JPS6427677U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す概念図、第
２図はこの考案の一実施例を示す断面図、第３図
は従来の光学装置を示す概念図、第４図は従来の
光学装置を示す断面図である。 図において１は対物レンズ、２は可動ミラー、
３は固定ミラー、４は光学センサ、５はフレーム
、６は軸受、７は固定部、８はヒータ、９は姿勢
センサ、１０は位置検出器、１１は軸、１２は軸
受、１３はモータ、１４は姿勢センサ、１５は位
置検出器、１６は形状記憶合金、１７はヒータ、
１８は軸受ホルダ、１９は防振材である。なお、
図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 集光するための対物レンズと、この対物レンズ
   を保持するためのフレームと、このフレーム内に
   配置される可動ミラーと、この可動ミラーと上記
   フレームとを各々回転自由に支持する固定部と、
   上記可動ミラーに取付けられた姿勢センサとから
   なる光学装置において、上記フレームをモータで
   駆動し、かつ防振材を介して上記可動ミラーを上
   記固定部で支持するとともに、上記フレームと上
   記可動ミラーとをヒータを有する形状記憶合金で
   接続し、上記姿勢センサの信号をフイードバツク
   し上記ヒータを加熱することにより、形状記憶合
   金が変形させ、上記可動ミラーが駆動されるよう
   に構成したことを特徴とする光学装置。