JPS6423865U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6423865U JPS6423865U JP11782887U JP11782887U JPS6423865U JP S6423865 U JPS6423865 U JP S6423865U JP 11782887 U JP11782887 U JP 11782887U JP 11782887 U JP11782887 U JP 11782887U JP S6423865 U JPS6423865 U JP S6423865U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electron beam
- deflection
- deflection electrodes
- stages
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例に係わる２段偏向方
式のブランキング機構を示す概略構成図、第２図
は上記ブランキング機構の作用を説明するための
模式図、第３図及び第４図はそれぞれ従来のブラ
ンキング機構を説明するための概略構成図である
。 １０……光学鏡筒、２０……ブランキング用ア
パーチヤマスク、２１，２２……ブランキング用
偏向電極、２３，〜，２６……真空型ＢＮＣレセ
プタクル（リード端子）、２７……ブランキング
用アンプ、２８……同軸ケーブル、２９……マツ
チング抵抗。
式のブランキング機構を示す概略構成図、第２図
は上記ブランキング機構の作用を説明するための
模式図、第３図及び第４図はそれぞれ従来のブラ
ンキング機構を説明するための概略構成図である
。 １０……光学鏡筒、２０……ブランキング用ア
パーチヤマスク、２１，２２……ブランキング用
偏向電極、２３，〜，２６……真空型ＢＮＣレセ
プタクル（リード端子）、２７……ブランキング
用アンプ、２８……同軸ケーブル、２９……マツ
チング抵抗。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電子光学鏡筒内に光軸方向に沿つて配置さ
れた２段の偏向電極と、これらの偏向電極間に配
置されたアパーチヤマスクとからなるブランキン
グ機構を備えた電子ビーム描画装置において、前
記２段の偏向電極を前記電子光学鏡筒の外部で所
定長のケーブルを介して電気的に接続すると共に
、電子銃側の偏向電極にブランキング信号を印加
することを特徴とする電子ビーム描画装置。 (2) 前記２段の偏向電極は前記電子光学鏡筒の
側壁を貫通して設けられたそれぞれのリード端子
に接続され、前記ケーブルはこれらのリード端子
間を接続するものであることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項記載の電子ビーム描画装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11782887U JPS6423865U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11782887U JPS6423865U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6423865U true JPS6423865U (ja) | 1989-02-08 |
Family
ID=31361627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11782887U Pending JPS6423865U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6423865U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013161858A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置 |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP11782887U patent/JPS6423865U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013161858A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画装置 |
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