JPS6388722A - 真空スイツチ管の製造方法 - Google Patents

真空スイツチ管の製造方法

Info

Publication number
JPS6388722A
JPS6388722A JP23485686A JP23485686A JPS6388722A JP S6388722 A JPS6388722 A JP S6388722A JP 23485686 A JP23485686 A JP 23485686A JP 23485686 A JP23485686 A JP 23485686A JP S6388722 A JPS6388722 A JP S6388722A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
switch tube
assembly
vacuum switch
parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23485686A
Other languages
English (en)
Inventor
修 内山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP23485686A priority Critical patent/JPS6388722A/ja
Publication of JPS6388722A publication Critical patent/JPS6388722A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は真空スイッチ管の製造方法に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
第4図は例えば特開昭54−124267号公報に示さ
れた従来の真空スイッチ管の製造方法を示す図であり、
図において、filは真空スイッチ管であり、絶縁容器
(21と七の両端に取付けられた端板(3m)。
(3b)で真空容器が構成されている。真空容器の内部
には一対のN極(48)、(4b)と端板(3m)に取
付けられたアークシールド(5)とを備え、内部圧力が
IQ−4Torr以下の高真空を保持する気密構造にな
っている。前記一方の電極(4m)は電極棒(6a)の
一端に取付けられており、端板(3a)を密に貫通して
外部へ突出している。また他方の電極(4b)は電極棒
(6b)の一端に取付けられており、その電極棒(6b
)と端板(3b)との間には真空保持状態で前記電極(
4m)、(4b)を接離自在にせしめるためにベローズ
(7)が設けられ、そのベローズ(7)の電極側端には
ベローズカバー(8)が設けられている。
第5図及び第6図はvJ4図に示す真空スイッチ管il
lの部分組立構成を示したもので、(91)〜(9f)
は金喝ろう部である。
次に動作について説明する。第5図、第6図において1
図の如く各部品を配置し1部品間接合個所に金属ろう(
9m)〜(9f)をそれぞれ配置させておき、しかる後
に非酸化雰囲気ガス炉中にて部分組立てが行なわれる。
その部分組立てが完了した後、第4図に示すアルミナ磁
器製の絶縁容器(2)の両端に、前記部品組立完了品の
端板(31)、(3b)を、前記金属ろう(9)より融
点の低い金属ろう(101)、clob)と共に設置し
ておき、しかる後に10  Torr以下の真空中で、
金属ろう(101)、(10b)の融点以上で、かつ第
5図及び第6図部分組立に使用した金属ろう(9m)〜
(9f)が溶融しない範囲の所定温度で加熱し、真空ろ
う付灯することにより真空スイッチ管(1)を製造する
方法になっている。
なお、アルミナ磁器製絶縁容器(2)の両端面にはMo
−Mu等で焼付塗布された金属化層が形成されており、
4板(31L(3b)には絶縁容器(2)と熱膨張係数
が所似しているF・−N1合金あるいはFe−N1−C
。
合金を使用しており、絶縁容器(2)と端板(31L 
(3b)の金属ろう付を可能にしている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の真空管スイッチの製造方法は以上のように構成さ
れているので、真空炉中ろう付けにおける加熱温度を1
部分組立で使用する金属ろう(9m)〜(9りの固相温
度より低くしなければならない問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、真空炉中ろう付けにおける加熱温度を部分組
立で使用する金属ろう(9m)〜(9f)の固相温度よ
り高くすることができ、従って従来の方法より高い温度
で脱ガス排気ができる真空スイッチ管の製造方法を得る
ことを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る真空スイッチ管の製造方法は、部分組立
てで使用する金属ろうと、全体組立てで使用する金属ろ
うを同一材質にするとともに、全体組立てにおいて部分
組立てでろう付けされた個所の温度上昇を全体組立てで
行なうろう付は個所の温度上昇より遅くし、部分組立て
