JPS6385432A - 線状欠陥の検査方法 - Google Patents
線状欠陥の検査方法Info
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- JPS6385432A JPS6385432A JP23277286A JP23277286A JPS6385432A JP S6385432 A JPS6385432 A JP S6385432A JP 23277286 A JP23277286 A JP 23277286A JP 23277286 A JP23277286 A JP 23277286A JP S6385432 A JPS6385432 A JP S6385432A
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- Japan
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- defect
- cells
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- cell
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子部品若しくは精密加工品の表面に存在する
クランク、スクラッチ等の線状欠陥を画像処理によって
検査する方法に関するものである。
クランク、スクラッチ等の線状欠陥を画像処理によって
検査する方法に関するものである。
〔従来の技術〕 ゛
従来、電子部品若しくは精密加工品の表面に存在するク
ランク、スクラッチ等の線状欠陥を検査するには、例え
ば被検査物を顕微鏡若しくは拡大鏡の視野内に置き、目
視によって検査する方法が最も一般的な方法であった。
ランク、スクラッチ等の線状欠陥を検査するには、例え
ば被検査物を顕微鏡若しくは拡大鏡の視野内に置き、目
視によって検査する方法が最も一般的な方法であった。
しかしながら上記の方法においては、特に微小な被検査
物ではピンセント等によっても取扱いが困難であると共
に、多量生産の場合には作業者の疲労が大きく、長時間
作業を継続することが困難であり、更には非能率である
等の問題点がある。上記問題点を解消するために、近年
画像処理手段による検査方法が応用されてきており、実
用に供されているものも多い。
物ではピンセント等によっても取扱いが困難であると共
に、多量生産の場合には作業者の疲労が大きく、長時間
作業を継続することが困難であり、更には非能率である
等の問題点がある。上記問題点を解消するために、近年
画像処理手段による検査方法が応用されてきており、実
用に供されているものも多い。
上記の画像処理手段を前記の線状欠陥の検査に適用した
場合においては、下記のような問題点がある。すなわち
被検査物を画像入力した場合に、被検査物の地肌のムラ
も画像として入力されてノイズとなり、線状欠陥との区
別ができないという欠点がある。また被検査物をＴＶカ
メラ等の撮像手段を介して撮像して得た撮像信号を、一
定のしきい値によって２値化した場合には、本来連続し
ている画像が不連続に表示されることがあるという問題
点がある。このような不連続の画像を連続化して表示す
る手段が、例えば特開昭５５−１２４８７３号公報に開
示されているが、このような手段によると本来の線状欠
陥のみならず、線状欠陥近傍に存在するノイズをも連続
して表示してしまうおそれがあり、非欠陥部を欠陥と認
識してしまうため再現性若しくは信頼性が低く、実作業
に適用することができないという問題点がある。
場合においては、下記のような問題点がある。すなわち
被検査物を画像入力した場合に、被検査物の地肌のムラ
も画像として入力されてノイズとなり、線状欠陥との区
別ができないという欠点がある。また被検査物をＴＶカ
メラ等の撮像手段を介して撮像して得た撮像信号を、一
定のしきい値によって２値化した場合には、本来連続し
ている画像が不連続に表示されることがあるという問題
点がある。このような不連続の画像を連続化して表示す
る手段が、例えば特開昭５５−１２４８７３号公報に開
示されているが、このような手段によると本来の線状欠
陥のみならず、線状欠陥近傍に存在するノイズをも連続
して表示してしまうおそれがあり、非欠陥部を欠陥と認
識してしまうため再現性若しくは信頼性が低く、実作業
に適用することができないという問題点がある。
本発明は上記のような従来技術に存在する問題点を解消
し、入力画像におけるノイズを除去すると共に、見かけ
土工連続状に表示される線状欠陥を完全に検査する信頼
性の高い線状欠陥の検査方法を提供することを目的とす
る。
し、入力画像におけるノイズを除去すると共に、見かけ
土工連続状に表示される線状欠陥を完全に検査する信頼
