原料をプレス成形し、この成形体を不
活性雰囲気（例えばアルゴン雰囲気）中で下記第１表に
示す前焼成温度で前焼成した。つづいて、前焼成によっ
て得た前焼成体を不活性雰囲気（例えばアルゴン雰囲気
）中で第１表に示す）＋ＩＰ処理条件にてＨＩＰ処理を
行い、第１表に示すＮｏ、ｌ〜Ｎｏ、１１及びＮｏ、１
５の試料を得、さらに焼結助剤としてＡ文を添加しない
比較試料、つまり従来技術の試料をＮｏ、１２〜Ｎｏ、
１４に示す。
活性雰囲気（例えばアルゴン雰囲気）中で下記第１表に
示す前焼成温度で前焼成した。つづいて、前焼成によっ
て得た前焼成体を不活性雰囲気（例えばアルゴン雰囲気
）中で第１表に示す）＋ＩＰ処理条件にてＨＩＰ処理を
行い、第１表に示すＮｏ、ｌ〜Ｎｏ、１１及びＮｏ、１
５の試料を得、さらに焼結助剤としてＡ文を添加しない
比較試料、つまり従来技術の試料をＮｏ、１２〜Ｎｏ、
１４に示す。
（以下余白）
前記第１表において、試料Ｎｏ、２．Ｎｏ、３．Ｎａ４
．Ｎｏ。
．Ｎｏ。
１０、Ｎｏ、１１及びＮｏ、１５は本発明範囲内のもの
で）ＩＩＰ処理として１０００気圧以上、温度が１８５
０℃未満の低温でも相対密度が１０ｏｚに近い超高密度
焼結体が得られ、曲げ強度も７０Ｋｇ／ｍｒｎ’以上を
確保した。
で）ＩＩＰ処理として１０００気圧以上、温度が１８５
０℃未満の低温でも相対密度が１０ｏｚに近い超高密度
焼結体が得られ、曲げ強度も７０Ｋｇ／ｍｒｎ’以上を
確保した。
これに比べて、試料Ｎｏ、１．Ｎｏ、８．Ｎｏ、＋２で
示す比較品の如＜ ＨＩＰ処理温度を１８５０℃以上（
特に１９００℃〜２０００℃）の高温にした場合、異常
な粒子成長が見られ、さらにＡ文を焼結助剤として添加
しない従来技術の試料Ｎｏ、１２〜Ｎｏ、 １４におい
ては。
示す比較品の如＜ ＨＩＰ処理温度を１８５０℃以上（
特に１９００℃〜２０００℃）の高温にした場合、異常
な粒子成長が見られ、さらにＡ文を焼結助剤として添加
しない従来技術の試料Ｎｏ、１２〜Ｎｏ、 １４におい
ては。
ＨＩＰ処理条件として、２０００気圧、１９００℃以上
の温度にしないと密度があがらず、試料Ｎｏ、＋２では
、粒子成長が見られ、逆に試料Ｎｏ、１４の如く、１８
５０℃では、！＆密化が不足していることが確認された
。
の温度にしないと密度があがらず、試料Ｎｏ、＋２では
、粒子成長が見られ、逆に試料Ｎｏ、１４の如く、１８
５０℃では、！＆密化が不足していることが確認された
。
さらに、試料Ｎ００６〜Ｎ００８の比較品では、１（Ｉ
Ｐ処理条件として、圧力を１０００気圧未満（３００気
圧）にした場合、相対密度が低下する傾向にあり好まし
くない、また、試料Ｎｏ、５の比較品のように、ＨＩＰ
処理条件として温度を１６５０℃を下回る場合も、相対
密度の低下が認められた。
Ｐ処理条件として、圧力を１０００気圧未満（３００気
圧）にした場合、相対密度が低下する傾向にあり好まし
くない、また、試料Ｎｏ、５の比較品のように、ＨＩＰ
処理条件として温度を１６５０℃を下回る場合も、相対
密度の低下が認められた。
第１図はＨＩＰ返理温度と）ＩＩＰ処理後の密度との関
係を試料Ｎ００１〜Ｎｏ、５ 、 Ｎｏ、６〜Ｎｏ、８
及びＮｏ、１２〜Ｎｏ、１４のそれぞれについて示して
いる。同図において１本発明範囲内の試料Ｎｃ＋、２．
Ｎｏ、３ 、Ｎｏ、４は１７００℃〜１８５０℃の低温
領域において、相対密度１００ｔに近い値を得ることが
判る。
係を試料Ｎ００１〜Ｎｏ、５ 、 Ｎｏ、６〜Ｎｏ、８
及びＮｏ、１２〜Ｎｏ、１４のそれぞれについて示して
いる。同図において１本発明範囲内の試料Ｎｃ＋、２．
Ｎｏ、３ 、Ｎｏ、４は１７００℃〜１８５０℃の低温
領域において、相対密度１００ｔに近い値を得ることが
判る。
さらに、第２表に本発明により製造された炭化珪素焼結
体からなる摺動部材をメカニカルシールのシールリング
としてテストした結果を示す。
体からなる摺動部材をメカニカルシールのシールリング
としてテストした結果を示す。
（以下余白）
前記第２表において熱伝導率が従来の２〜３倍に向上し
、かつ粒界強度が向上した結果優れた摺動特性を有する
ことが明らかとなった。
、かつ粒界強度が向上した結果優れた摺動特性を有する
ことが明らかとなった。
炭化珪素焼結体は、へき開性の強い結晶であるから、従
来の常圧焼結法によって得た炭化珪素焼結体をメカニカ
ルシールの摺動部材として用いた場合、しばしば摺動面
に雲母のような薄片状の摩耗脱落を認め、摺動という熱
剪断応力によって炭化珪素焼結体粒子のへき開摩耗を生
じることが明らかであり、特に常圧焼結法によって得た
炭化珪素焼結体の異常粒成長組織の場合、その現象が最
も著しい。
来の常圧焼結法によって得た炭化珪素焼結体をメカニカ
ルシールの摺動部材として用いた場合、しばしば摺動面
に雲母のような薄片状の摩耗脱落を認め、摺動という熱
剪断応力によって炭化珪素焼結体粒子のへき開摩耗を生
じることが明らかであり、特に常圧焼結法によって得た
炭化珪素焼結体の異常粒成長組織の場合、その現象が最
も著しい。
しかし、本発明に係るＨＩＰ処理を施した炭化珪素焼結
体からなる摺動部材をメカニカルシールに用いた場合、
自らは勿論、相手材である焼結カーボンをもＳ耗させな
い、また摺動トルクが従来に比べて低く、しかも非常に
安定である等、優れた特性を示す。
体からなる摺動部材をメカニカルシールに用いた場合、
自らは勿論、相手材である焼結カーボンをもＳ耗させな
い、また摺動トルクが従来に比べて低く、しかも非常に
安定である等、優れた特性を示す。