でろう付けされた個所の金属ろうが再溶融する前に全体
組立てのろう付けを完了するようにしたものである。
〔作用〕
この発明における真空スイッチ管の製造方法は。
全体組立ての真空炉中ろう付けにおいて1部分組立てで
ろう付は組立てされた。ろう付は個所の内翼空炉のビー
タ−から輻射を受ける個所に前記輻射がしゃ断されるよ
うに、しやへい板を配置することにより、直接輻射され
る全体組立てでのろう付は個所と前記部分組立てでろう
付けされたろう付は個所とに温度上昇の差が生じる。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例1こついて説明する。
第1図において、illは真空スイッチ管であり、絶縁
容器(21と千の両端に取付けられた端板(31)、(
3b)で真空容器が構成されている。真空容器の内部に
は一対の電極(41)、(4りと絶縁容器(2)に取付
けられたアークシールド+51とを備え、内部圧力が1
O−4Torr以下の高真空が保持できる気密構造にな
ってンする。前記一方の電極(4つは電極棒(6a)の
一端に取付けられており、端板(3m)を密に貫通して
外部へ突出している。また、他方の電極(4b)は電極
棒(6りの一端に取付けられており、その電極棒(6b
)と端板(3りとの間には真空保持状態で前記電極(4
m)、(4b)を接離自在にせしめるベローズ(7)が
設けられ、そのベローズ(7)の電極側端にはベローズ
カバー(8)が設けられている。(l1m)、(llb
)はしやへl、/1板、02)はヒーターである。第2
図及び第3図は真空スイッチ管filの部分組立構成を
示したものである。
以下2本発明の実施例を参照して説明する。第2図、第
3図において、図の如く各部品を配置し、部品量接合個
所に金属ろう(9麿)〜(9e)をそれぞれ配置させて
おき、しかる後に非酸化雰囲気ガス炉中にて部分組立て
が行なわれる。その部分、組立てが完了した後、第1図
に示すアルミナセラミック磁器製絶縁容器(2)の両端
に前記部分組立完了品の端板(3m)、(3b)を、前
記金属ろう(伽)〜(9−)と同一材質の金属ろう(9
s+)、(9b)とともに設置して、真空スイッチ管1
1)の全体組立ての仮組立てを行なうとともに、しやへ
7s板(11m)、(11りを、部分組立てでろう付け
されたろう付は個所の内裏空炉のヒーター(121から
輻射を受ける個所に前記輻射がしゃ断されるように配置
し、しかる後に10−4丁orr以下の真空中で金属ろ
う(9g)、(9b)の融点以上の所定温度で加熱し真
空ろう付けすることにより真空スイッチ管(11を製造
する方法になっている。
上記で述べた真空スイッチ管の製造方法によれば、部分
組立てで使用する金属ろうと、全体組立てで使用する金
属ろうを同一材質にしても、全体組立てにお匹て部分組
立てでろう付けされた個所の温度上昇を全体組立てで行
なうろう付個所の温度上昇より遅くすることができるか
ら部分組立てでろう付けされた個所の金属ろうが再溶融
する前に全体組立てのろう付けを完了することができる
。
なお、アルミナ磁器製絶縁容器(2)の両端面にはMe
−Mfl等で焼付塗布された金属化層が形成されており
、端板(3m)、(3b)には絶縁容器(2)と熱膨張
係数が近似しているFe−N1合金あるいはFs+−N
i−Ca合金を使用しており、絶縁容器(2)と端板(
3m)、(3b)の金属ろう付を可能にしている。
なお、上記実施例では部分組立でできるろう付個所と全
体組立でできるろう付個所の温度上昇の差をしやへl/
s板(11m)、(llb)を用いて生じさせたが、加
熱源のヒータ“−そのものを全体組立てでろう付けする
個所だけに輻射されるように、局所的に配置して加熱し
てもよ<、また電極棒(6a)、(6b)もしくは端板
(31)、(3b)に冷却器を取付けて加熱しても上記
実施例と同様の効果が得られる。
〔発明の効果〕
以上のようにこの発明によれば、全体組立ての真空ろう
付けにおいて、部分組立でできたろう付個所と、全体組
立でできるろう付個所の温度上昇に差を生じるように構
成することによシ、全体組立で使用する金属ろう(9g
)、(9b)と部分組立で使用する金属ろう(9a)〜
(9e)とを同一材質にすることができ、従来の方法よ
シ高い温度で脱ガス排気ができるので、信頼性の高1/
箋真空スイツチ管が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による真空スイッチ管を示
す断面図である。第2図及び第3図は本発明の一実施例
による真空スイッチ管の部品組立構成を示す断面図であ
る。第4図は従来の技術の一実施例による真空スイッチ
管を示す断面図である。第5図及び第6図は従来の技術
の一実施例による真空スイッチ管の部品組立構成を示す
断面図である。 なお、図中、同一符号は同−才たは相当部分を示す。 1・・・真空スイッチ管、2・・・絶縁容器、 3m、
3b・・・端板、4m 、4b・・・電極、5・・・ア
ークシールド、6暑。 6b・−を柵棒、7・・・ベローズ、8・・・ベローズ
カバー、90〜9b・・・金属ろう、11m 、llb
・・・しやへい板。 12・・・ヒーター

