JPS6389992A - 保守管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は保守管理装置に係り、特ｌζ部品交換時期等の
メンテナンス情報を提供するのに好適な保守管理装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来の装置は、特開昭５９−１６０１１号に記載のよう
にあらかじめ記憶させである手順にしたがって装置の正
常や異常を判断するものであり、部品を交換したり機器
を調整したりというメンテナンス情報のように、人手が
介在する内容については記憶がされていなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、メンテナンス情報を提供する点につい
て配慮がされておらず、装置運転者が点検項目や交換部
品の取り換え時期を整備手帳等に記載して記憶しておき
、点検項目ごと１こ定期的にメンテナンスをしなければ
ならないという煩わしさがあった。

本発明の目的は、稼動部を有する機器のメンテナンス時
期を事前子、知することのできる保守管理装置を提供す
ること曇とある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、稼動部を有する機器の消耗、交換部品の再
生、交換時期の設定値を入力する入力手段と、機器の各
部を稼動制御する制御装置からの制御信号を並行して入
力し各部の稼動回数または稼動時間を累積し設定値と比
較演算する制御手段と、設定値および稼動回数または稼
動時間の累積値を記憶、保管する記憶手段と、設定値お
よび稼動回数または稼動時間の累積値を表示する表示手
段とで構成することにより、達成される。

〔作用〕

稼動部を有する機器の消耗、交換部品の再生。

交換時期を稼動回数や稼動時間等で設定し、設定値を入
力手段により制御手段１ど入力して、制御手段番こより
機器の各部を稼動制御する制御装置からの制御信号を並
行して入力し各部の稼動回数または稼動時間を累積して
設定値と比較演算し、表示手段に設定値および稼動回数
または稼動時間を表示させ、稼動回数または稼動時間が
設定値薯こ達したものについては目立つ表示を行なうの
で、運転者にメンテナンス時期を事前に教えることがで
きる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図から第４図により説明
する。

第１図は装置構成図を示す。製造装置１は、例えば、半
導体製造装置のようにウェーハを真空処理へ搬送したり
、真空処理室内を真空排気したり等の種々の稼動部を有
するものである。制御装置２は、製造装置１と接続され
種々の稼動部の動きを制御するものであり、例えば、マ
イクロコンピュータである。

制御手段である、この場合、パーソナルコンピュータ３
は、制御装置２に接続されており、制御装置２から製造
装置１へ送られる制御信号を同時に入力する。入力手段
である、乙の場合、キーボード４は、パーソナルコンピ
ュータ３に接続し、外部からの指示をキー人力する。記
憶手段である、この場合、フロッピーディスクドライバ
ー５は、パーソナルコンピュータ３に接続し、パーソナ
ルコンピュータ３に記憶させる情報およびパーソナルコ
ンピュータ３で処理したデータを記憶する。

表示手段である、この場合、ＣＲＴ６は、パーソナルコ
ンピュータ３に接続し、パーソナルコンピュータ３内に
入力された情報およびパーソナルコンピュータ３で処理
したデータを表示する。

上記構成において、製造装置１および制御装置２から成
る装置部分を立ち上げて運転するためのプログラムを記
憶したフロッピーディスクを、フロッピーディスクドラ
イバ５Ｉこ入れて読み込ませる。このフロッピーディス
ク内１こは保守１点検用のプログラムも一緒に入ってお
り、装置の立ち上げ段階に詔いて、装置の運転を始める
前にＣＲＴ６上１こ製造装置１の各稼動部の消耗部品お
よび交換部品の再生または交換時期を設定するための表
示がされ、この表示１こ従い、交換時期を動作回数また
は稼動時間のかたちで設定し、設定値をキーボード４か
らキー人力して、パーソナルコンピュータ３に覚えさせ
るとともにフロッピーディスクに記憶させる（これを第
２図のステップ１１に示も）。

次に、設定が終わると、フロッピーディスフカら読み込
まれた運転プログラムに従い、制御装置２によって製造
装置１の各稼動部が作動して制御・　４ される　（これを第２図のステップ１２に示ス。）。

このとき、各稼動部を制御する制御装置２の制御信号は
、同時にパーソナルコンピュータ３Ｉこ入力され、各稼
動部ごとに送られる制御信号の送信回数または送信時間
をパーソナルコンピュータ３で累積する（これを第２図
のステップ１３に示ｔ。）。

また、パーソナルコンピュータ３は、累積した実使用値
を最初に設定した設定値と比較演算しくこれを第２図の
ステップ１４に示す。）、例えば、実使用値が設定値の
８０％に達したなら、保守２点検の警告を発しくこれを
第２図のステップ１５１こ示す。）、装置運転者に知ら
せる。

装置運転者は、保守１点検時期がきたことを知り、例え
ば第３図１こ示すような保守用の画面をＣＲＴ上に表示
させ、どの部分が交換時期になったのかを調べる。この
場合、実使用時間が設定値の８０９６に達したものにつ
いては色を変えて分かりやすく表示している。また、第
４図は各部品ごとＩと交換した日付を記録させたものの
表示例である。

通常、運転者は装置を稼動させる前に、第３図に示す装
置の実動状況を表示させ、保守状況を確認して装置の稼
動ＩＣ入る。

以上、本実施例１こよれば、制御装置の制御信号を取り
込んで、各稼動部の稼動回数や稼動時間を累積している
ので、設定値と比べて表示させることにより、現状の使
用状況を把握することができる。また、設定値と実使用
値を比較して、所定の割合まで実使用値が達したら、警
告を発して運転者に知らせるのて、運転者が毎日の点検
をたまたま忘れていても故障を未然１こ防ぐことができ
る。

さらに、各稼動部の制御信号ごとに管理しているので、
複雑な装置においても各部品ごとに管理ができ、メンテ
ナンスが容易になる。

なお、本実施例では、制御手段としてパーソナルコンピ
ュータを使用しているが、例えば、制御装置であるマイ
クロコンピュータに直接組み込まれたものでも良い。

〔発明の効果〕

本発明によれば、稼動部を有する機器のメンテナンス時
期を事前予知することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である保守管理装置を示す構
成ブロック図、第２図は保守管理の流れヲ示スフローチ
ャート図、第３図および第４図はＣＲＴ上に表示する保
守管理表の一例を示す図である。 １・・・・・・製造装置、２・・・・・・制御装置、３
・・曲パーオ１図 第２図 第３図 才４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、稼動部を有する機器の消耗、交換部品の再生、交換
   時期の設定値を入力する入力手段と、 前記機器の各部を稼動制御する制御装置からの制御信号
   を並行して入力し、前記機器の各部の稼動回数または稼
   動時間を累積し、前記設定値と比較演算する制御手段と
   、 前記設定値および前記稼動回数または稼動時間の累積値
   を記憶、保管する記憶手段と、 前記設定値および前記稼動回数または稼動時間の累積値
   を表示する表示手段と を具備したことを特徴とする保守管理装置。