JPS6426362U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426362U JPS6426362U JP11971187U JP11971187U JPS6426362U JP S6426362 U JPS6426362 U JP S6426362U JP 11971187 U JP11971187 U JP 11971187U JP 11971187 U JP11971187 U JP 11971187U JP S6426362 U JPS6426362 U JP S6426362U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- target
- moving means
- film
- shutter film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は本考案のシヤツター装置の縦断側面図
、第２図は一部を切欠いた斜視図、第３図、第４
図は従来のシヤツター装置の概略正面図および側
面図である。 １１……電極ロール、１２……シヤツター膜、
１３……ワイヤー、１４……ガイド軸、１５……
ガイド軸、１６……巻取軸、１７……巻取軸、１
８……フレーム、１９……ターゲツト取付フレー
ム、２０……ターゲツト、２１……モータ、２２
……モータ、２３……遮蔽板。
、第２図は一部を切欠いた斜視図、第３図、第４
図は従来のシヤツター装置の概略正面図および側
面図である。 １１……電極ロール、１２……シヤツター膜、
１３……ワイヤー、１４……ガイド軸、１５……
ガイド軸、１６……巻取軸、１７……巻取軸、１
８……フレーム、１９……ターゲツト取付フレー
ム、２０……ターゲツト、２１……モータ、２２
……モータ、２３……遮蔽板。
Claims (1)
- スパツタリングおよびスパツタエツチング等を
行う真空処理装置におけるシヤツター装置であつ
て、前記シヤツター装置は基板とターゲツトの間
に設けられ遮蔽部に合わせた大きさに形成された
シヤツター膜と、シヤツター膜を左右に移動させ
る移動手段とを具備しており、且つ前記移動手段
は前記シヤツター膜の左右両側縁に固定されたワ
イヤーの他端をターゲツトの左右に配設した巻取
軸に固定し、巻取軸の回転によつてシヤツター膜
をターゲツト上面を遮蔽又は開放できるようにし
たことを特徴とする真空処理装置におけるシヤツ
ター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11971187U JPS6426362U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11971187U JPS6426362U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426362U true JPS6426362U (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=31365179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11971187U Pending JPS6426362U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6426362U (ja) |
-
1987
- 1987-08-04 JP JP11971187U patent/JPS6426362U/ja active Pending