JPS6397111U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6397111U JPS6397111U JP19060586U JP19060586U JPS6397111U JP S6397111 U JPS6397111 U JP S6397111U JP 19060586 U JP19060586 U JP 19060586U JP 19060586 U JP19060586 U JP 19060586U JP S6397111 U JPS6397111 U JP S6397111U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaped body
- chuck
- disc
- storage device
- chucks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
第１図は従来技術による位置補正手段を説明す
るための平面図、第２図は本案の実施例を示すブ
ロツク線図、第３図は本案の実施例に係る動作シ
ーケンスを説明するためのフローチヤートである
。 １……情報処理装置、２……記憶装置、３……
測長系、４……インタフエース、５……光センサ
投光部、６……光センサ受光部、７……真空チヤ
ツク、８……円板形状体、９……ＸＹステージ、
１０……センタリング治具、１１……基準点。
るための平面図、第２図は本案の実施例を示すブ
ロツク線図、第３図は本案の実施例に係る動作シ
ーケンスを説明するためのフローチヤートである
。 １……情報処理装置、２……記憶装置、３……
測長系、４……インタフエース、５……光センサ
投光部、６……光センサ受光部、７……真空チヤ
ツク、８……円板形状体、９……ＸＹステージ、
１０……センタリング治具、１１……基準点。
Claims (1)
- その位置が測定可能な測長手段を備えたＸＹテ
ーブル上に搭載された円板形状体を保持するチヤ
ツクと、該チヤツクに保持された該円板形状体の
端部を検出可能な複数個のセンサと、ＸＹテーブ
ルの移動量を記憶する記憶装置と、記憶装置内部
のデータを演算処理する装置とを具備したことを
特徴とする円板形状体位置補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19060586U JPS6397111U (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19060586U JPS6397111U (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397111U true JPS6397111U (ja) | 1988-06-23 |
Family
ID=31143980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19060586U Pending JPS6397111U (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6397111U (ja) |
-
1986
- 1986-12-12 JP JP19060586U patent/JPS6397111U/ja active Pending
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