性の高い線状欠陥の検査方法を提供することを目的とす
る。
上記の問題点解決のため、本発明においては、Ａ、撮像
手段を介して得た被検査物の撮像信号をＸＹ軸方向の２
値化画素データとして画像メモリに記憶する。
手段を介して得た被検査物の撮像信号をＸＹ軸方向の２
値化画素データとして画像メモリに記憶する。
Ｂ、中央制御装置を介して前記２値化画素データについ
て複数個の画素からなるセルをＸＹ軸方向に複数個夫々
行列に設定する。
て複数個の画素からなるセルをＸＹ軸方向に複数個夫々
行列に設定する。
Ｃ９夫々のセル内の欠陥画素数を計算する。
Ｄ、欠陥画素数が予め定めた数以上であるセルを欠陥セ
ルとして抽出する。
ルとして抽出する。
Ｅ、これらの欠陥セルの連結度を計算する。
Ｆ、連結度が予め定めた値以上のものを不良として判定
する。
する。
という技術的手段を採用したのである。
上記の構成により、被検査物の入力画像中におけるノイ
ズは、通常はセル内の画素数が小さいため、セル内の欠
陥画素数計算の段階において殆んど除去されるから、本
来欠陥ではないノイズを欠陥であると認識する誤りを排
除する作用がある。
ズは、通常はセル内の画素数が小さいため、セル内の欠
陥画素数計算の段階において殆んど除去されるから、本
来欠陥ではないノイズを欠陥であると認識する誤りを排
除する作用がある。
上記のようにしてノイズ排除後、線状欠陥にのみ対応す
る欠陥セル相互間の連結度を計算して、線状欠陥を検査
するのである。
る欠陥セル相互間の連結度を計算して、線状欠陥を検査
するのである。
第１図は本発明の実施例における装置のブロック図であ
る。同図において、まず被検査物１をレンズ２を介して
ＴＶカメラ等の撮像装置３に結像する。次に撮像装置３
からの撮像信号をＡＤ変換装置４により２値化画素デー
タに変換して、メモリ５に入力する。６はメモリ５の内
容を処理する処理回路、７は処理回路による処理結果を
記憶するメモリである。
る。同図において、まず被検査物１をレンズ２を介して
ＴＶカメラ等の撮像装置３に結像する。次に撮像装置３
からの撮像信号をＡＤ変換装置４により２値化画素デー
タに変換して、メモリ５に入力する。６はメモリ５の内
容を処理する処理回路、７は処理回路による処理結果を
記憶するメモリである。
次に第２図（ａｌ〜（ｅｌは夫々本発明の処理手順の要
部を示す模式図である。まず第２図（ａ）は、前記第１
図においてメモリ５内に記憶された２値化画素データを
示す。同図において１０はタラワクであり、被検査物１
の表面に存在する線状欠陥の１種である。而してクラッ
ク１０は本来連続しているのであるが、２値化画素デー
タとしては一部が１０ａで示されるように不連続状態と
なっている。
部を示す模式図である。まず第２図（ａ）は、前記第１
図においてメモリ５内に記憶された２値化画素データを
示す。同図において１０はタラワクであり、被検査物１
の表面に存在する線状欠陥の１種である。而してクラッ
ク１０は本来連続しているのであるが、２値化画素デー
タとしては一部が１０ａで示されるように不連続状態と
なっている。
１１はノイズであり、被検査物１の表面の地肌ムラその
他に起因して２値化画素データとして記憶されている。
他に起因して２値化画素データとして記憶されている。
次に第２図（ｂｌはセルを設定した状態を示す。すなわ
ち１２はセルであり、例えば８Ｘ８＝６４の画素からな
り、中央制御装置（図示せず）を介してＸＹ軸方向に複
数個を夫々行列に設定する。第２図（ｂｌはＸ軸および
Ｙ軸に夫々１４個、合計１９６個設定した例である。
ち１２はセルであり、例えば８Ｘ８＝６４の画素からな
り、中央制御装置（図示せず）を介してＸＹ軸方向に複
数個を夫々行列に設定する。第２図（ｂｌはＸ軸および
Ｙ軸に夫々１４個、合計１９６個設定した例である。
第２図（Ｃ１はセル１２内の欠陥画素の数を計算する状
態を示す。すなわち夫々のセル１２内において、クラン
ク１０およびノイズ１１によって占められた欠陥画素の
数ｍを計算する。なお欠陥画素は、背景が低い濃度であ
れば、前記クランク１０およびノイズ１１によって高い
濃度で示され、背景が高い濃度であれば逆に低い濃度で
示される。
態を示す。すなわち夫々のセル１２内において、クラン
ク１０およびノイズ１１によって占められた欠陥画素の
数ｍを計算する。なお欠陥画素は、背景が低い濃度であ
れば、前記クランク１０およびノイズ１１によって高い
濃度で示され、背景が高い濃度であれば逆に低い濃度で
示される。
第２図Ｆｄｌは欠陥セル１２ａを抽出した状態を示す。
すなわち第２図（Ｃ）において計算した欠陥画素の数ｍ
が、予め定めた数基上のセルを欠陥セル１２ａとして抽
出し、上記の数未満のセル１２を除去した状態である。
が、予め定めた数基上のセルを欠陥セル１２ａとして抽
出し、上記の数未満のセル１２を除去した状態である。
