JPS638702A - 無偏光ビ−ムスプリツタ− - Google Patents
無偏光ビ−ムスプリツタ−Info
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- JPS638702A JPS638702A JP15306586A JP15306586A JPS638702A JP S638702 A JPS638702 A JP S638702A JP 15306586 A JP15306586 A JP 15306586A JP 15306586 A JP15306586 A JP 15306586A JP S638702 A JPS638702 A JP S638702A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3033—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state in the form of a thin sheet or foil, e.g. Polaroid
- G02B5/3041—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state in the form of a thin sheet or foil, e.g. Polaroid comprising multiple thin layers, e.g. multilayer stacks
- G02B5/305—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state in the form of a thin sheet or foil, e.g. Polaroid comprising multiple thin layers, e.g. multilayer stacks including organic materials, e.g. polymeric layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
、本発明は、例えばピディオ・ディスク装置やコンパク
ト・ディスク装置などの光学系に用いられる無偏光ビー
ムスプリッタ−に関するものである。
ト・ディスク装置などの光学系に用いられる無偏光ビー
ムスプリッタ−に関するものである。
従来この種の無偏光ビームスピリツタ−としては、例え
ば特開昭５８−１９０９０６号公報、特開昭５８−２０
８７０１号公報または特開１）Ｂ ５８−２０８７０２
号公報に記載されているように、透明の基板に対し、そ
れよ）屈折率の高い第１の物質と、さらに高い第２の物
質の２ａｌｉを用い、それらを交互に積層することによ
り、Ｐ成分とＳ成分それぞれの透過率と反射率との比を
コントロールするものがある。
ば特開昭５８−１９０９０６号公報、特開昭５８−２０
８７０１号公報または特開１）Ｂ ５８−２０８７０２
号公報に記載されているように、透明の基板に対し、そ
れよ）屈折率の高い第１の物質と、さらに高い第２の物
質の２ａｌｉを用い、それらを交互に積層することによ
り、Ｐ成分とＳ成分それぞれの透過率と反射率との比を
コントロールするものがある。
上述した従来の技術によれば、第１の物質および第２の
物質の屈折率を適当に設定することによシ、計算上、Ｐ
−８各成分の透過率と反射率との比を自在に設定でき、
その比を１：１にすることも可能である。
物質の屈折率を適当に設定することによシ、計算上、Ｐ
−８各成分の透過率と反射率との比を自在に設定でき、
その比を１：１にすることも可能である。
しかし、実在する物質を用いて実際に上記Ｐ・Ｓ成分の
透過率と反射率との比が１：１となる無偏光ビームスプ
リッタ−を製作しようとすると、計算上必要とされる屈
折率を有する物質が現実には見出し難い。また、仮に１
：１の特性に近い組合せが得られたとしても、その特性
を満足できる波長範囲が狭いため、製造条件、例えば成
膜時の真空蒸着装置内の圧力と基板温度、あるいは膜厚
制御上の誤差等によシ、希望波長において所望の特性か
ら大きくずれてしまい、製品としての歩留シも低下する
という問題があった。
