JPS6426368U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6426368U JPS6426368U JP11984487U JP11984487U JPS6426368U JP S6426368 U JPS6426368 U JP S6426368U JP 11984487 U JP11984487 U JP 11984487U JP 11984487 U JP11984487 U JP 11984487U JP S6426368 U JPS6426368 U JP S6426368U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heated
- heating surface
- substrate
- heating
- linear
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例としての亜鉛真空
蒸着装置の要部にパネル形ヒーターを装着した状
態を示す縦断面概念図、第２図は第１図の―
視部分平面図、第３図は第２図を部分拡大した平
面図、第４図は第３図の―断面図である。ま
た、第５図は従来装置の一例を示す縦断面概念図
、第６図は第５図の―視部分平面図である。 １……チヤンネル、１ａ……溝部、２……巻付
けロール、３，４……インナダクト、６……スノ
ーケル、８，９……インナダクト、１０……パネ
ル形ヒータ、１１……シーズヒータ、１２……基
板、１３……押え板。
蒸着装置の要部にパネル形ヒーターを装着した状
態を示す縦断面概念図、第２図は第１図の―
視部分平面図、第３図は第２図を部分拡大した平
面図、第４図は第３図の―断面図である。ま
た、第５図は従来装置の一例を示す縦断面概念図
、第６図は第５図の―視部分平面図である。 １……チヤンネル、１ａ……溝部、２……巻付
けロール、３，４……インナダクト、６……スノ
ーケル、８，９……インナダクト、１０……パネ
ル形ヒータ、１１……シーズヒータ、１２……基
板、１３……押え板。
Claims (1)
- 複数条の線状発熱体を並置して基板と押え板と
で挟持すると共に被加熱物の加熱面形状に合せて
小分割のパネル状に形成し、前記被加熱物の加熱
面に前記基板が埋入する凹部を設け、前記線状発
熱体が前記被加熱物の加熱面に当接或いは極近接
して前記被加熱物に装着することを特徴とするパ
ネル形ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11984487U JPS6426368U (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11984487U JPS6426368U (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426368U true JPS6426368U (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=31365429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11984487U Pending JPS6426368U (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6426368U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6255559B2 (ja) * | 1980-06-23 | 1987-11-20 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd |
-
1987
- 1987-08-06 JP JP11984487U patent/JPS6426368U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6255559B2 (ja) * | 1980-06-23 | 1987-11-20 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd |