JPS6426370U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426370U JPS6426370U JP12154087U JP12154087U JPS6426370U JP S6426370 U JPS6426370 U JP S6426370U JP 12154087 U JP12154087 U JP 12154087U JP 12154087 U JP12154087 U JP 12154087U JP S6426370 U JPS6426370 U JP S6426370U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip
- processed material
- shaped processed
- passage
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図乃至第４図は従来例の截断側面図、第５
図及び第６図は本考案の実施例の截断側面図であ
る。 １……帯状処理物、２……真空処理室、３……
導入口、４……筺体、５，５ａ……通路、６，６
……ロール、９，１１……真空排気口、１０……
中空室、１２……中間排気室。
図及び第６図は本考案の実施例の截断側面図であ
る。 １……帯状処理物、２……真空処理室、３……
導入口、４……筺体、５，５ａ……通路、６，６
……ロール、９，１１……真空排気口、１０……
中空室、１２……中間排気室。
Claims (1)
- 帯状処理物を外部から真空処理室内へ導入する
導入口の前方に接続して、該帯状処理物が通過す
る通路を備えた筺体を設け、該通路内の中間に、
該帯状処理物に接して回転する中間ロールが収容
され且つ真空排気口を有する中空室を複数個設け
るようにしたものに於いて、各中空室間の通路に
更に真空排気口を有する中間排気室を設けたこと
を特徴とする帯状処理物の真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12154087U JPS6426370U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12154087U JPS6426370U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426370U true JPS6426370U (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=31368639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12154087U Pending JPS6426370U (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6426370U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
| JPS6223982A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-31 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 連続式真空処理設備のシ−ル装置 |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP12154087U patent/JPS6426370U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58131470A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | ロ−ラ−式シ−ル装置 |
| JPS6223982A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-31 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 連続式真空処理設備のシ−ル装置 |