透過率と反射率との比が１：１となる無偏光ビームスプ
リッタ−を製作しようとすると、計算上必要とされる屈
折率を有する物質が現実には見出し難い。また、仮に１
：１の特性に近い組合せが得られたとしても、その特性
を満足できる波長範囲が狭いため、製造条件、例えば成
膜時の真空蒸着装置内の圧力と基板温度、あるいは膜厚
制御上の誤差等によシ、希望波長において所望の特性か
ら大きくずれてしまい、製品としての歩留シも低下する
という問題があった。
本発明は、相互に異なる屈折率ｎＬ、ｎＭ、ｎｌｉ （
ｎ Ｌｉｎ Ｍ＜ｎ Ｈ）を有する３穏の膜を、基板か
ら遠い側から数えて奇ａ１１目が屈折率ｎＬの膜、偶数
層目が屈折率ｎＨの膜またはｎＨの膜となるように多層
に積層したものである。
ｎ Ｌｉｎ Ｍ＜ｎ Ｈ）を有する３穏の膜を、基板か
ら遠い側から数えて奇ａ１１目が屈折率ｎＬの膜、偶数
層目が屈折率ｎＨの膜またはｎＨの膜となるように多層
に積層したものである。
無偏光ビームスグリツタ−に入射した光は、一部は腓を
透過し、他はその膜の表具で反射するが、反射は各層の
膜において直接光および反射光について生じ、理論的に
は無限級数的に繰υ返される。
透過し、他はその膜の表具で反射するが、反射は各層の
膜において直接光および反射光について生じ、理論的に
は無限級数的に繰υ返される。
そして最終的に入射側と反対側に出射する光の総体を透
過光、入射側に反射する光の総体を反射光とするが、３
種の異なる屈折率の組合せにより、Ｐ−８各層分に対し
、その透過率と反射率との比が１＝１となる。
過光、入射側に反射する光の総体を反射光とするが、３
種の異なる屈折率の組合せにより、Ｐ−８各層分に対し
、その透過率と反射率との比が１＝１となる。
（実施例１）
第２図は本発明の第１の実施例を示す無偏光ビームスプ
リッタ−の側面図である。同図において、無偏光ビーム
スプリッタ−１人は、ＢＫ−７相当の屈折率ｎｇ＝１．
５１のガラスからなる平板状透明基板２の一生表面上に
、多層膜３人を形成したものである。
リッタ−の側面図である。同図において、無偏光ビーム
スプリッタ−１人は、ＢＫ−７相当の屈折率ｎｇ＝１．
５１のガラスからなる平板状透明基板２の一生表面上に
、多層膜３人を形成したものである。
多Ｎ１膜３ＡＶ’；、、第１図に示すように、入射光４
０入射側、すなわち基板２に最も遠い側から数えて奇数
層目、つｌ）第１層、第３層および第５層を屈折率ｎＬ
＝１．６１のＡ１１ａｓ膜３１とし、第２層を屈折率ｎ
ｎ＝３．６７のＳｉ膜３２、第４層を屈折率ｎＭ＝２．
２４のＴｉｅｓ膜３３とｔ、ｔｃｍ成を有している。本
実施例は入射側媒質５を屈折率ｎ０＝１の空気とし、設
計中心波長をλ。＝３４Ｑｎｍとし、各層の膜厚（光学
的膜厚）をｎｄ＝λｏ／４＝ ２１０ｎｍとしている。
０入射側、すなわち基板２に最も遠い側から数えて奇数
層目、つｌ）第１層、第３層および第５層を屈折率ｎＬ
＝１．６１のＡ１１ａｓ膜３１とし、第２層を屈折率ｎ
ｎ＝３．６７のＳｉ膜３２、第４層を屈折率ｎＭ＝２．
２４のＴｉｅｓ膜３３とｔ、ｔｃｍ成を有している。本
実施例は入射側媒質５を屈折率ｎ０＝１の空気とし、設
計中心波長をλ。＝３４Ｑｎｍとし、各層の膜厚（光学
的膜厚）をｎｄ＝λｏ／４＝ ２１０ｎｍとしている。
また、特にｓｉ膜ａ２については、成膜条件によって生
成される膜の屈折率が異なるが、本実施例では各層は真
空蒸着法によシ形成した。そのときの成膜条件は、真空
蒸着装置内の圧力が２Ｘ１０〜５Ｘ１０ ｔｏｒｒ１
基板温度が３００〜３５０℃であった。真空蒸着法の代
シに、例えばスパッタリング法を使用することも可能で
ある。
成される膜の屈折率が異なるが、本実施例では各層は真
空蒸着法によシ形成した。そのときの成膜条件は、真空
蒸着装置内の圧力が２Ｘ１０〜５Ｘ１０ ｔｏｒｒ１
基板温度が３００〜３５０℃であった。真空蒸着法の代
シに、例えばスパッタリング法を使用することも可能で
ある。
第３図は、このようにして形成した多層膜３Ａの膜面に
対し、θ＝４５°の入射角で入射光４を入射させた場合
について、Ｐ、Ｓ各成分の分光特性を測定した結果を示
すものである。同図において、（イ）はＰ成分の透過上
Ｔｐ、（ロ）は同じく反射率几ｐ１（ハ）ばＳ成分の透
過率Ｔｓ、に）は同じく反射率Ｒｓを示し、７００〜８
