JPS642441U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS642441U JPS642441U JP9531287U JP9531287U JPS642441U JP S642441 U JPS642441 U JP S642441U JP 9531287 U JP9531287 U JP 9531287U JP 9531287 U JP9531287 U JP 9531287U JP S642441 U JPS642441 U JP S642441U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- suction
- pick
- tube
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
はピツクアツプ装置の全体構成図、第２図はピツ
クアツプ装置の作動説明図、第３図はエアブロー
チユーブ、吸引チユーブ及び吸着コレツトの作動
を示すタイミングチヤート図である。 １：ウエハ、１ａ：チツプ、４：突き上げニー
ドル、５：吸着コレツト、６：チツプ整列治具、
１０：エアブローチユーブ、１０ａ：エア吹き出
し口、１１：吸引チユーブ、１１ａ：エア吸引口
。
はピツクアツプ装置の全体構成図、第２図はピツ
クアツプ装置の作動説明図、第３図はエアブロー
チユーブ、吸引チユーブ及び吸着コレツトの作動
を示すタイミングチヤート図である。 １：ウエハ、１ａ：チツプ、４：突き上げニー
ドル、５：吸着コレツト、６：チツプ整列治具、
１０：エアブローチユーブ、１０ａ：エア吹き出
し口、１１：吸引チユーブ、１１ａ：エア吸引口
。
Claims (1)
- ダイシングされたウエハを、チツプ突き上げ手
段を用いてブレーキングすることにより個々のチ
ツプに分割し、吸着コレツトによつて該チツプを
吸着してチツプ整列治具を詰め込むピツクアツプ
装置において、前記チツプのブレーキング時に発
生するシリコン屑等の異物を除去するための空気
流を形成するエアブローチユーブと吸引チユーブ
とを前記吸着コレツトにおける前記ウエハ上のチ
ツプ吸着位置に対向配設する構成としたことを特
徴とするチツプのピツクアツプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9531287U JPS642441U (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9531287U JPS642441U (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS642441U true JPS642441U (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=31319969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9531287U Pending JPS642441U (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS642441U (ja) |
-
1987
- 1987-06-23 JP JP9531287U patent/JPS642441U/ja active Pending
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