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)真空スイッチ管に使用する部品を予め非酸化雰囲
    気ガス中にて金属ろう付により部分組立てを行なう第1
    の工程と、10^−^4Torr以下の真空中で、前記
    第1の工程により組立てられた部材を用いて金属ろうに
    より真空気密封止をして全体組立を行なう第2の工程と
    から成る真空スイッチ管の製造方法において、第1の工
    程で使用する金属ろうと第2の工程で使用する金属ろう
    を同一材質にするとともに、全体組立ての第2の工程に
    おいて部分組立ての第1の工程でろう付された個所の温
    度上昇を全体組立てで行なうろう付個所の温度上昇より
    遅くしたことを特徴とする真空スイッチ管の製造方法。
  2. (2)真空気密封止をアルミナ磁器製絶縁容器の金属化
    層とFe−Ni合金あるいはFe−Ni−Co合金から
    なる部材との間で真空中金属ろう付により行なうことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の真空スイッチ管
    の製造方法。
JP23485686A 1986-10-01 1986-10-01 真空スイツチ管の製造方法 Pending JPS6388722A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23485686A JPS6388722A (ja) 1986-10-01 1986-10-01 真空スイツチ管の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23485686A JPS6388722A (ja) 1986-10-01 1986-10-01 真空スイツチ管の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6388722A true JPS6388722A (ja) 1988-04-19

Family

ID=16977420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23485686A Pending JPS6388722A (ja) 1986-10-01 1986-10-01 真空スイツチ管の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6388722A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR900001742B1 (ko) 마그네트론
GB2040561A (en) Piezoelectric bar resonator
US4795866A (en) Vacuum tube switch which uses low temperature solder
US4656393A (en) Metal-to-ceramic butt seal with improved mechanical properties
JPS63191555U (ja)
GB2057922A (en) Method of manufacturing a metal cylindrical hermetic sealing member
JPS61209966A (ja) 無機絶縁物と銅材との真空ろう付け方法
US3177392A (en) Grid support structure
JP3039956B2 (ja) マグネトロン陰極構体
JPS62150620A (ja) 真空遮断器の外被組立体
JPH01235304A (ja) ガラス封入形サーミスタの製造法
JPS59826A (ja) 真空バルブ
JPS58648B2 (ja) 真空しや断器の製造方法
JP2708534B2 (ja) マグネトロンの組立方法
JP2738694B2 (ja) 含浸形陰極構体の製造方法
JP3285757B2 (ja) セラミック端子及びその製造方法
JPS6223099Y2 (ja)
JPH0475618B2 (ja)
JPS62209878A (ja) ガスレ−ザ管
JPS6129156Y2 (ja)
JPH01128326A (ja) 真空インタラプタの製造方法
JPS6036898Y2 (ja) 水晶振動子用保持器
US5011444A (en) Method of making a lead-in mount and seal
JPH077699B2 (ja) サージ吸収素子の製造方法
JP2002163994A (ja) マグネトロンおよびその製造方法