５Ｑｎｍの広い波長範囲において、Ｐ成分とＳ成分との
それぞれについて、透過率と反射率との比がほぼｌ：１
の与件が得られている。
対し、θ＝４５°の入射角で入射光４を入射させた場合
について、Ｐ、Ｓ各成分の分光特性を測定した結果を示
すものである。同図において、（イ）はＰ成分の透過上
Ｔｐ、（ロ）は同じく反射率几ｐ１（ハ）ばＳ成分の透
過率Ｔｓ、に）は同じく反射率Ｒｓを示し、７００〜８
５Ｑｎｍの広い波長範囲において、Ｐ成分とＳ成分との
それぞれについて、透過率と反射率との比がほぼｌ：１
の与件が得られている。
このように広い波長範囲で１：１の特性が得られること
から、製造条件等によシ多少の波長シフトが生じたとし
ても、所望波長において１：１の特性から外れることは
ない。
から、製造条件等によシ多少の波長シフトが生じたとし
ても、所望波長において１：１の特性から外れることは
ない。
（実施例２）
第４図は本発明の第２の実施例を示す断面図である。本
実施例の無偏光ビームスプリッタ−１Ｂは、第１実施例
と同様のＢＫ−７ガラスからなる平版状透明基板２の入
射側主表面上に、多層膜３Ｂを形成したもので、多層膜
３Ｂは、第１層、第３層および第５層を屈折率ｎ Ｌ＝
１．６１のＡｌ ８０８［３１、第２層を屈折率ｎＭ
＝２．２４のＴｉ（ｈ膜３３、第４層を屈折率ｎａ＝３
．６７のＳｔ膜３２とした構成、つまシ第１実施例にお
いて第２Ｎと第４層の膜を入れ換えた構成を有し、各層
の光学的膜厚も設計中心波長λ。＝８４０ｎｍに対して
λ。／４＝２１０ｎｍ、成膜条件も、真空蒸着装置内の
圧力２Ｘ１０ ’〜５Ｘ１０ ｔｏｒｒ、基板温度３
００〜３５０℃と、第１の実施例と同様である。
実施例の無偏光ビームスプリッタ−１Ｂは、第１実施例
と同様のＢＫ−７ガラスからなる平版状透明基板２の入
射側主表面上に、多層膜３Ｂを形成したもので、多層膜
３Ｂは、第１層、第３層および第５層を屈折率ｎ Ｌ＝
１．６１のＡｌ ８０８［３１、第２層を屈折率ｎＭ
＝２．２４のＴｉ（ｈ膜３３、第４層を屈折率ｎａ＝３
．６７のＳｔ膜３２とした構成、つまシ第１実施例にお
いて第２Ｎと第４層の膜を入れ換えた構成を有し、各層
の光学的膜厚も設計中心波長λ。＝８４０ｎｍに対して
λ。／４＝２１０ｎｍ、成膜条件も、真空蒸着装置内の
圧力２Ｘ１０ ’〜５Ｘ１０ ｔｏｒｒ、基板温度３
００〜３５０℃と、第１の実施例と同様である。
上記構成において、入射側媒質（空気）５からθ＝４５
の入射角で入射光を入射させた場合について、Ｐ−８
各層分の分光特性を測定した結果を第５図に示す。同図
において、（イ）がＰ成分の透過率Ｔｐ１（ロ）が同じ
く反射率ＲｐＮｅ’ｌがＳ成分の透過率Ｔｓ１に）が同
じく反射率Ｒｓを示す。第３図に示した第１の実施例に
比較して、Ｓ成分については７００〜１３５Ｑｎｍの波
長範囲の両端部において透過率と反射率との開きがやや
大きくなっているが、Ｐ成分についてはきわめて良好な
特性を有している。
の入射角で入射光を入射させた場合について、Ｐ−８
各層分の分光特性を測定した結果を第５図に示す。同図
において、（イ）がＰ成分の透過率Ｔｐ１（ロ）が同じ
く反射率ＲｐＮｅ’ｌがＳ成分の透過率Ｔｓ１に）が同
じく反射率Ｒｓを示す。第３図に示した第１の実施例に
比較して、Ｓ成分については７００〜１３５Ｑｎｍの波
長範囲の両端部において透過率と反射率との開きがやや
大きくなっているが、Ｐ成分についてはきわめて良好な
特性を有している。
（実施例３）
第６図は本発明の第３の実施例を示す断面図である。本
実施例の無偏光ビームスプリッタ−１Ｃは、第１の実施
例に対し、多層膜３Ａの第５層を省略した４層構造の多
層膜３Ｃを有する点のみが異なる。すなわち多層膜３Ｃ
は、第１層および第３膚のＡｌ２Ｏ８膜３１（屈折率ｎ
Ｌ＝１．６１）、第２層の５ｉｉ３２（屈折率ｎｕ＝３
．６７）ならびに第４層ｏＴｉｏｓ膜３３（屈折率ｎＭ
＝２．２４）からな９、光学的膜厚はλｏ／４＝２１０
ｎｍ、成膜条件も第１の実施例と全く同様である。
実施例の無偏光ビームスプリッタ−１Ｃは、第１の実施
例に対し、多層膜３Ａの第５層を省略した４層構造の多
層膜３Ｃを有する点のみが異なる。すなわち多層膜３Ｃ
は、第１層および第３膚のＡｌ２Ｏ８膜３１（屈折率ｎ
