JPS6422062U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6422062U JPS6422062U JP11633687U JP11633687U JPS6422062U JP S6422062 U JPS6422062 U JP S6422062U JP 11633687 U JP11633687 U JP 11633687U JP 11633687 U JP11633687 U JP 11633687U JP S6422062 U JPS6422062 U JP S6422062U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- ring
- lid
- excimer
- gasket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 3
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るエキシマレー
ザ用チヤンバの断面図、第２図は他の実施例に係
るエキシマレーザ用チヤンバの断面図である。 １……室部、２……蓋部、３，９……ガスケツ
ト部、５，６，１３……溝、７，１０……ゴム製
のＯリング、８……テフロン製のＯリング（ガス
ケツト）、１１……テフロン製のシート（ガスケ
ツト）。
ザ用チヤンバの断面図、第２図は他の実施例に係
るエキシマレーザ用チヤンバの断面図である。 １……室部、２……蓋部、３，９……ガスケツ
ト部、５，６，１３……溝、７，１０……ゴム製
のＯリング、８……テフロン製のＯリング（ガス
ケツト）、１１……テフロン製のシート（ガスケ
ツト）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 エキシマを入れる室部と、該室部に載置され室
部を塞ぐ蓋部と、該蓋部と室部間を密封するガス
ケツト部とよりなるエキシマレーザ用チヤンバに
おいて、 上記ガスケツト部を、上記室部の上記蓋部接触
面に形成した溝に嵌められ外部空気の流入を防止
するゴム製のＯリングと、該Ｏリングの内側に配
置され上記蓋部と室部の接触面間に介在してＯリ
ングから発生したガスの室部への流入と室部内の
エキシマの洩れを防止するテフロン製のガスケツ
トとにより形成したことを特徴とするエキシマレ
ーザ用チヤンバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11633687U JPS6422062U (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11633687U JPS6422062U (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6422062U true JPS6422062U (ja) | 1989-02-03 |
Family
ID=31358778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11633687U Pending JPS6422062U (ja) | 1987-07-29 | 1987-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6422062U (ja) |
-
1987
- 1987-07-29 JP JP11633687U patent/JPS6422062U/ja active Pending
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