一方、ＨＩＰ処理された炭化珪素焼結体からなる摺動部
材でも、巨大粒成長した場合１強度低下が認められるけ
れども、この炭化珪素焼結体からなる摺動部材をメカニ
カルシールに使用した場合、従来の常圧焼結法によって
得た炭化珪素焼結体の場合のような摺動性衡の低下を認
めない。
材でも、巨大粒成長した場合１強度低下が認められるけ
れども、この炭化珪素焼結体からなる摺動部材をメカニ
カルシールに使用した場合、従来の常圧焼結法によって
得た炭化珪素焼結体の場合のような摺動性衡の低下を認
めない。
この事実は、ＨＩＰ処理によって熱伝導性が向上すると
ともに、粒界隙間が狭められることによって、粒界強度
が向上し、粒子のへき開摩耗が抑制されるためと考えら
れる。
ともに、粒界隙間が狭められることによって、粒界強度
が向上し、粒子のへき開摩耗が抑制されるためと考えら
れる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、焼結助剤として
所定量のホウ素及び非結合炭素の他にアルミニウム又は
アルミニウム化合物を添加混合した成形体を形成し、こ
の形成体を不活性雰囲気中１７５０〜１８５０℃の温度
で前焼成体密度が９５ｚ以上になるように前焼成し、そ
の後不活性雰囲気中に１６５０〜１８５０℃未満の温度
と１０００気圧以上の圧力で）ＩＩ’Ｐ処理するように
製造されて、得られた摺動部材は、炭化珪素粒内へのア
ルミニウム又はアルミニウム化合物の固溶拡散と、１０
００気圧以上の高圧力によって拡散クリープが促進され
るから、低温処理であるのにもかかわらず、超！ｌｋＳ
化した高強度な特性と、高い熱伝導率及び優れた摺動特
性を有する炭化珪素焼結体からなる摺動部材を得ること
ができる。
所定量のホウ素及び非結合炭素の他にアルミニウム又は
アルミニウム化合物を添加混合した成形体を形成し、こ
の形成体を不活性雰囲気中１７５０〜１８５０℃の温度
で前焼成体密度が９５ｚ以上になるように前焼成し、そ
の後不活性雰囲気中に１６５０〜１８５０℃未満の温度
と１０００気圧以上の圧力で）ＩＩ’Ｐ処理するように
製造されて、得られた摺動部材は、炭化珪素粒内へのア
ルミニウム又はアルミニウム化合物の固溶拡散と、１０
００気圧以上の高圧力によって拡散クリープが促進され
るから、低温処理であるのにもかかわらず、超！ｌｋＳ
化した高強度な特性と、高い熱伝導率及び優れた摺動特
性を有する炭化珪素焼結体からなる摺動部材を得ること
ができる。
第１図は旧Ｐ処理温度と）ＩＩＰ処理後の密度との関係
を示すグラフである。 特許出願人 日木ピラー工業株式会社代 理 人
弁理士 鈴江 孝−の 手続補正書 １、 事件の表示 特願昭６１−１５０１２４号 ２、 発明の名称 炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法３
、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 日本ピラー工業株式会社 ４、 代理人 住所 大阪市北区神山町８番１号 梅田辰已ビル明細
書の特許請求の範囲の欄および図面（１） 明細書の特
許請求の範囲の欄の記載を別のと差し替える。 以上 特許請求の範囲 （１） 炭化珪素に０．０３〜４重量２のホウ素。 ０．０５〜２重量％のアルミニウム又はアルミニウム化
合物及び０．５〜１５重量２の非結合炭素を添加した混
合物からなる成形体を焼結させ、さらに）ＩＩＰ処理し
たことを特徴とする炭化珪素焼結体からなる摺動部材。 （２） 炭化珪素に０．０３〜４重Ｍｚのホウ素。 ０．０５〜２重量％のアルミニウム又はアルミニウム化
合物及び０．５〜１５重量２の非結合炭素を添加した混
合物からなる成形体を形成し、この成形体を不活性雰囲
気中１７５０〜１９５０ ℃の温度で前焼成体密度が
９５Ｘ以上になるように前焼成し、その後不活性雰囲気
中１８５０−１８５０℃未満の温度と１０００気圧以上
の圧力でＨＩＰ処理することを特徴とする炭化珪素焼結
体からなる摺動部材の製造方法。 ８ の
を示すグラフである。 特許出願人 日木ピラー工業株式会社代 理 人
弁理士 鈴江 孝−の 手続補正書 １、 事件の表示 特願昭６１−１５０１２４号 ２、 発明の名称 炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法３
、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 日本ピラー工業株式会社 ４、 代理人 住所 大阪市北区神山町８番１号 梅田辰已ビル明細
書の特許請求の範囲の欄および図面（１） 明細書の特
許請求の範囲の欄の記載を別のと差し替える。 以上 特許請求の範囲 （１） 炭化珪素に０．０３〜４重量２のホウ素。 ０．０５〜２重量％のアルミニウム又はアルミニウム化
合物及び０．５〜１５重量２の非結合炭素を添加した混
合物からなる成形体を焼結させ、さらに）ＩＩＰ処理し
たことを特徴とする炭化珪素焼結体からなる摺動部材。 （２） 炭化珪素に０．０３〜４重Ｍｚのホウ素。 ０．０５〜２重量％のアルミニウム又はアルミニウム化
合物及び０．５〜１５重量２の非結合炭素を添加した混
合物からなる成形体を形成し、この成形体を不活性雰囲
気中１７５０〜１９５０ ℃の温度で前焼成体密度が
９５Ｘ以上になるように前焼成し、その後不活性雰囲気
中１８５０−１８５０℃未満の温度と１０００気圧以上
の圧力でＨＩＰ処理することを特徴とする炭化珪素焼結
体からなる摺動部材の製造方法。 ８ の
Claims (2)
- （１）炭化珪素に０．０３〜４重量％のホウ素、０．０
５〜２重量％のアルミニウム又はアルミニウム化合物及
び０．５〜１５重量％の非結合炭素を添加した混合物か
らなる成形体を焼結させ、さらにＨＩＰ処理したことを
特徴とする炭化珪素焼結体からなる摺動部材。 - （２）炭化珪素に０．０３〜４重量％のホウ素、０．０
５〜２重量％のアルミニウム又はアルミニウム化合物及
び０．５〜１５重量％の非結合炭素を添加した混合物か
らなる成形体を形成し、この成形体を不活性雰囲気中１
７５０〜９５０℃の温度で前焼成体密度が９５％以上に
なるように前焼成し、その後不活性雰囲気中１６５０〜
１８５０℃未満の温度と１０００気圧以上の圧力でＨＩ
Ｐ処理することを特徴とする炭化珪素焼結体からなる摺
動部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61150124A JPS638262A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | 炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61150124A JPS638262A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | 炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638262A true JPS638262A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15490003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61150124A Pending JPS638262A (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | 炭化珪素焼結体からなる摺動部材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS638262A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007321797A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Kyocera Corp | 摺動部材およびこれを用いたメカニカルシールリング |
| WO2021220849A1 (ja) * | 2020-04-28 | 2021-11-04 | 京セラ株式会社 | 摺動部材および製紙部材 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54122311A (en) * | 1978-03-15 | 1979-09-21 | Hiroshige Suzuki | High density silicon carbide sintered body and preparation thereof |
| JPS6081064A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-09 | ティーディーケイ株式会社 | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| JPS60255672A (ja) * | 1984-05-30 | 1985-12-17 | 京セラ株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP61150124A patent/JPS638262A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54122311A (en) * | 1978-03-15 | 1979-09-21 | Hiroshige Suzuki | High density silicon carbide sintered body and preparation thereof |
| JPS6081064A (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-09 | ティーディーケイ株式会社 | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| JPS60255672A (ja) * | 1984-05-30 | 1985-12-17 | 京セラ株式会社 | 炭化珪素質焼結体の製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2007321797A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Kyocera Corp | 摺動部材およびこれを用いたメカニカルシールリング |
| WO2021220849A1 (ja) * | 2020-04-28 | 2021-11-04 | 京セラ株式会社 | 摺動部材および製紙部材 |
| JPWO2021220849A1 (ja) * | 2020-04-28 | 2021-11-04 |
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