Ｌ＝１．６１）、第２層の５ｉｉ３２（屈折率ｎｕ＝３
．６７）ならびに第４層ｏＴｉｏｓ膜３３（屈折率ｎＭ
＝２．２４）からな９、光学的膜厚はλｏ／４＝２１０
ｎｍ、成膜条件も第１の実施例と全く同様である。
本実施例においても、入射側媒質（空気）５からθ＝４
５°の入射角で入射光を入射させた場合について、Ｐ−
８各層分の分光特性を測定したところ、Ｐ成分について
は、第３図の特性に比較して１：１からのずれはやや広
がるものの、７００〜３５Ｑｎｍの波長範囲においてほ
とんど一定の分光特性が得られた。Ｓ成分については、
第１の実施例とほぼ同様の良好な特性が得られた。
５°の入射角で入射光を入射させた場合について、Ｐ−
８各層分の分光特性を測定したところ、Ｐ成分について
は、第３図の特性に比較して１：１からのずれはやや広
がるものの、７００〜３５Ｑｎｍの波長範囲においてほ
とんど一定の分光特性が得られた。Ｓ成分については、
第１の実施例とほぼ同様の良好な特性が得られた。
さらに、第２層の８ｉ膜３２として屈折率ｎＨ＝３．９
の８ｉ膜を使用した場合には、第１の実施例の第３図に
示した特性とほぼ同等の特性が得られる０ （冥施′例４） 第７図は本発明の第４の実施例を示す断面図である。本
実施例の無偏光ビームスプリッタ−１Ｄは、第３の実施
例の多層膜３Ｃの第２層と第４層とを入れ換えた構造を
有する。すなわち本実施例の多層膜３Ｄは、第１層およ
び第３層のＡＩ ２０Ｓ膜３１（屈折率ｎ Ｌ＝１．６
１ ）、第２層ｔｖ Ｔ ｉ Ｏ２膜３３（屈折率ｎＭ
＝２．２４）ならびに第４層のＳｉ膜３２（屈折率ｎＨ
＝３．６７）の４層構造を有する。光学的膜厚はλ。／
４＝２１０！１ｍ、成膜条件も第３の実施例と全く同様
である。
の８ｉ膜を使用した場合には、第１の実施例の第３図に
示した特性とほぼ同等の特性が得られる０ （冥施′例４） 第７図は本発明の第４の実施例を示す断面図である。本
実施例の無偏光ビームスプリッタ−１Ｄは、第３の実施
例の多層膜３Ｃの第２層と第４層とを入れ換えた構造を
有する。すなわち本実施例の多層膜３Ｄは、第１層およ
び第３層のＡＩ ２０Ｓ膜３１（屈折率ｎ Ｌ＝１．６
１ ）、第２層ｔｖ Ｔ ｉ Ｏ２膜３３（屈折率ｎＭ
＝２．２４）ならびに第４層のＳｉ膜３２（屈折率ｎＨ
＝３．６７）の４層構造を有する。光学的膜厚はλ。／
４＝２１０！１ｍ、成膜条件も第３の実施例と全く同様
である。
前述したと同様に分光特性を測定したところ、実施例２
のＰ成分に比較すれば、透過率と反射率との分離がやや
大きいものの、良好な結果が得られた。
のＰ成分に比較すれば、透過率と反射率との分離がやや
大きいものの、良好な結果が得られた。
なお、多層膜を構成する各層は、上述した物質に限定さ
れるものでは々く、例えばＴｉＯｘ膜の代９にＺｒ０ｚ
膜、Ａ１ｔＯｓＪｉｆｔノ代）にＣｅＦｓ膜を用いても
、それぞれ屈折率がほぼ同等であることがら、上述した
各実施例とほぼ同様の特性の無偏光ビームスプリッタ−
が得られる。
れるものでは々く、例えばＴｉＯｘ膜の代９にＺｒ０ｚ
膜、Ａ１ｔＯｓＪｉｆｔノ代）にＣｅＦｓ膜を用いても
、それぞれ屈折率がほぼ同等であることがら、上述した
各実施例とほぼ同様の特性の無偏光ビームスプリッタ−
が得られる。
さらに、上述した各実施例は、コンパクト・ディスク装
置において利用される波長帯７００〜８５０ｎｍ、入射
角４５°の場合を対象としたが、膜を構成する物質、膜
の層数、製造方法および条件等を変えることにより、他
の波長域、入射角にも対応できる。なお、光学的膜厚ｎ
ｄは設計中心波長λ。
置において利用される波長帯７００〜８５０ｎｍ、入射
角４５°の場合を対象としたが、膜を構成する物質、膜
の層数、製造方法および条件等を変えることにより、他
の波長域、入射角にも対応できる。なお、光学的膜厚ｎ
ｄは設計中心波長λ。
に対してλＯ／４とすることが基本であるが、±２０％
程度のずれは許容可能である。また、各層の屈折率は、
例えば平板状透明基板２の屈折率ｎｇを１．３ ＜ ｎ
ｇ ＜ ４．０とした場合、それぞれ３．０ （ｎ
ａ （６０，２，０＜ｎＭ＜４．０，１．３（ｎＬ（２
，３程度の範囲内で設定することが望ましい。具体的に
は前述した各物質の他、Ｇｅ 、 Ｓ ｉｏａ 、 Ｌ
