JPS6454045U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6454045U JPS6454045U JP1987150656U JP15065687U JPS6454045U JP S6454045 U JPS6454045 U JP S6454045U JP 1987150656 U JP1987150656 U JP 1987150656U JP 15065687 U JP15065687 U JP 15065687U JP S6454045 U JPS6454045 U JP S6454045U
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- JP
- Japan
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- distance
- dies
- alignment mark
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Description
第１図はレテイクルを示す平面図、第２図は一
実施例におけるアライメントマークを示す図、第
３図は従来のアライメントマークを示す図、第４
図は従来の転写されたアライメントマークを示す
図、第５図はウエハに転写されたレテイクルのシ
ヨツトを示す平面図である。 ５…レテイクル、６―１〜６―４…パターン領
域、７…スクライブライン、８…アライメントマ
ーク。
実施例におけるアライメントマークを示す図、第
３図は従来のアライメントマークを示す図、第４
図は従来の転写されたアライメントマークを示す
図、第５図はウエハに転写されたレテイクルのシ
ヨツトを示す平面図である。 ５…レテイクル、６―１〜６―４…パターン領
域、７…スクライブライン、８…アライメントマ
ーク。
Claims (1)
- 縮小投影露光装置で使用されるレテイクルであ
つて、アライメントマークを１個のみ有し、一対
のアライメント・ダイの間隔をずらせて転写され
、両アライメント・ダイのアライメントマークの
間隔をアライメントマーク検出用レンズの間隔に
一致させて使用されるレテイクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987150656U JPS6454045U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987150656U JPS6454045U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6454045U true JPS6454045U (ja) | 1989-04-04 |
Family
ID=31423995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987150656U Pending JPS6454045U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6454045U (ja) |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP1987150656U patent/JPS6454045U/ja active Pending