JPS6426835U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426835U JPS6426835U JP1987123413U JP12341387U JPS6426835U JP S6426835 U JPS6426835 U JP S6426835U JP 1987123413 U JP1987123413 U JP 1987123413U JP 12341387 U JP12341387 U JP 12341387U JP S6426835 U JPS6426835 U JP S6426835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fresnel zone
- linear fresnel
- center
- zone plates
- showing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Description
第１図ａ〜ｃは本考案の一実施例を示す平面図
、第２図は第１図に示すアライメントマークを用
いたアライメント方法を示す説明図、第３図は従
来のリニアフレネルゾーンプレートを用いたアラ
イメント方法を示す説明図、第４図は従来のマス
ク用マークであるリニアフレネルゾーンプレート
を示す平面図、第５図はウエハ用マークである回
折格子を示す平面図、第６図はギヤツプと検出器
出力の関係を示すグラフである。 １，９……マスク、２……第１のＬＦＺＰ、３
……第２のＬＦＺＰ、４，１１……レーザビーム
、５，７……ウエハ、６，８……回折格子、１０
……ＬＦＺＰ。
、第２図は第１図に示すアライメントマークを用
いたアライメント方法を示す説明図、第３図は従
来のリニアフレネルゾーンプレートを用いたアラ
イメント方法を示す説明図、第４図は従来のマス
ク用マークであるリニアフレネルゾーンプレート
を示す平面図、第５図はウエハ用マークである回
折格子を示す平面図、第６図はギヤツプと検出器
出力の関係を示すグラフである。 １，９……マスク、２……第１のＬＦＺＰ、３
……第２のＬＦＺＰ、４，１１……レーザビーム
、５，７……ウエハ、６，８……回折格子、１０
……ＬＦＺＰ。
Claims (1)
- ２つのリニアフレネルゾーンプレートの中心部
を削除し、それぞれの中心部に他のリニアフレネ
ルゾーンプレートの外側部が位置するように配置
したことを特徴とするアライメントマーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123413U JPS6426835U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123413U JPS6426835U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426835U true JPS6426835U (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=31372243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987123413U Pending JPS6426835U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6426835U (ja) |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP1987123413U patent/JPS6426835U/ja active Pending