ａ ２０Ｂ 、 Ｓ ｉｏ、ＭｇＦ２、ＺｎＳ 、 Ｃ
ｅ５Ｏｓ 、 ＩｎｚＯｓ 、ＣｅＯ２，ＣｒｚＯａ
、Ｆｅ５Ｏ８゜ＮａａＡＩＦａ 、ＰｂＣ１ｌＩ、Ｐｂ
Ｔｅ、Ｔｅ、ＹｚＯｓ 、Ｚｎ５ｅ、ＬａＦａなどを組
合せて用いることができる。
程度のずれは許容可能である。また、各層の屈折率は、
例えば平板状透明基板２の屈折率ｎｇを１．３ ＜ ｎ
ｇ ＜ ４．０とした場合、それぞれ３．０ （ｎ
ａ （６０，２，０＜ｎＭ＜４．０，１．３（ｎＬ（２
，３程度の範囲内で設定することが望ましい。具体的に
は前述した各物質の他、Ｇｅ 、 Ｓ ｉｏａ 、 Ｌ
ａ ２０Ｂ 、 Ｓ ｉｏ、ＭｇＦ２、ＺｎＳ 、 Ｃ
ｅ５Ｏｓ 、 ＩｎｚＯｓ 、ＣｅＯ２，ＣｒｚＯａ
、Ｆｅ５Ｏ８゜ＮａａＡＩＦａ 、ＰｂＣ１ｌＩ、Ｐｂ
Ｔｅ、Ｔｅ、ＹｚＯｓ 、Ｚｎ５ｅ、ＬａＦａなどを組
合せて用いることができる。
なお、平板状透明基板２は、対象とする波長帯内の光を
透過させるものでなければなら々いが、その限りにおい
て、多層膜の形成が可能なものであればよ＜、ＢＫ−７
ガラス以外の光学ガラスやホワイト・クラウン嗜ガラス
、ンーダ・ライム争ガラス、あるいは各種色ガラス、テ
ンパックス（商品名）等の耐熱ガラス、窟らにはプラス
チックなどの使用が可能である。
透過させるものでなければなら々いが、その限りにおい
て、多層膜の形成が可能なものであればよ＜、ＢＫ−７
ガラス以外の光学ガラスやホワイト・クラウン嗜ガラス
、ンーダ・ライム争ガラス、あるいは各種色ガラス、テ
ンパックス（商品名）等の耐熱ガラス、窟らにはプラス
チックなどの使用が可能である。
以上説明した通り、本発明によれば、相互に異なる屈折
率ｎ Ｌ 、 ｎ Ｍ 、 ｎ Ｈ（ｎ Ｌ＜ ｎ ｙ
ｌ（ｎ Ｈ）を有する３種の膜を、基板から遠い側から
奇数鳩目が屈折率ｒＪ、の膜、偶数層目が屈折率ｎＭま
たはｎＨの膜となるように多重にぴ層したことにより、
実在する物質の組合せによシ、Ｐ成分とＳ成分のそれぞ
れの透過率と反射率との比が広い波長範囲でほぼ１：１
となる無偏光ビームスプリッタ−が得られる。
率ｎ Ｌ 、 ｎ Ｍ 、 ｎ Ｈ（ｎ Ｌ＜ ｎ ｙ
ｌ（ｎ Ｈ）を有する３種の膜を、基板から遠い側から
奇数鳩目が屈折率ｒＪ、の膜、偶数層目が屈折率ｎＭま
たはｎＨの膜となるように多重にぴ層したことにより、
実在する物質の組合せによシ、Ｐ成分とＳ成分のそれぞ
れの透過率と反射率との比が広い波長範囲でほぼ１：１
となる無偏光ビームスプリッタ−が得られる。
第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示す図で、第
２図は無偏光ビームスプリッタ−の側面図、第１図はそ
の多層膜の構成を示す断面図、第３図は分光特性を示す
図、第４図は本発明の他の実施例を示す断面図、第５図
はその分光特性を示す図、第６図および第７図はそれぞ
れ本発明の実施例を示す断面図である。 １八〜１Ｄ・曇・・無偏光ビームスプリッタ−１２・・
・・平板状透明基板、３八〜３Ｄ−Φ・・多層膜、３１
・・・・屈折率ｎＬのＡｌ ｓｏａ膜、３２・・・・屈
折率ｎＨのＳ１膜、３３・ｓｏ・屈折率ｎＭのＴｉｃｋ
１１膜。
２図は無偏光ビームスプリッタ−の側面図、第１図はそ
の多層膜の構成を示す断面図、第３図は分光特性を示す
図、第４図は本発明の他の実施例を示す断面図、第５図
はその分光特性を示す図、第６図および第７図はそれぞ
れ本発明の実施例を示す断面図である。 １八〜１Ｄ・曇・・無偏光ビームスプリッタ−１２・・
・・平板状透明基板、３八〜３Ｄ−Φ・・多層膜、３１
・・・・屈折率ｎＬのＡｌ ｓｏａ膜、３２・・・・屈
折率ｎＨのＳ１膜、３３・ｓｏ・屈折率ｎＭのＴｉｃｋ
１１膜。
Claims (1)
- 屈折率ｎｇの平板状透明基板の主表面上に、相互に異な
る屈折率ｎ＿Ｌ、ｎ＿Ｍ、ｎ＿Ｈ（ｎ＿Ｌ＜ｎ＿Ｍ＜ｎ
＿Ｈ）を有する３種の膜を、平板状透明基板から最も遠
い側から奇数層目が屈折率ｎ＿Ｌの膜、偶数層目が屈折
率ｎ＿Ｍの膜または屈折率ｎ＿Ｈの膜となるように多層
