JPS6397113U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6397113U JPS6397113U JP19200986U JP19200986U JPS6397113U JP S6397113 U JPS6397113 U JP S6397113U JP 19200986 U JP19200986 U JP 19200986U JP 19200986 U JP19200986 U JP 19200986U JP S6397113 U JPS6397113 U JP S6397113U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- diaphragm
- communicates
- pressure
- air introduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す説明図であ
る。
る。
Claims (1)
- 互いに独立する空間から成る２室の夫々を、弾
性素材から成るダイヤフラムで仕切ることにより
、第一室とこれにダイヤフラムを介して隣接する
第二室、第三室とこれにダイヤフラムを介して隣
接する第四室とを区画形成し、第一室は、真空供
給源に連通する調圧孔と目標真空圧に調圧すべき
目的空間に連通する開口部と、第一室と第二室と
を仕切るダイヤフラムに固設されダイヤフラムの
変位によつて調圧孔の開度を調節するように調圧
孔に臨ましめた弁体とを備え、第二室は、真空供
給源に細孔を通して連通すると共に、第三室に連
通する空気導入孔を有し、第三室は、第三室と第
四室とを仕切るダイヤフラムの変位によつて前記
空気導入孔に臨んで該空気導入孔の空気流量を調
節するパイロツト弁と、大気に連通する開口部と
を有し、第四室は、前記目的空間に連通すると共
に第三室との境界をなすダイヤフラムを弾発力に
よつて支持する手段を備えたことを特徴とする目
的空間への真空圧供給器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19200986U JPS6397113U (ja) | 1986-12-13 | 1986-12-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19200986U JPS6397113U (ja) | 1986-12-13 | 1986-12-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397113U true JPS6397113U (ja) | 1988-06-23 |
Family
ID=31146685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19200986U Pending JPS6397113U (ja) | 1986-12-13 | 1986-12-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6397113U (ja) |
-
1986
- 1986-12-13 JP JP19200986U patent/JPS6397113U/ja active Pending
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