第２図（ａｌ〜（Ｃ１において入力画像として現われる
ノイズ１１は、通常はセル１２内において占有する画素
の数が極めて小さい。従って検出すべきクラック１０の
大きさとの関係において前記欠陥画素の数ｍを設定して
おけば、第２図ｆｄｌの段階においてノイズを殆んど除
去することができ、前記のクランク１０に関与する欠陥
セル１２ａのみを抽出することができるのである。
ノイズ１１は、通常はセル１２内において占有する画素
の数が極めて小さい。従って検出すべきクラック１０の
大きさとの関係において前記欠陥画素の数ｍを設定して
おけば、第２図ｆｄｌの段階においてノイズを殆んど除
去することができ、前記のクランク１０に関与する欠陥
セル１２ａのみを抽出することができるのである。
従って第２図（ａｌにおいて、ｌｏａで示されるような
不連続状態の欠陥であっても、第２図（ｄ）に示すよう
に欠陥セル１２ａとして抽出できる。
不連続状態の欠陥であっても、第２図（ｄ）に示すよう
に欠陥セル１２ａとして抽出できる。
第２図（Ｑ）は前記欠陥セル１２ａについて、連結度を
計算して、一連の線状欠陥像１３として、前記クラック
１０．１０ａを創成した状態を示す。
計算して、一連の線状欠陥像１３として、前記クラック
１０．１０ａを創成した状態を示す。
これにより、予め定めた値以上のものについては不良と
判定し、上記の値未満のものは容認して良と判定する。
判定し、上記の値未満のものは容認して良と判定する。
本実施例においては、被検査物の線状欠陥がクランクで
ある例について記述したが、線状欠陥がスクラッチ、打
ち疵等であっても、セル内の画素に濃淡を表示させ得る
ものである限り検出可能である。またセルサイズは８Ｘ
８＝６４に限定せず、検出すべき線状欠陥および排除す
べきノイズの態様に対応して適宜選定すべきである。
ある例について記述したが、線状欠陥がスクラッチ、打
ち疵等であっても、セル内の画素に濃淡を表示させ得る
ものである限り検出可能である。またセルサイズは８Ｘ
８＝６４に限定せず、検出すべき線状欠陥および排除す
べきノイズの態様に対応して適宜選定すべきである。
本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
下記の効果を期待することができる。
下記の効果を期待することができる。
（１）従来の人手による目視検査を排除することができ
るため、労働衛生環境を飛躍的に向上させ得るのみなら
ず、生産性を大幅に向上させることができる。
るため、労働衛生環境を飛躍的に向上させ得るのみなら
ず、生産性を大幅に向上させることができる。
（２）入力画像信号中に本来の線状欠陥以外のノイズを
包含していても、個々のセル内の欠陥画素数を計算して
、予め定めた数基上のセルのみを抽出することができる
ため、誤差が極めて小さく、信頼性が極めて高い。
包含していても、個々のセル内の欠陥画素数を計算して
、予め定めた数基上のセルのみを抽出することができる
ため、誤差が極めて小さく、信頼性が極めて高い。
（３）入力画像信号において、不連続状の欠陥であって
も、本来連続した状態の線状欠陥は、連結度の計算によ
って連続状態として認識して処理するため、信頼性およ
び再現性が極めて高い。
も、本来連続した状態の線状欠陥は、連結度の計算によ
って連続状態として認識して処理するため、信頼性およ
び再現性が極めて高い。
（４）中央制御装置を介して検査作業を自動化し得るの
みならず、処理結果を直ちに生産工程にフィードハック
できるため、生産効率を高め得ると共に品質の向上に寄
与し得る。
みならず、処理結果を直ちに生産工程にフィードハック
できるため、生産効率を高め得ると共に品質の向上に寄
与し得る。
第１図は本発明の実施例における装置のブロック図、第
２図（ａｌ〜（ｅ）は夫々本発明の処理手順の要部を示
す模式図である。 １：被検査物、５．７：メモリ、６：処理回路、１０．
１０ａ：クラック、１１：ノイズ、１２：セル。
２図（ａｌ〜（ｅ）は夫々本発明の処理手順の要部を示
す模式図である。 １：被検査物、５．７：メモリ、６：処理回路、１０．
１０ａ：クラック、１１：ノイズ、１２：セル。
Claims (1)
- 撮像手段を介して得た被検査物の撮像信号をＸＹ軸方向
の２値化画素データとして画像メモリに記憶し、中央制
御装置を介して前記２値化画素データについて複数個の
画素からなるセルをＸＹ軸方向に複数個夫々行列に設定
し、夫々のセル内の欠陥画素数を計算し、欠陥画素数が
予め定めた数以上であるセルを欠陥セルとして抽出し、
これらの欠陥セルの連結度を計算し、連結度が予め定め
た値以上のものを不良と判定することを特徴とする線状