に積層してなる無偏光ビームスプリッター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61153065A JPH0738041B2 (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 無偏光ビ−ムスプリツタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61153065A JPH0738041B2 (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 無偏光ビ−ムスプリツタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638702A true JPS638702A (ja) | 1988-01-14 |
| JPH0738041B2 JPH0738041B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=15554214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61153065A Expired - Lifetime JPH0738041B2 (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 無偏光ビ−ムスプリツタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738041B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994000782A1 (fr) * | 1992-06-19 | 1994-01-06 | Fujitsu Limited | Photocoupleur |
| JP2007133375A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-05-31 | Konica Minolta Opto Inc | 無偏光ビームスプリッタ |
| WO2011048875A1 (ja) | 2009-10-20 | 2011-04-28 | シグマ光機株式会社 | プレート型の広帯域無偏光ビームスプリッター |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6155602A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-20 | Canon Inc | ビ−ムスプリツタ− |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP61153065A patent/JPH0738041B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6155602A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-20 | Canon Inc | ビ−ムスプリツタ− |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO1994000782A1 (fr) * | 1992-06-19 | 1994-01-06 | Fujitsu Limited | Photocoupleur |
| US5699187A (en) * | 1992-06-19 | 1997-12-16 | Fujitsu Limited | Optical coupler |
| JP2007133375A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-05-31 | Konica Minolta Opto Inc | 無偏光ビームスプリッタ |
| WO2011048875A1 (ja) | 2009-10-20 | 2011-04-28 | シグマ光機株式会社 | プレート型の広帯域無偏光ビームスプリッター |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0738041B2 (ja) | 1995-04-26 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |