JPS6426843U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6426843U JPS6426843U JP1987122123U JP12212387U JPS6426843U JP S6426843 U JPS6426843 U JP S6426843U JP 1987122123 U JP1987122123 U JP 1987122123U JP 12212387 U JP12212387 U JP 12212387U JP S6426843 U JPS6426843 U JP S6426843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support rods
- wafer
- wafer carrier
- resin material
- presser plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図は本考案実施例の図で、そのａは斜視図
、ｂはウエハ保持状態を示す図、ｃは平面図、第
２図ａとｂは従来例斜視図、第３図は従来例の問
題点を示す図である。 第１図において、１１はウエハキヤリア、１２
は押え板、１３ａは上部支持棒、１３ｂは下部支
持棒、１４は樹脂材部、１５は芯棒、１６ａと１
６ｂはウエハ保持溝、３０はウエハ、を示す。
、ｂはウエハ保持状態を示す図、ｃは平面図、第
２図ａとｂは従来例斜視図、第３図は従来例の問
題点を示す図である。 第１図において、１１はウエハキヤリア、１２
は押え板、１３ａは上部支持棒、１３ｂは下部支
持棒、１４は樹脂材部、１５は芯棒、１６ａと１
６ｂはウエハ保持溝、３０はウエハ、を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １対の相対する押え板１２と該押え板１２の間
で２本は上部に１本は下部に配置された３本の支
持棒１３ａ，１３ｂから成るウエハキヤリア１１
において、 樹脂材料製の支持棒１３ａ，１３ｂは断面が先
細の涙滴形のもので樹脂材部１４の内部に耐熱製
芯棒１５が封入されてなり、 該支持棒１３ａ，１３ｂとそれに形成されたウ
エハ保持溝１６ａ，１６ｂには水平部が設けられ
ることなく、ウエハ３０と支持棒１３ａ，１３ｂ
とはほぼ点接触をなす構造としたことを特徴とす
るウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987122123U JPS6426843U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987122123U JPS6426843U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426843U true JPS6426843U (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=31369754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987122123U Pending JPS6426843U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6426843U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000091413A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Nec Kagoshima Ltd | カセット及び基板乾燥方法 |
| KR20020008949A (ko) * | 2000-07-21 | 2002-02-01 | 김광교 | 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 보우트 |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP1987122123U patent/JPS6426843U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000091413A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Nec Kagoshima Ltd | カセット及び基板乾燥方法 |
| KR20020008949A (ko) * | 2000-07-21 | 2002-02-01 | 김광교 | 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 보우트 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6376130U (ja) | ||
| JPS6011367U (ja) | コ−ルドパ−マにおけるブロツキング用スケ−ル | |
| JPH042022U (ja) | ||
| JPS5814181U (ja) | 時計の巻真保持構造 | |
| JPH03110207U (ja) | ||
| JPS59104702U (ja) | 篭手芸部材 | |
| JPH0355043U (ja) | ||
| JPS5819040U (ja) | 目地材 | |
| JPS59129127U (ja) | 押釦スイツチにおける可動接点支持部材 | |
| JPS61158952U (ja) | ||
| JPS6062554U (ja) | 格子枠材 | |
| JPH0414029U (ja) | ||
| JPS6021628U (ja) | 電気カ−ペット | |
| JPH0320497U (ja) | ||
| JPS59136770U (ja) | 枠入りマツト用調整パツト | |
| JPS62123908U (ja) | ||
| JPH01159204U (ja) | ||
| JPS6072212U (ja) | フラツシユレス金型装置 | |
| JPS5865975U (ja) | 枕 | |
| JPH0233265U (ja) | ||
| JPS63168874U (ja) | ||
| JPH0229293U (ja) | ||
| JPS5931735U (ja) | 微小ストロ−ク押ボタン | |
| JPH0373522U (ja) | ||
| JPS6217134U (ja) |