JPS6426371U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426371U JPS6426371U JP12154187U JP12154187U JPS6426371U JP S6426371 U JPS6426371 U JP S6426371U JP 12154187 U JP12154187 U JP 12154187U JP 12154187 U JP12154187 U JP 12154187U JP S6426371 U JPS6426371 U JP S6426371U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaped
- magnetic strip
- casing
- passageway
- processed material
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は従来例の断面図、第３図は
本考案の実施例の断面図である。 １……磁性帯状処理物、２……真空処理室、３
……導入口、４……筐体、５……通路、６……真
空排気口、７……スリツト、８……ロール、４ａ
……壁面、９……磁石。
本考案の実施例の断面図である。 １……磁性帯状処理物、２……真空処理室、３
……導入口、４……筐体、５……通路、６……真
空排気口、７……スリツト、８……ロール、４ａ
……壁面、９……磁石。
Claims (1)
- 磁性帯状処理物を外部から真空処理室内へ導入
する導入口の前方に接続して該帯状処理物の通路
と真空排気口を備えた筺体を設け、該通路内へロ
ールと該筐体の壁面とで構成されたスリツトを介
して帯状処理物を導入するようにしたものに於い
て、該スリツトを構成するロールに該磁性帯状処
理物を吸着する磁石を設けたことを特徴とする磁
性帯状処理物の真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12154187U JPH047184Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12154187U JPH047184Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426371U true JPS6426371U (ja) | 1989-02-14 |
| JPH047184Y2 JPH047184Y2 (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=31368641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12154187U Expired JPH047184Y2 (ja) | 1987-08-10 | 1987-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047184Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-10 JP JP12154187U patent/JPH047184Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047184Y2 (ja) | 1992-02-26 |