欠陥の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23277286A JPS6385432A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 線状欠陥の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23277286A JPS6385432A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 線状欠陥の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6385432A true JPS6385432A (ja) | 1988-04-15 |
| JPH0569375B2 JPH0569375B2 (ja) | 1993-09-30 |
Family
ID=16944497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23277286A Granted JPS6385432A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 線状欠陥の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6385432A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03138504A (ja) * | 1989-10-24 | 1991-06-12 | Kobe Steel Ltd | スポット位置及びスリット位置の検出方法 |
| JPH04323544A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-12 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | プラスチックフィルム巻回体の検査方法 |
| JP2010197177A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 外観検査方法および外観検査装置 |
| JP2018004389A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 鹿島建設株式会社 | 亀裂解析方法及び亀裂解析システム |
| JP2021149645A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 株式会社リコー | 検査装置、検査方法およびプログラム |
| JP2021148674A (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-27 | 国際航業株式会社 | ひび割れ形状生成装置 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP23277286A patent/JPS6385432A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03138504A (ja) * | 1989-10-24 | 1991-06-12 | Kobe Steel Ltd | スポット位置及びスリット位置の検出方法 |
| JPH04323544A (ja) * | 1991-04-23 | 1992-11-12 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | プラスチックフィルム巻回体の検査方法 |
| JP2010197177A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 外観検査方法および外観検査装置 |
| JP2018004389A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 鹿島建設株式会社 | 亀裂解析方法及び亀裂解析システム |
| JP2021149645A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 株式会社リコー | 検査装置、検査方法およびプログラム |
| JP2021148674A (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-27 | 国際航業株式会社 | ひび割れ形状生成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0569375B2 (ja) | 1993-09-30 |
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